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熱化學(xué)氣相沉積分離官能化的方法、產(chǎn)品和涂層與流程

文檔序號(hào):11900473閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種熱化學(xué)氣相沉積分離官能化的方法,涂層和產(chǎn)品。所述熱化學(xué)氣相沉積分離官能化的方法包括:將制品定位在封閉室內(nèi),在第一溫度范圍內(nèi)官能化所述制品第一段時(shí)間,然后在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)一步官能化所述制品第二段時(shí)間。熱化學(xué)氣相沉積分離官能化產(chǎn)品的包括:在第一溫度范圍內(nèi)官能化第一段時(shí)間的官能作用,和在第二溫度范圍內(nèi)進(jìn)一步官能化第二段時(shí)間的進(jìn)一步官能作用。

技術(shù)研發(fā)人員:M·袁;P·H·西爾維斯;D·A·史密斯;J·B·馬特澤拉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:西爾科特克公司
文檔號(hào)碼:201610969416
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.01
技術(shù)公布日:2017.05.17

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