本發(fā)明涉及磁控濺射真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種平面靶材固定壓緊裝置。

背景技術(shù)：

近年來，隨著科學(xué)的發(fā)展，技術(shù)的進步，表面科學(xué)和納米薄膜變的越來越受重視，大到航空航天，小到手機手表，越來越多的薄膜技術(shù)被應(yīng)用，而獲取薄膜的技術(shù)也在不斷的發(fā)展和進步，現(xiàn)如今，磁控濺射技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用，為了獲得各種性能的薄膜，這種技術(shù)日新月異。這種技術(shù)的關(guān)鍵在于可以通過不同種的電源，在基材上進行各種各樣材料的鍍膜，獲得各種不同材料的納米級的薄膜，所以靶材是這項技術(shù)的重中之重。

對于鍍膜生產(chǎn)企業(yè)來說，時間是生產(chǎn)最重要的一項因素，而靶材的更換和維護嚴重的影響了生產(chǎn)效率，所以提高靶材的更換和維護速度是很關(guān)鍵的一個環(huán)節(jié)。

常規(guī)平面靶材需要壓緊板對靶材進行固定，防止靶材移動造成不良后果，然而這種壓板一般都是通過螺栓固定，拆卸靶材時需將把壓板的螺栓全部擰下，把壓緊板全部卸下后才能取出靶材。之后安裝靶材時還需要將所有壓板安裝好，擰好所有螺栓才能完成靶材的更換。通常這種壓緊板需要將靶材牢牢固定住，所以螺絲的數(shù)量較多，造成任務(wù)量大，更換靶材非常浪費時間，嚴重影響了生產(chǎn)進度。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明實施例提供了一種平面靶材固定壓緊裝置，以快速對靶材進行安裝壓緊和拆卸，節(jié)約時間，降低成本。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實施例提供了一種平面靶材固定壓緊裝置，該平面靶材固定壓緊裝置包括：壓緊裝置主體，至少一彈簧氣脹壓緊組件，至少一安裝維護部件及設(shè)置在所述壓緊裝置主體內(nèi)的壓縮空氣氣路；

所述壓緊裝置主體上設(shè)置有用于安裝所述彈簧氣脹壓緊組件的安裝槽，以及壓縮空氣氣嘴；所述壓縮空氣氣嘴安裝在與所述壓縮空氣氣路連接的氣嘴孔上，所述壓縮空氣氣路通過一氣管與所述安裝槽聯(lián)通；

所述彈簧氣脹壓緊組件包括壓緊板及彈簧，所述彈簧一端固定在所述壓緊板的底座上，所述壓緊板在壓縮空氣或者彈簧的推動下沿所述安裝槽移動，實現(xiàn)平面靶材的安裝及壓緊；

所述安裝維護部件固定在所述壓緊裝置主體上，位于所述安裝槽的開口處，與所述彈簧的另一端接觸。

一實施例中，所述彈簧氣脹壓緊組件還包括：唇形密封圈，套設(shè)在所述壓緊板底座的凹槽中。

一實施例中，所述壓縮空氣氣嘴的個數(shù)為2，分別設(shè)置在所述壓緊裝置主體側(cè)面的上部。

一實施例中，所述安裝維護部件具有一用于對所述壓緊板進行導(dǎo)向的限位部。

一實施例中，所述壓緊板的底座上設(shè)有一臺階部，所述安裝槽的開口處設(shè)有凸起部，所述凸起部與所述臺階部配合，對所述壓緊板進行限位。

一實施例中，所述壓縮空氣氣嘴尾部設(shè)有螺紋，與所述氣嘴孔螺紋連接。

一實施例中，所述平面靶材固定壓緊裝置固定在靶材底座上，當(dāng)平面靶材安裝完成后，所述彈簧氣脹壓緊組件的壓緊板抵壓在平面靶材上。

一實施例中，當(dāng)通過所述壓縮空氣氣嘴鼓入壓縮空氣時，壓縮空氣首先進入所述壓縮空氣氣路，然后通過氣管進入所述安裝槽，克服所述彈簧推力，推動所述壓緊板沿所述安裝槽移動，進入所述平面靶材的安裝或更換狀態(tài)。

一實施例中，當(dāng)所述平面靶材的安裝或更換后，通過按壓所述壓縮空氣氣嘴排出所述壓縮空氣，所述壓緊板受所述彈簧推力作用沿安裝槽移動，使得所述壓緊板壓緊所述平面靶材。

本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置，利用彈簧和氣脹的方式壓緊代替常規(guī)的螺絲壓緊板壓緊，不僅減少拆卸壓緊板帶來的工作量，而且極大的節(jié)約了工作時間。另外，該平面靶材固定壓緊裝置工作時減小了內(nèi)外的壓強差，大大增加了使用壽命。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖一；

圖2為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的上視圖；

圖3為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置壓緊平面靶材示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的主視圖；

圖5為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖二；

圖6為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的壓縮空氣氣路的透視圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

圖1為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖一。圖2為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的上視圖。如圖1及圖2所示，該平面靶材固定壓緊裝置1包括：壓緊裝置主體11，至少一彈簧氣脹壓緊組件3，至少一安裝維護部件4及設(shè)置在壓緊裝置主體11內(nèi)的壓縮空氣氣路2。

壓緊裝置主體11上經(jīng)過機械加工，內(nèi)部設(shè)置有用于安裝彈簧氣脹壓緊組件3的安裝槽6，還設(shè)置有壓縮空氣氣嘴5以及用于固定與其連接的各個部件的螺栓孔。壓縮空氣氣嘴5安裝在與所述壓縮空氣氣路連接的氣嘴孔9上，壓縮空氣氣路2通過一氣管21與安裝槽6聯(lián)通。

一實施例中，壓縮空氣氣嘴5的個數(shù)為2，分別設(shè)置在壓緊裝置主體11側(cè)面的上部，如圖2及圖6所示。壓縮空氣氣嘴5發(fā)尾部可以設(shè)有螺紋，與之對應(yīng)的，可以在氣嘴孔9的內(nèi)表面設(shè)有螺紋，壓縮空氣氣嘴5與氣嘴孔9螺紋連接。

彈簧氣脹壓緊組件3包括壓緊板31及彈簧33，彈簧一端固定在壓緊板31的底座34上，壓緊板31可在壓縮空氣或者彈簧的推動下沿安裝槽移動，實現(xiàn)平面靶材的安裝及壓緊。

安裝維護部件4固定在壓緊裝置主體11上，位于安裝槽6的開口處，與彈簧33的另一端接觸，以抵住彈簧33。安裝維護部件4可以通過螺栓41固定在壓緊裝置主體11上。

一實施例中，安裝維護部件4具有一用于對壓緊板31進行導(dǎo)向的限位部42。

壓緊裝置主體11、壓縮空氣氣體管路2及彈簧氣脹壓緊組件3構(gòu)成了一個密封的氣脹腔室。一實施例中，為了提高密封性，彈簧氣脹壓緊組件上還可以設(shè)有唇形密封圈32，唇形密封圈32套設(shè)在壓緊板31的底座的凹槽36中。

壓緊板31的底座上設(shè)有一臺階部35，安裝槽6的開口處設(shè)有凸起12，凸起部12與臺階部35配合，對壓緊板31進行限位。

具體實施時，如圖3所示，平面靶材固定壓緊裝置1固定在靶材底座7上，彈簧氣脹壓緊組件的壓緊板抵壓在平面靶材上。圖3中，平面靶材固定壓緊裝置1的個數(shù)為2個，通過平面靶材固定壓緊裝置1，可以壓緊平面靶材8的兩端。

圖4為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的主視圖。如圖4所示，平面靶材固定壓緊裝置1可以通過螺栓6固定在靶材底座7上。

圖5為本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖二，如圖1所示，平面靶材固定壓緊裝置1的狀態(tài)為壓緊狀態(tài)，如圖5所示，平面靶材固定壓緊裝置1的狀態(tài)為松開狀態(tài)。圖1中，通過向安裝在壓縮空氣鼓入氣嘴孔9(如圖6)上的壓縮空氣氣嘴5鼓入壓縮空氣(可用壓縮空氣槍沖入氣體，按壓即可排出氣體)，壓縮空氣首先進入壓縮空氣氣路2，然后通過與壓縮空氣氣路2連通的氣管21進入安裝槽6中，密封的安裝槽6膨脹，克服彈簧33的推力，將壓緊板31沿著安裝槽6的路徑推開，直至到達限位位置，平面靶材壓緊裝置1完全到達工作位置(即達到如圖5所示的狀態(tài))，此時彈簧處于壓縮狀態(tài)，這時可以進行靶材更換工作。靶材安裝好之后，通過按壓壓縮空氣氣嘴5排出壓縮空氣，壓緊板31受彈簧33推力作用在安裝槽內(nèi)伸長，彈簧33緊緊抵住壓緊板31，使得壓緊板31壓緊平面靶材8，平面靶材固定壓緊裝置1已經(jīng)將平面靶材8固定，如圖1所示。

本發(fā)明實施例的平面靶材固定壓緊裝置，利用彈簧和氣脹的方式壓緊代替常規(guī)的螺絲壓緊板壓緊，不僅減少拆卸壓緊板帶來的工作量，而且極大的節(jié)約了工作時間(可以使10分鐘到30分鐘甚至更多的工作時間縮短到幾秒鐘)。另外，該平面靶材固定壓緊裝置工作時減小了內(nèi)外的壓強差，大大增加了使用壽命。

本發(fā)明中應(yīng)用了具體實施例對本發(fā)明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明的限制。