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一種不銹鋼AF涂層工藝的制作方法

文檔序號(hào):11937650閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,包括以下步驟:

步驟一:將不銹鋼基材先在磁控濺射設(shè)備上用磁控濺射的方法沉積PVD涂層;

步驟二:用AF鍍膜機(jī)進(jìn)行輝光清洗;

步驟三:沉積氧化鋁和二氧化硅,形成過渡層;

步驟四:沉積AF膜;

步驟五:冷卻出爐。

2.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的沉積PVD涂層的參數(shù)如下:時(shí)間為3-5小時(shí);真空度為0.5Pa;氣體采用氬氣和乙炔,氬氣的體積流量為100sccm,乙炔的體積流量為100-1000sccm;偏壓為80-150V;光柵為85度。

3.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的步驟一的操作流程為:抽真空到5*10-3Pa,沖入氬氣100sccm,真空度上升到0.5Pa,啟動(dòng)偏壓電源,設(shè)定偏壓為80-150V,靶功率為10-20KW,沖入乙炔100-1000sccm,時(shí)長3-5小時(shí)。

4.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的輝光清洗的參數(shù)如下:時(shí)間為3-10分鐘;真空度為2.1Pa;氣體采用氬氣,體積流量為1000sccm;偏壓功率為1KW;光柵為85度。

5.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的步驟二的操作流程為:關(guān)高閥1,進(jìn)入鍍膜系統(tǒng),沖入氬氣1000sccm,啟動(dòng)偏壓電源,設(shè)定偏壓功率為1KW,時(shí)長3-10分鐘。

6.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的沉積氧化鋁的參數(shù)為:時(shí)間為3-10分鐘;真空度為0.41Pa;氣體采用氬氣和氧氣,氬氣的體積流量為60sccm,氧氣的體積流量為330sccm;光柵為85度。

7.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的沉積二氧化硅的參數(shù)為:時(shí)間為1-5分鐘;真空度為0.41Pa;氣體采用氬氣和氧氣,氬氣的體積流量為60sccm,氧氣的體積流量為330sccm;光柵為85度。

8.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的沉積氧化鋁的步驟為:開高閥1,沖入氬氣60sccm,氧氣330sccm,開鋁靶機(jī)電源,設(shè)定靶電源功率為0.5-2KW,時(shí)長3-10分鐘;所述的沉積二氧化硅的步驟為:開高閥1,沖入氬氣60sccm,氧氣330sccm,開硅靶機(jī)電源,設(shè)定靶電源功率為0.5-2KW,時(shí)長1-5分鐘。

9.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的沉積AF膜的參數(shù)為:時(shí)間為10-20分鐘;真空度為7*10-3Pa以下;不充氣;光柵為0度。

10.如權(quán)利要求1所述的不銹鋼AF涂層工藝,其特征在于,所述的沉積AF膜的步驟為:調(diào)整光柵角度為0度,設(shè)定蒸發(fā)電源電壓為1-5V,時(shí)長為10-20分鐘。

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