技術特征：

技術總結
本發(fā)明提供了一種用于金屬化學機械拋光后的清洗液，包含至少一種有機酸，有機磷酸類化合物，一種陰離子表面活性劑以及一種非離子表面活性劑。該清洗液可用于清洗含有金屬的晶片拋光后的表面?？蓪伖夂髿埩粼诰砻娴难心ヮw粒及金屬離子、金屬腐蝕抑制劑等有機物去除，改善清洗后晶圓表面的親水性，降低表面缺陷。

技術研發(fā)人員：張建;荊建芬;楊俊雅;蔡鑫元;宋凱
受保護的技術使用者：安集微電子科技（上海）有限公司
技術研發(fā)日：2015.12.31
技術公布日：2017.07.07