技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的氣浮導(dǎo)軌的表面處理方法，包括將氣浮導(dǎo)軌置于等離子體反應(yīng)腔；調(diào)節(jié)所述等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的壓強至第一值；向所述等離子體反應(yīng)腔通入氧氣及氬氣；控制所述等離子體反應(yīng)腔的陽極射頻頻率為50～100KHz，陰極射頻頻率為20～30MHz，以實現(xiàn)第一次輝光放電。本發(fā)明能高效清洗氣浮導(dǎo)軌表面的有機殘留物，從而保證表面光滑潔凈，降低摩擦力，以提高工作穩(wěn)定性及精密度并延長使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：劉向東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東莞新科技術(shù)研究開發(fā)有限公司
文檔號碼：201510980775
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.22
技術(shù)公布日：2017.06.30