技術(shù)編號：12779579
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及氣浮導軌領(lǐng)域，尤其涉及一種氣浮導軌的表面處理方法。背景技術(shù)氣浮導軌基于氣體動靜壓效應(yīng)實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動，其具有運動精度高、清潔無污染等特點。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度，通常與伺服驅(qū)動，傳感器組成閉環(huán)系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度位移定位。因此，目前氣浮導軌在測量儀器、精密機械如數(shù)控機床中得到廣泛應(yīng)用。而氣浮導軌的精密度與其清潔度息息相關(guān)，為了保證精密度，定期清洗顯得十分重要。傳統(tǒng)的氣浮導軌的表面清洗方法是將清洗液加入水池，利用超聲波振動來清洗氣浮導軌，此法可...
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