本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜熔爐裝置。

背景技術(shù)：

真空鍍膜是將固體材料置于真空室內(nèi)，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來(lái)的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當(dāng)把一些加工好的基板材料放在其中時(shí)，蒸發(fā)出來(lái)的原子或分子就會(huì)吸附在基板上逐漸形成一層薄膜。真空鍍膜有兩種方法，一是蒸發(fā)鍍膜，一是濺射鍍膜。

傳統(tǒng)的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜是在真空腔內(nèi)完成，用于放置有機(jī)物的容器在熱源的作用下升溫，使得有機(jī)物蒸發(fā)從而完成鍍膜，但是如果有機(jī)物受熱不均勻，導(dǎo)致蒸發(fā)不均勻的話，EL元件的鍍膜也會(huì)不均勻，影響鍍膜效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是解決上述問(wèn)題，提供一種均勻加熱容器、穩(wěn)定蒸發(fā)有機(jī)物、提高鍍膜效果的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜熔爐裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜熔爐裝置，包括用于放置有機(jī)物的容器，容器的上端具有開口，容器周圍纏繞有發(fā)熱線，發(fā)熱線與容器外壁之間間隔有一定距離，所述發(fā)熱線與交流電源裝置相連。

優(yōu)選地，所述容器與接地電源相連。

優(yōu)選地，所述容器的電阻率小于10^-2Ω㎝，熔點(diǎn)大于1500℃。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明所提供的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜熔爐裝置，發(fā)熱線通過(guò)交流電源裝置加熱到一定溫度，熱量以熱離子的方式熱輻射出去，并把熱量傳到容器從而加熱有機(jī)物使有機(jī)物蒸發(fā)；與傳統(tǒng)的發(fā)熱線與容器接觸的加熱方式相比，本發(fā)明容器的溫度增加會(huì)更加的均勻，因而能夠穩(wěn)定蒸發(fā)有機(jī)物，提高鍍膜效果。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明中熔爐裝置的使用狀態(tài)示意圖；

圖2是本發(fā)明中熔爐裝置的截面圖；

圖3是本發(fā)明中熔爐裝置的立體圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：5、真空腔；10、基板；20、膜厚傳感器；30、擋板；40、容器；50、真空計(jì)；60、真空泵；70、發(fā)熱線；80、交流電源裝置；90、接地電源；100、有機(jī)物；110、屏蔽膜。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說(shuō)明：

如圖1至圖3所示，本發(fā)明的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜熔爐裝置，安裝在密閉的真空腔5底部，包括用于放置有機(jī)物100的容器40，容器40的上端具有開口，容器40周圍纏繞有發(fā)熱線70，發(fā)熱線45與容器40外壁之間間隔有一定距離，發(fā)熱線70與交流電源裝置80相連，容器40與接地電源90相連，交流電源裝置80可以防止發(fā)熱線70與容器40之間產(chǎn)生電火花。

真空腔5中還設(shè)有基板10和屏蔽膜110，基板10位于容器40的開口上方，屏蔽膜110設(shè)于發(fā)熱線70的外圍，屏蔽膜110為環(huán)狀，用于反射發(fā)熱線70發(fā)出的熱離子，提高熔爐裝置的加熱效率。

真空腔5還分別與真空泵60和真空計(jì)50相連，真空泵60用于將真空腔5抽取真空，真空計(jì)50用于監(jiān)測(cè)真空腔5內(nèi)的真空度；真空腔5還設(shè)有用于檢測(cè)基板10上鍍膜厚度的膜厚傳感器20，容器40上端開口和基板10之間設(shè)有擋板30，所述擋板30可以設(shè)置為可開合式的，也可以設(shè)置為旋轉(zhuǎn)式的。

本發(fā)明的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜熔爐裝置，發(fā)熱線70通過(guò)交流電源裝置80加熱到一定溫度，熱量以熱離子的方式熱輻射出去，并把熱量傳到容器40，為了更加均勻的吸收熱量，容器40的電阻率應(yīng)該小于10^-2Ω㎝，用于制作容器40的材料的熔點(diǎn)應(yīng)該在1500℃以上，發(fā)熱線70可采用燈絲材料制成，比如鎢或者鎢合金；與傳統(tǒng)的發(fā)熱線與容器接觸的加熱方式相比，本發(fā)明的熔爐裝置中，容器40的溫度增加會(huì)更加的均勻，因而能夠穩(wěn)定蒸發(fā)有機(jī)物，提高鍍膜效果。

本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會(huì)意識(shí)到，這里所述的實(shí)施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理，應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實(shí)施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實(shí)質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。