一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及立式真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭。它包括底座，底座中部設(shè)有第一通孔，底座的底部設(shè)有與底座相連接的用于引導(dǎo)液體的引液組件，底座的頂部設(shè)有用于安裝靶桶的下端蓋，所述下端蓋中部設(shè)有第二通孔，引液組件的頭端穿過(guò)所述第一通孔和第二通孔，下端蓋與底座之間設(shè)有套在所述引液組件上用于轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件上還設(shè)有用于密封所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件的密封組件。本發(fā)明通過(guò)雙軸承配合同步輪的超薄端頭結(jié)構(gòu),既滿(mǎn)足使用要求，又節(jié)約腔體空間，在制造真空設(shè)備室能節(jié)約了材料使用，降低設(shè)備成本，同時(shí)壓縮了真空室空間，等于加大了真空泵的抽速.并且由于厚度比較薄還可適用于舊的真空設(shè)備改造。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及立式真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭。

【背景技術(shù)】
[0002]目前的大型真空濺射鍍膜線及單體機(jī)都開(kāi)始采用旋轉(zhuǎn)靶代替原來(lái)的平面陰極，旋轉(zhuǎn)陰極相比老舊的平面陰極具有如下優(yōu)點(diǎn):首先靶材利用率高最高可達(dá)90%，(平面陰極25%-35%)，其次是試用周期長(zhǎng)，可延長(zhǎng)生產(chǎn)時(shí)間，并且工藝穩(wěn)定性高。現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)陰極端頭中端頭的高度一般高的達(dá)到200mm以上，最低的也在10mm以上，這樣的高度在制造新的真空設(shè)備室可以將真空室設(shè)計(jì)高一些，來(lái)和旋轉(zhuǎn)陰極相匹配，但是這無(wú)疑增加了設(shè)備成本。尤其是對(duì)以前老的真空設(shè)備的平面靶改造時(shí)，由于老設(shè)備沒(méi)有給端頭預(yù)留空間，無(wú)法改進(jìn)，進(jìn)而使得老設(shè)備無(wú)法被重新利用起來(lái)。
[0003]


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭來(lái)解決現(xiàn)有技術(shù)中旋轉(zhuǎn)陰極端頭的高度過(guò)高導(dǎo)致的現(xiàn)有真空設(shè)備需要將真空室設(shè)計(jì)高一些，來(lái)和旋轉(zhuǎn)陰極相匹配，從而達(dá)到的增加設(shè)備成本，以及老設(shè)備無(wú)法匹配旋轉(zhuǎn)陰極端頭的問(wèn)題。
[0005]本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下:一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，包括底座，所述底座中部設(shè)有第一通孔，所述底座的底部設(shè)有與底座相連接的用于引導(dǎo)液體的引液組件，所述底座的頂部設(shè)有用于安裝靶桶的下端蓋，所述下端蓋中部設(shè)有第二通孔，所述引液組件的頭端穿過(guò)所述第一通孔和第二通孔，所述下端蓋與底座之間設(shè)有套在所述引液組件上用于轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件上還設(shè)有用于密封所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件的密封組件。
[0006]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
[0007]進(jìn)一步，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括位于下端蓋與底座之間用于驅(qū)動(dòng)下端蓋轉(zhuǎn)動(dòng)的同步輪，所述同步輪與下端蓋之間設(shè)有第二軸承，所述同步輪與底座之間設(shè)有第一軸承，所述同步輪與下端蓋相連接；
進(jìn)一步，所述密封組件包括設(shè)于第二軸承上的軸套，所述軸套與底座之間設(shè)有用于軸套與底座之間密封的第一氟化物密封圈；
進(jìn)一步，所述密封組件還包括設(shè)置于下端蓋上的第二氟化物密封圈，所述引液組件與底座之間設(shè)有第三氟化物密封圈；
進(jìn)一步，所述密封組件還包括設(shè)于第二軸承與下端蓋之間用于密封真空的第一軸封，所述密封組件還包括設(shè)于第一軸封與下端蓋之間設(shè)有用于第一軸封限位、氣封和引電的無(wú)油軸承；
進(jìn)一步，所述密封組件還包括設(shè)于下端蓋的通孔內(nèi)且套在引液組件端頭上的用于封液體的第二軸封，所述第二軸封與下端蓋通孔之間還設(shè)有用于第二軸封限位的卡簧；
進(jìn)一步，所述軸套與底座之間通過(guò)螺栓連接，所述同步輪與下端蓋通過(guò)螺栓連接；進(jìn)一步，所述引液組件包括用于與底座相連接的殼體，所述殼體內(nèi)設(shè)有液流通道，所述端頭上設(shè)有與液流通道連通的出液孔和進(jìn)液孔，所述液流通道的進(jìn)液端和出液端設(shè)有位于底座的一側(cè)的引液管；
進(jìn)一步，所述引液管上還連接有液嘴，所述引液管為銅管，所述引液組件與底座之間通過(guò)螺栓連接；
進(jìn)一步，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件上還連接有通過(guò)齒輪或皮帶驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過(guò)雙軸承配合同步輪的超薄端頭結(jié)構(gòu)，既滿(mǎn)足使用要求，又節(jié)約腔體空間，在制造真空設(shè)備室能節(jié)約了材料使用，降低設(shè)備成本，同時(shí)壓縮了真空室空間，等于加大了真空泵的抽速.并且由于厚度比較薄還可適用于舊的真空設(shè)備改造，能使舊設(shè)備結(jié)合新技術(shù)從而增強(qiáng)設(shè)備生命力，采用軸封具有化學(xué)穩(wěn)定性高，耐磨性好，密封性能比橡膠軸封更優(yōu)良的效果，軸承采用不銹鋼滾珠軸承，引液體座采用內(nèi)部導(dǎo)液體方法，傳動(dòng)采用同步輪傳動(dòng)，所有靜密封采用耐溫在200度左右的氟橡膠圈，采用此種結(jié)構(gòu)使端頭的高度降低，并且端頭的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)緊湊，維護(hù)方便，維護(hù)周期較長(zhǎng)。
[0009]

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本發(fā)明陰極端頭結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明陰極端頭結(jié)構(gòu)外觀圖；
圖3為本發(fā)明陰極端頭結(jié)構(gòu)爆炸圖；
圖4是本發(fā)明陰極端頭的實(shí)施例圖。
[0011]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件如下:
1、底座，11、第一通孔，2、轉(zhuǎn)動(dòng)組件，21、同步輪，22、第一軸承，23、第二軸承，3、引液組件，31、頭端，32、殼體，33、引液管，34、液嘴，35、出液孔，36、進(jìn)液孔，4、下端蓋，41、第二通孔，5、密封組件，51、軸套，52、第一氟化物密封圈，53、第一軸封，54、無(wú)油軸承，55、第二氟化物密封圈，56、第二軸封，57、卡簧，58、第三氟化物密封圈，6、驅(qū)動(dòng)電機(jī)，7、同步帶，8、真空室門(mén)，9、靶桶，91、磁性組件，92、靶桶液管。
[0012]

【具體實(shí)施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0014]圖1和圖2分別是本發(fā)明陰極端頭結(jié)構(gòu)和外觀示意圖；包括底座I,所述底座中部設(shè)有第一通孔11，所述底座的底部設(shè)有與底座相連接的用于引導(dǎo)液體的引液組件3，所述底座的頂部設(shè)有用于安裝靶桶9的下端蓋4，所述下端蓋中部設(shè)有第二通孔41，所述引液組件的頭端31穿過(guò)所述第一通孔和第二通孔，所述下端蓋與底座之間設(shè)有套在所述引液組件上用于轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)組件2，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件上還設(shè)有用于密封所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件的密封組件5。所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括位于下端蓋與底座之間用于驅(qū)動(dòng)下端蓋轉(zhuǎn)動(dòng)的同步輪21，所述同步輪與下端蓋之間設(shè)有第二軸承23，所述同步輪與底座之間設(shè)有第一軸承22，所述同步輪與下端蓋相連接。
[0015]圖3為本發(fā)明陰極端頭結(jié)構(gòu)爆炸圖；所述密封組件包括設(shè)于第二軸承上的軸套51，所述軸套與底座之間設(shè)有用于軸套與底座之間密封的第一氟化物密封圈52 ;所述密封組件還包括設(shè)置于下端蓋上的第二氟化物密封圈55，所述引液組件與底座之間設(shè)有第三氟化物密封圈58 ;所述密封組件還包括設(shè)于第二軸承與下端蓋之間用于密封真空的第一軸封53，所述密封組件還包括設(shè)于第一軸封與下端蓋之間設(shè)有用于第一軸封限位、氣封和引電的無(wú)油軸承54 ;所述密封組件還包括設(shè)于下端蓋的通孔內(nèi)且套在引液組件端頭上的用于封液體的第二軸封56，所述第二軸封與下端蓋通孔之間還設(shè)有用于第二軸封限位的卡簧57;所述軸套與底座之間通過(guò)螺栓連接，所述同步輪與下端蓋通過(guò)螺栓連接。
[0016]所述引液組件包括用于與底座相連接的殼體32，所述殼體內(nèi)設(shè)有液流通道，所述端頭上設(shè)有與液流通道連通的出液孔35和進(jìn)液孔36，所述液流通道的進(jìn)液端和出液端設(shè)有位于底座的一側(cè)的引液管33 ;所述引液管上還連接有液嘴34，所述引液管為銅管，所述引液組件與底座之間通過(guò)螺栓連接；所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件上還連接有通過(guò)齒輪或皮帶驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件。
[0017]本發(fā)明通過(guò)雙軸承配合同步輪的超薄端頭結(jié)構(gòu)，既滿(mǎn)足使用要求，又節(jié)約腔體空間，在制造真空設(shè)備室能節(jié)約了材料使用，降低設(shè)備成本，同時(shí)壓縮了真空室空間，等于加大了真空泵的抽速.并且由于厚度比較薄還可適用于舊的真空設(shè)備改造，能使舊設(shè)備結(jié)合本發(fā)明陰極端頭從而增強(qiáng)設(shè)備生命力，采用軸封具有化學(xué)穩(wěn)定性高，耐磨性好，密封性能比橡膠軸封更優(yōu)良的效果，軸承采用不銹鋼滾珠軸承，引液體座采用內(nèi)部導(dǎo)液體方法，本發(fā)明中由內(nèi)徑為8mm至16mm銅管引出，傳動(dòng)采用同步輪傳動(dòng)，所有靜密封采用耐溫在200度左右的氟橡膠圈，祀管采用標(biāo)準(zhǔn)133mm直徑.功率密度最大可達(dá)20W/cm2,祀材最高可達(dá)1200mm,進(jìn)液體口壓力0.4MPa,采用此種結(jié)構(gòu)使陰極端頭的高度降低到60mm以下,且陰極端頭結(jié)構(gòu)緊湊，維護(hù)方便.維護(hù)周期在I年以上。該第一軸封和第二軸封也采用氟化物材料。
[0018]圖4是本發(fā)明陰極端頭的實(shí)施例圖；本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)組件為驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)同步帶驅(qū)動(dòng)同步輪，驅(qū)動(dòng)電機(jī)與陰極端頭被真空室門(mén)隔開(kāi)，所述陰極端頭上的下端蓋上卡接有靶桶，所述靶桶內(nèi)設(shè)有磁性組件和靶桶液管，陰極端頭的高度為57mm, 12mm的銅管，液體采用水，水流從進(jìn)液端進(jìn)入液流通道，從端頭的出液孔進(jìn)入靶桶液管，在靶桶液管內(nèi)完成循環(huán)后從端頭的進(jìn)液孔進(jìn)入液流通道，并處出液端留出，完成一次水的循環(huán)。
[0019]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:包括底座，所述底座中部設(shè)有第一通孔，所述底座的底部設(shè)有與底座相連接的用于引導(dǎo)液體的引液組件，所述底座的頂部設(shè)有用于安裝靶桶的下端蓋，所述下端蓋中部設(shè)有第二通孔，所述引液組件的頭端穿過(guò)所述第一通孔和第二通孔，所述下端蓋與底座之間設(shè)有套在所述引液組件上用于轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件上還設(shè)有采用軸封密封所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件的密封組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括位于下端蓋與底座之間用于驅(qū)動(dòng)下端蓋轉(zhuǎn)動(dòng)的同步輪，所述同步輪與下端蓋之間設(shè)有第二軸承，所述同步輪與底座之間設(shè)有第一軸承，所述同步輪與下端蓋相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述密封組件包括設(shè)于第二軸承上的軸套，所述軸套與底座之間設(shè)有用于軸套與底座之間密封的第一氟化物密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述密封組件還包括設(shè)置于下端蓋上的第二氟化物密封圈，所述引液組件與底座之間設(shè)有第三氟化物密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述密封組件還包括設(shè)于第二軸承與下端蓋之間用于密封真空的第一軸封，密封組件還包括設(shè)于第一軸封與下端蓋之間設(shè)有用于第一軸封限位、氣封和引電的無(wú)油軸承。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述密封組件還包括設(shè)于下端蓋的通孔內(nèi)且套在引液組件端頭上的用于封液體的第二軸封，所述第二軸封與下端蓋通孔之間還設(shè)有用于第二軸封限位的卡簧。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述軸套與底座之間通過(guò)螺栓連接，所述同步輪與下端蓋通過(guò)螺栓連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述引液組件包括用于與底座相連接的殼體，所述殼體內(nèi)設(shè)有液流通道，所述端頭上設(shè)有與液流通道連通的出液孔和進(jìn)液孔，所述液流通道的進(jìn)液端和出液端設(shè)有位于底座的一側(cè)的引液管。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述引液管上還連接有液嘴，所述引液管為銅管，所述引液組件與底座之間通過(guò)螺栓連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭，其特征在于:所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件上還連接有通過(guò)齒輪或皮帶驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK104357802SQ201410618362
【公開(kāi)日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2014年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月6日
【發(fā)明者】邵海平 申請(qǐng)人:邵海平