技術編號：3323208
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及立式真空鍍膜設備領域，具體涉及一種氟化物軸封超薄旋轉陰極端頭。它包括底座，底座中部設有第一通孔，底座的底部設有與底座相連接的用于引導液體的引液組件，底座的頂部設有用于安裝靶桶的下端蓋，所述下端蓋中部設有第二通孔，引液組件的頭端穿過所述第一通孔和第二通孔，下端蓋與底座之間設有套在所述引液組件上用于轉動的轉動組件，所述轉動組件上還設有用于密封所述轉動組件的密封組件。本發(fā)明通過雙軸承配合同步輪的超薄端頭結構,既滿足使用要求，又節(jié)約腔體空間，在制造真空設...
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