一種真空陰極的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及應(yīng)用于真空鍍膜行業(yè)，特別涉及一種真空陰極的旋轉(zhuǎn)屏蔽結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可應(yīng)用在材料表面涂鍍裝飾膜層及耐磨硬質(zhì)膜層的方面領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前市場(chǎng)上的陰極旋轉(zhuǎn)屏蔽種類(lèi)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制作成本高，實(shí)用性與可靠性差，零件繁多，維護(hù)費(fèi)用高且不方便，在真空高溫環(huán)境下容易變形卡死。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型提供了一種真空陰極的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，所述屏蔽筒位于一真空腔室內(nèi)，所述真空腔室的頂部設(shè)置有上蓋板，所述真空腔室的底部設(shè)置有下蓋板，所述屏蔽筒頂部設(shè)置有一陰極電極，且所述陰極電極的一端凸出設(shè)于所述上蓋板之上；
[0004]所述屏蔽筒頂部具有一座體，所述座體固定在所述上蓋板底部，所述座體側(cè)面自上而下依次設(shè)置有上壓環(huán)、中間壓環(huán)和下壓環(huán)，所述上壓環(huán)和中間壓環(huán)之間、所述中間壓環(huán)和所述下壓環(huán)之間均設(shè)置有凹槽，所述凹槽內(nèi)放置有若干鋼珠。
[0005]上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其中，所述座體與所述上蓋板之間通過(guò)螺釘進(jìn)行固定。
[0006]上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其中，所述中間壓環(huán)與所述上壓環(huán)之間通過(guò)螺釘進(jìn)行固定。
[0007]上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其中，所述中間壓環(huán)與所述下壓環(huán)之間通過(guò)螺釘進(jìn)行固定。
[0008]上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其中，所述下蓋板下方固定有磁流體密封轉(zhuǎn)軸，所述磁流體密封轉(zhuǎn)軸底部通過(guò)一連接件與一旋轉(zhuǎn)氣缸相連。
[0009]上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其中，所述旋轉(zhuǎn)氣缸表面開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。
[0010]上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其中，所述連接件外圍設(shè)置有支撐桿，所述支撐桿底部設(shè)置有氣缸固定板，通過(guò)該氣缸固定板將所述旋轉(zhuǎn)氣缸固定在所述磁流體密封轉(zhuǎn)軸底部。
[0011 ] 上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其中，所述連接件設(shè)置在一軸連接套內(nèi)。
[0012]由于本實(shí)用新型提供的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒采用了上述結(jié)構(gòu)，在上壓環(huán)的底部、中間壓環(huán)的頂部和底部以及下壓環(huán)的頂部均設(shè)置有位置相對(duì)應(yīng)的半圓形的凹槽，通過(guò)在這些凹槽內(nèi)放置鋼珠，利用這些鋼珠來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，可以有效的避免真空高溫環(huán)境下使用軸承易卡死變形，使用性能穩(wěn)定可靠。
【附圖說(shuō)明】
[0013]通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。
[0014]圖1為本實(shí)用新型提供的一種真空陰極的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒的截面圖；
[0015]圖2為旋轉(zhuǎn)屏蔽筒的關(guān)閉狀態(tài)示意圖；
[0016]圖3為將圖2所示的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒進(jìn)行旋轉(zhuǎn)后的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]在下文的描述中，給出了大量具體的細(xì)節(jié)以便提供對(duì)本實(shí)用新型更為徹底的理解。然而，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見(jiàn)的是，本實(shí)用新型可以無(wú)需一個(gè)或多個(gè)這些細(xì)節(jié)而得以實(shí)施。在其他的例子中，為了避免與本實(shí)用新型發(fā)生混淆，對(duì)于本領(lǐng)域公知的一些技術(shù)特征未進(jìn)行描述。
[0018]為了徹底理解本實(shí)用新型，將在下列的描述中提出詳細(xì)的步驟以及詳細(xì)的結(jié)構(gòu)，以便闡釋本實(shí)用新型的技術(shù)方案。本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例詳細(xì)描述如下，然而除了這些詳細(xì)描述外，本實(shí)用新型還可以具有其他實(shí)施方式。
[0019]參照?qǐng)D1所示，本實(shí)用新型提供了一種真空陰極的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，屏蔽筒5位于一真空腔室20內(nèi)，真空腔室20的頂部設(shè)置有上蓋板18，真空腔室20的底部設(shè)置有下蓋板19，屏蔽筒5頂部設(shè)置有一陰極電極17，該陰極電極17的頂端凸出設(shè)于上蓋板18之上；屏蔽筒頂部具有一座體1，座體1固定在上蓋板18底部，座體1側(cè)面自上而下依次設(shè)置有上壓環(huán)2、中間壓環(huán)3和下壓環(huán)4，上壓環(huán)2和中間壓環(huán)3之間、中間壓環(huán)3和下壓環(huán)4之間均設(shè)置有凹槽，凹槽內(nèi)放置有若干鋼珠。
[0020]由于本實(shí)用新型提供的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒采用了上述結(jié)構(gòu)，上壓環(huán)2的底部、中間壓環(huán)3的頂部和底部以及下壓環(huán)4的頂部均設(shè)置有位置相對(duì)應(yīng)的半圓形的凹槽，通過(guò)在這些凹槽內(nèi)放置鋼珠，利用這些鋼珠來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，可以有效的避免磨損，延長(zhǎng)使用壽命。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)起來(lái)較為簡(jiǎn)便，適合推廣應(yīng)用。
[0021]其中，上述的座體1用于支撐固定及旋轉(zhuǎn)屏蔽?？蛇x的，上壓環(huán)2與中間壓環(huán)3之間溝槽內(nèi)放置的鋼珠8與下壓環(huán)4與中間壓環(huán)3之間溝槽內(nèi)放置的鋼珠9的直徑可以相同也可以不同，如圖所示。
[0022]在本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，座體1與上蓋板18之間通過(guò)螺釘6進(jìn)行固定。在另一些實(shí)施例中，也可以通過(guò)卡扣的方式來(lái)將上壓環(huán)2與上蓋板18進(jìn)行固定。
[0023]在本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，中間壓環(huán)3與上壓環(huán)2之間通過(guò)螺釘7a進(jìn)行固定。
[0024]在本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，中間壓環(huán)3與下壓環(huán)4之間通過(guò)螺釘7b進(jìn)行固定。
[0025]在本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，真空腔室20底部固定有磁流體密封轉(zhuǎn)軸10，該磁流體密封轉(zhuǎn)軸10通過(guò)螺釘11固定在下基板19底部，且該磁流體密封轉(zhuǎn)軸10底部通過(guò)一連接件15與一旋轉(zhuǎn)氣缸16相連。本實(shí)用新型通過(guò)在真空腔室20底部使用了磁流體密封轉(zhuǎn)軸10，采用這種磁性液體密封裝置，密封性能更好。
[0026]在本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)氣缸16表面開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口 21和出氣口 22。
[0027]在本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，連接件15外圍設(shè)置有支撐桿12，支撐桿12底部設(shè)置有氣缸固定板13，通過(guò)該氣缸固定板13將旋轉(zhuǎn)氣缸16固定在磁流體密封轉(zhuǎn)軸10底部。
[0028]在本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，連接件15設(shè)置在一軸連接套14內(nèi)。
[0029]下面就上述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒的使用和維護(hù)進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明:
[0030]裝配連接:首先把上壓環(huán)2按圖1所示位置固定在上基板上面，把鋼球8放入上壓環(huán)2溝槽內(nèi)排滿然后拿掉一個(gè)；之后按圖把中間壓環(huán)蓋在上壓環(huán)2上面，注意方向不要裝反，用螺釘固定鎖緊；把鋼球9放入中間環(huán)底部的凹槽內(nèi)依次排滿后拿掉一個(gè)，按圖把下壓環(huán)4固定在中間環(huán)上面用螺釘固定鎖緊，用手旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活不卡。之后將上述安裝好的整體翻轉(zhuǎn)并固定在真空腔室20頂部；將磁流體密封轉(zhuǎn)軸10用螺釘固定連接到真空腔室20底部的基板外，將支撐桿12擰緊到磁流體密封轉(zhuǎn)軸10下面，把連接件安裝到磁流體密封轉(zhuǎn)軸10的軸端，并依次安裝軸連接套；先將旋轉(zhuǎn)氣缸與氣缸固定板13進(jìn)行固定，最后將氣缸固定板13固定在支撐桿12上。完成上述安裝步驟后，組裝成圖1所示的結(jié)構(gòu)。
[0031]在安裝過(guò)程中，在凹槽中放入鋼珠后拿掉一個(gè)是為了避免凹槽內(nèi)的鋼珠排列過(guò)于緊密，進(jìn)而影響正常轉(zhuǎn)動(dòng)，另一方面也減小了摩擦，延長(zhǎng)機(jī)器使用壽命。
[0032]裝配連接后檢查:1磁流體密封轉(zhuǎn)軸的密封性能，轉(zhuǎn)動(dòng)是否靈活，2.檢查屏蔽安裝位置；3.檢測(cè)屏蔽筒旋轉(zhuǎn)是否靈活不卡。
[0033]部件清理與清洗:①吹清:可以用氣槍吹清接頭本體孔內(nèi)的油污及鐵銷(xiāo)。在此需要注意的是，在利用氣槍吹孔內(nèi)的鐵銷(xiāo)及油污時(shí)，另一端不要朝人朝物以防鐵銷(xiāo)或酒精進(jìn)入眼睛；②擦拭:可以用擦機(jī)布和酒精或丙酮將部件表面的灰塵油污及贓物擦拭干凈。在此需要注意的是，酒精屬于易燃品，清洗時(shí)要注意附近無(wú)煙火，保證生產(chǎn)安全。
[0034]參照?qǐng)D2和圖3所示，通過(guò)旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，將開(kāi)口對(duì)準(zhǔn)工件23進(jìn)行噴涂；結(jié)束時(shí)，再將屏蔽筒旋轉(zhuǎn)回初始位置即可。
[0035]以上對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空陰極的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述屏蔽筒位于一真空腔室內(nèi)，所述真空腔室的頂部設(shè)置有上蓋板，所述真空腔室的底部設(shè)置有下蓋板，所述屏蔽筒頂部設(shè)置有一陰極電極，且所述陰極電極的一端凸出設(shè)于所述上蓋板之上； 所述屏蔽筒頂部具有一座體，所述座體固定在所述上蓋板底部，所述座體側(cè)面自上而下依次設(shè)置有上壓環(huán)、中間壓環(huán)和下壓環(huán)，所述上壓環(huán)和中間壓環(huán)之間、所述中間壓環(huán)和所述下壓環(huán)之間均設(shè)置有凹槽，所述凹槽內(nèi)放置有若干鋼珠。2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述座體與所述上蓋板之間通過(guò)螺釘進(jìn)行固定。3.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述中間壓環(huán)與所述上壓環(huán)之間通過(guò)螺釘進(jìn)行固定。4.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述中間壓環(huán)與所述下壓環(huán)之間通過(guò)螺釘進(jìn)行固定。5.如權(quán)利要求1至4任意一所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述下蓋板下方固定有磁流體密封轉(zhuǎn)軸，所述磁流體密封轉(zhuǎn)軸底部通過(guò)一連接件與一旋轉(zhuǎn)氣缸相連。6.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)氣缸表面開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。7.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述連接件外圍設(shè)置有支撐桿，所述支撐桿底部設(shè)置有氣缸固定板，通過(guò)該氣缸固定板將所述旋轉(zhuǎn)氣缸固定在所述磁流體密封轉(zhuǎn)軸底部。8.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，其特征在于，所述連接件設(shè)置在一軸連接套內(nèi)。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供了一種真空陰極的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒，屏蔽筒位于一真空腔室內(nèi)，真空腔室的頂部設(shè)置有上蓋板，真空腔室的底部設(shè)置有下蓋板，屏蔽筒頂部設(shè)置有一陰極電極，且陰極電極的一端凸出設(shè)于上蓋板之上；屏蔽筒頂部具有一座體，座體固定在上蓋板底部，座體側(cè)面自上而下依次設(shè)置有上壓環(huán)、中間壓環(huán)和下壓環(huán)，上壓環(huán)和中間壓環(huán)之間、中間壓環(huán)和下壓環(huán)之間均設(shè)置有凹槽，凹槽內(nèi)放置有若干鋼珠。本實(shí)用新型提供的旋轉(zhuǎn)屏蔽筒d上壓環(huán)的底部、中間壓環(huán)的頂部和底部以及下壓環(huán)的頂部均設(shè)置有位置相對(duì)應(yīng)的半圓形的凹槽，通過(guò)在這些凹槽內(nèi)放置鋼珠，利用這些鋼珠來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，可以有效的避免真空高溫環(huán)境下使用軸承易卡死變形，使用性能穩(wěn)定可靠。
【IPC分類(lèi)】C23C14/00
【公開(kāi)號(hào)】CN205062164
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520539035
【發(fā)明人】王叔暉, 孟慶學(xué)
【申請(qǐng)人】上海法德機(jī)械設(shè)備有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2015年7月23日