加工基板周緣部的噴丸加工裝置以及噴丸加工方法
【專利摘要】本發(fā)明提供加工基板周緣部的噴丸加工裝置以及噴丸加工方法。噴丸加工裝置具備：基板周緣部加工機(jī)構(gòu)，其具備：形成有供基板周緣部松弛插入的基板松弛插入部的基板周緣部加工室、配置為前端插入于基板周緣部加工室的內(nèi)部并對(duì)松弛插入于基板松弛插入部的基板周緣部噴射噴射材料的噴嘴、與噴嘴連通并配置于該噴嘴的上方的噴射材料供給機(jī)構(gòu)、以及與基板周緣部加工室連通的集塵機(jī)構(gòu)；基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其具備載置基板并使該基板相對(duì)于噴嘴相對(duì)水平移動(dòng)且使基板旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)；基板輸送機(jī)構(gòu)，其將基板輸送至基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的初始停止位置的上方；升降機(jī)構(gòu)，其用于使基板輸送機(jī)構(gòu)下降來(lái)將基板轉(zhuǎn)移放置于基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
【專利說(shuō)明】加工基板周緣部的噴丸加工裝置以及噴丸加工方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于除去在基材的表面形成有薄膜層的基板上的該基板周緣部的薄膜層的加工裝置亦即噴丸加工裝置、以及使用了該噴丸加工裝置的基板的加工方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在基材的表面形成薄膜層時(shí)，存在基板周緣部的薄膜層的厚度比中間部厚、以及薄膜層到達(dá)背面的情況。
[0003]以薄膜太陽(yáng)能電池板為例進(jìn)行說(shuō)明。對(duì)于薄膜太陽(yáng)能電池板而言，層疊有透明電極層、半導(dǎo)體層、金屬層等的薄膜層形成于玻璃等透光性基板的表面。層疊工序例如通過(guò)氣相反應(yīng)來(lái)進(jìn)行，但是此時(shí)有上述薄膜層經(jīng)由周緣部而到達(dá)背面的情況。太陽(yáng)能電池模塊追求表面與背面之間的絕緣性能。因此，本申請(qǐng)發(fā)明人提出用于通過(guò)利用噴丸加工技術(shù)除去薄膜太陽(yáng)能電池板的周緣部的薄膜層來(lái)提高上述絕緣性能的裝置。
[0004]專利文獻(xiàn)1:W02011/152073號(hào)文本
[0005]專利文獻(xiàn)I所述的裝置能夠除去太陽(yáng)能電池板的周緣部的薄膜層。但是，在作為環(huán)境負(fù)荷小的發(fā)電裝置而急需設(shè)置太陽(yáng)能電池的過(guò)程中，追求能夠進(jìn)設(shè)置太陽(yáng)能電池一步地提高生產(chǎn)率的加工裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是一種噴丸加工裝置，其用于對(duì)在表面上形成有薄膜層的基板除去基板周緣部的薄膜層，其特征在于，具備:基板周緣部加工機(jī)構(gòu)，該基板周緣部加工機(jī)構(gòu)具備形成有供上述基板周緣部松弛插入的基板松弛插入部的基板周緣部加工室、配置為前端插入于上述基板周緣部加工室的內(nèi)部并對(duì)松弛插入于上述基板松弛插入部的上述基板周緣部噴射噴射材料的噴嘴、與上述噴嘴連通并配置于該噴嘴的上方的噴射材料供給機(jī)構(gòu)、以及與上述基板周緣部加工室連通的集塵機(jī)構(gòu)；基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備載置上述基板并使該基板相對(duì)于上述噴嘴相對(duì)水平移動(dòng)且使上述基板旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)；基板輸送機(jī)構(gòu)，該基板輸送機(jī)構(gòu)將上述基板輸送至上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的初始停止位置的上方；以及升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)用于使上述基板輸送機(jī)構(gòu)下降來(lái)將上述基板轉(zhuǎn)移放置于基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0007]本發(fā)明的噴丸加工裝置將使基板相對(duì)于噴嘴相對(duì)水平移動(dòng)的基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)配置于比現(xiàn)有的加工裝置(在以下的說(shuō)明中，只要無(wú)特別說(shuō)明，則“現(xiàn)有的加工裝置”是指專利文獻(xiàn)I的加工裝置)低的位置。即，相比現(xiàn)有的加工裝置，基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的重心較低，因此在為了提高生產(chǎn)率而使基板的水平移動(dòng)的速度上升的情況下，能夠無(wú)振動(dòng)且穩(wěn)定地移動(dòng)基板。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在加快了加工速度的情況下也能夠穩(wěn)定地進(jìn)行噴丸加工，從而能夠除去基板周緣部的薄膜層。
[0008]另外，本發(fā)明的噴丸加工裝置的特征在于，上述噴嘴是通過(guò)在該噴嘴內(nèi)部產(chǎn)生的吸引力吸引噴射材料的構(gòu)造的噴嘴。[0009]本發(fā)明的噴丸加工裝置與現(xiàn)有的加工裝置相比將噴嘴配置于更低的位置，因此噴嘴與噴射材料供給機(jī)構(gòu)之間的距離變長(zhǎng)，所以吸引噴射材料的吸引力變小。即，從噴射噴嘴相對(duì)地噴射氣固兩相流的噴射力變大，因此加工能力提高。
[0010]并且，本發(fā)明的噴丸加工裝置的特征在于也可以形成為，上述噴嘴具有下述構(gòu)造，即:具備噴射壓縮空氣的空氣噴嘴、設(shè)有供給噴射材料的噴射材料供給路徑且在內(nèi)部設(shè)有與上述供給路徑連通的混合室的噴嘴支架、以及與上述混合室連通并設(shè)于上述空氣噴嘴的延長(zhǎng)方向的噴射噴嘴，并且，該噴嘴通過(guò)在上述混合室內(nèi)產(chǎn)生的吸引力吸引噴射材料。
[0011]本發(fā)明的構(gòu)造的噴嘴形成為:由于通過(guò)空氣噴嘴噴射的壓縮空氣在噴嘴支架內(nèi)的混合室內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓，通過(guò)該負(fù)壓而將噴射材料吸引至混合室，在該混合室形成氣固兩相流，并從噴射噴嘴噴射該氣固兩相流的構(gòu)造。該噴嘴能夠連續(xù)噴射噴射材料，因此生產(chǎn)率較好。
[0012]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為，上述噴射材料供給機(jī)構(gòu)還具備用于將預(yù)先設(shè)定的量的噴射材料連續(xù)供給至上述噴嘴的定量供給機(jī)構(gòu)。由此能夠進(jìn)行穩(wěn)定的噴丸加工，因此不會(huì)由于加工不足而產(chǎn)生不良品。
[0013]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為還具備與上述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)鄰接的清潔機(jī)構(gòu)。
[0014]由此，即使通過(guò)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)未吸凈噴射材料而在基板表面附著有噴射材料，也能夠通過(guò)上述清潔機(jī)構(gòu)除去該噴射材料。
[0015]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為具備:配置為與上述基板的表面不接觸并對(duì)置且下端開(kāi)口的殼體、配置為前端插入于上述殼體的內(nèi)部并向上述基板噴射壓縮空氣的清潔噴嘴、以及設(shè)于上述殼體并與集塵機(jī)構(gòu)連通的吸引部件。通過(guò)上述清潔噴嘴噴射的壓縮空氣剝離附著于基板表面的含有噴射材料的微粉末。剝離的微粉末漂浮于殼體內(nèi)的空間。吸引部件與吸引機(jī)構(gòu)連結(jié)，并通過(guò)該吸引機(jī)構(gòu)吸引殼體內(nèi)的空間。由此，能夠除去附著(殘留)于基板表面的噴射材料。
[0016]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為，還具備從外側(cè)將上述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)、上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、以及上述基板輸送機(jī)構(gòu)包裝的筐體，上述基板輸送機(jī)構(gòu)還具備:將上述基板送入上述筐體內(nèi)的功能、和將除去上述基板周緣部的薄膜層后的基板向上述筐體的外部送出的功能。由此，相比現(xiàn)有的加工裝置，基板輸送機(jī)構(gòu)少，因此能夠廉價(jià)地制造裝置。
[0017]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為具備用于使被輸送至上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的基板在規(guī)定的位置停止的定位機(jī)構(gòu)。通過(guò)這種定位機(jī)構(gòu)能夠高精度地加工上述基板。
[0018]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為:具備一對(duì)上述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)，該基板周緣部加工機(jī)構(gòu)配置為使各自的上述基板松弛插入部彼此相對(duì)且隔開(kāi)規(guī)定的間隔。由于能夠同時(shí)加工上述基板的彼此平行地對(duì)置的兩邊的基板周緣部，所以能夠縮短加工時(shí)間。
[0019]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為:配置有基板中間部加工機(jī)構(gòu)，該基板中間部加工機(jī)構(gòu)具備:配置為與上述基板的表面對(duì)置且下端開(kāi)口的飛散防止罩、配置為前端插入于上述飛散防止罩的內(nèi)部并對(duì)除上述基板周緣部以外的部分噴射噴射材料的噴嘴、以及設(shè)于上述飛散防止罩并與上述集塵機(jī)構(gòu)連結(jié)的吸引部件。飛散防止罩與集塵機(jī)構(gòu)由吸引部件連通。通過(guò)由噴嘴噴射出的噴射材料來(lái)除去除基板周緣部以外的位置(基板中間部)的薄膜層。噴射材料、微粒(由于與被除去的薄膜層、基板之間的碰撞而形成為無(wú)法再使用的大小的噴射材料)這類(lèi)的粉塵在飛散防止罩內(nèi)被集塵機(jī)構(gòu)吸引。這樣，能夠通過(guò)該基板中間部加工機(jī)構(gòu)除去基板的內(nèi)側(cè)的薄膜層。從通過(guò)該基板中間部加工機(jī)構(gòu)除去的部分的中心切斷該基板，由此能夠獲得多塊除去了周緣部的薄膜層的基板。
[0020]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工裝置也可以形成為，通過(guò)上述噴丸加工裝置加工的基板是在透光性基材(玻璃、樹(shù)脂(例如聚對(duì)苯二甲酸乙二酯樹(shù)脂)等)的平面上層積用于形成薄膜太陽(yáng)能電池板的薄膜層(透明電極層、光半導(dǎo)體層、金屬層等)而得的薄膜太陽(yáng)能電池板。通過(guò)本發(fā)明的噴丸加工裝置，能夠獲得表面與背面之間的絕緣特性優(yōu)秀的太陽(yáng)能電池板。
[0021]另外，本發(fā)明涉及一種噴丸加工方法，其用于通過(guò)噴丸加工裝置除去基板周緣部的薄膜層，其特征在于，具備:通過(guò)上述基板輸送機(jī)構(gòu)將上述基板輸送至上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的工序、用于使被輸送至上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的基板在規(guī)定的位置停止的定位工序、使上述基板輸送機(jī)構(gòu)下降來(lái)將上述基板轉(zhuǎn)移放置于上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并且將該基板固定于基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的工序、使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)來(lái)將上述基板周緣部的至少一邊松弛插入于上述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的基板松弛插入部的工序、以及一邊使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)上述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去松弛插入于上述基板松弛插入部的上述基板周緣部的薄膜層并且通過(guò)上述集塵機(jī)構(gòu)吸引該噴射材料的工序。
[0022]另外，本發(fā)明所述的噴丸加工方法也可以形成為還包括:在除去上述基板周緣部的至少一邊的薄膜層后通過(guò)上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使該基板旋轉(zhuǎn)90度的工序、使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)移動(dòng)來(lái)將與除去了上述基板的薄膜層的周緣部的邊鄰接的至少一邊分別松弛插入于上述基板松弛插入部的工序、以及一邊使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)上述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去松弛插入于該基板松弛插入部的周緣部的薄膜層并且通過(guò)上述集塵機(jī)構(gòu)吸引該噴射材料的工序。
[0023]通過(guò)本發(fā)明的噴丸加工方法，與現(xiàn)有的加工裝置相比，將使基板相對(duì)于噴嘴相對(duì)水平移動(dòng)的基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)配置于更低的位置。即，基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的重心變低，因此在為了提高生產(chǎn)率而使基板的水平移動(dòng)的速度上升的情況下，也能夠無(wú)振動(dòng)且穩(wěn)定地移動(dòng)。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在加快了加工速度的情況下，也能夠進(jìn)行穩(wěn)定的噴丸加工，從而能夠除去基板周緣部的薄膜層。
[0024]另外，本發(fā)明涉及噴丸加工方法，其用于通過(guò)噴丸加工裝置除去基板周緣部的薄膜層，其特征在于，具備:將上述基板輸送至上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的工序、用于使被上述基板輸送機(jī)構(gòu)輸送至基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的基板在規(guī)定的位置停止的定位工序、使上述基板輸送機(jī)構(gòu)下降來(lái)將上述基板轉(zhuǎn)移放置于上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并且將該基板固定于基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的工序、使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)來(lái)將上述基板的作為對(duì)置的周緣部的第一加工邊分別松弛插入于上述基板松弛插入部的工序、一邊使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)上述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去上述第一加工邊的薄膜層并且通過(guò)上述集塵機(jī)構(gòu)吸引上述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的內(nèi)部產(chǎn)生的粉塵的工序。
[0025]另外，還可以形成為，還包括:通過(guò)上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使除去了上述第一加工邊的薄膜層的基板旋轉(zhuǎn)90度的工序、使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)來(lái)將與第一加工邊鄰接的第二加工邊分別松弛插入于上述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的基板松弛插入部的工序、一邊使上述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)上述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去上述第二加工邊的薄膜層并且通過(guò)上述集塵機(jī)構(gòu)吸引在上述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的內(nèi)部產(chǎn)生的粉塵的工序。由于能夠同時(shí)除去對(duì)置的平行的兩邊的周緣部的不必要的薄膜層，所以能夠短時(shí)間內(nèi)除去基板周緣部的薄膜層。
[0026]根據(jù)本發(fā)明，能夠獲得相比現(xiàn)有的加工裝置縮短加工時(shí)間且提高了生產(chǎn)率的噴丸加工裝置以及噴丸加工方法。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。(A)圖是俯視剖視圖，(B)圖是主視剖視圖。
[0028]圖2是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式中的基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的說(shuō)明圖。(A)圖是側(cè)視圖，(B)圖是俯視圖 ，(C)圖是用于對(duì)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的示意圖，(D)圖是(B)圖的縱剖視圖。
[0029]圖3是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式中的噴嘴的說(shuō)明圖。(A)圖是主視圖，(B)圖是(A)圖中的A-A剖視圖。
[0030]圖4是對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中的清潔機(jī)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的主視剖視圖。
[0031]圖5是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中的加工基板的工序進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。(A)圖是表示工序I的從主視方向觀察的剖視圖，(B)圖是表示工序2的從主視方向觀察的首1J視圖。
[0032]圖6是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中的加工基板的工序進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。(A)圖是表示工序3的從主視方向觀察的剖視圖，(B)圖是表示工序4的從主視方向觀察的首1J視圖。
[0033]圖7是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中的加工基板的工序進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。(A)圖是表示工序5的從主視方向觀察的剖視圖，(B)圖是表示工序6的從主視方向觀察的首1J視圖。
[0034]圖8是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式中的基板中間部加工機(jī)構(gòu)的說(shuō)明圖。(A)圖是對(duì)基板中間部加工機(jī)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的主視剖視圖，(B)圖是對(duì)配置有基板中間部加工機(jī)構(gòu)的噴丸加工裝置進(jìn)行說(shuō)明的俯視剖視圖。
[0035]圖9是對(duì)由本發(fā)明的第二實(shí)施方式的噴丸加工裝置加工的基板的狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。
[0036]附圖標(biāo)記的說(shuō)明:
[0037]10…噴丸加工裝置；1L...筐體；Ila…基板送入口 ；llb…基板送出口 ；12...基板周緣部加工機(jī)構(gòu)；12a…上部殼體；12b…下部殼體；12c…吸引部件；12d…隔離件；12e...基板松弛插入部；12f…噴嘴固定部件；13…清潔機(jī)構(gòu)；13a…殼體；13b…清潔噴嘴；13(^..吸引部件；14…基板輸送機(jī)構(gòu)；14a…輸送輥；14b…架臺(tái)；14c…輥部件；14d…軸;14e…軸承；15...升降機(jī)構(gòu)；16…定位機(jī)構(gòu)；16a…第一固定部件；16b…第二固定部件；16c…調(diào)整部件；16d…調(diào)整機(jī)構(gòu)；17…基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；17a…載置臺(tái)；17b…行進(jìn)機(jī)構(gòu)；17c…轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；18…噴射材料供給機(jī)構(gòu)；18a…料斗；18b…定量供給機(jī)構(gòu)；19...基板中間部加工機(jī)構(gòu)；19a…飛散防止罩；19b…噴嘴；19c…吸引部件$、Ff凸緣部；H…軟管；M…加工區(qū)域；N…噴嘴；S…基板；S’…(切斷后的)基板山…基板周緣部加工單元；U’…基板中間部加工單元。
【具體實(shí)施方式】
[0038]參照?qǐng)D對(duì)本發(fā)明的噴丸加工裝置的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。另外，只要無(wú)特別說(shuō)明，實(shí)施方式的說(shuō)明中的“上下左右方向”是指圖中的方向。
[0039]如圖1的(A)以及(B)所示，第一實(shí)施方式的噴丸加工裝置10具備:一對(duì)基板周緣部加工單元U、基板輸送機(jī)構(gòu)14、升降機(jī)構(gòu)15、定位機(jī)構(gòu)16、基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17、噴射材料供給機(jī)構(gòu)18、從外側(cè)將上述機(jī)構(gòu)包裝的筐體11、以及對(duì)上述機(jī)構(gòu)等的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)(未圖示)。基板周緣部加工單元U包括基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12、和在該基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的左右(基板S的行進(jìn)方向)鄰接的清潔機(jī)構(gòu)13。另外，在筐體11的該圖的上部以及下部的壁面分別形成有用于將基板S送入噴丸加工裝置10內(nèi)的開(kāi)口部即基板送入口 11a、和用于將噴丸加 工結(jié)束后的基板S從噴丸加工裝置10送出的開(kāi)口部即基板送出口lib。
[0040]如圖2所示，基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12具備基板周緣部加工室、以及向基板S噴射噴射材料的噴嘴N，其中，基板周緣部加工室具備底面敞開(kāi)的箱體即上部殼體12a、上表面敞開(kāi)且橫剖面的剖面面積從上端部趨向下方而縮小的中空的下部殼體12b、與上述下部殼體12b的底部連結(jié)的中空的吸引部件12c、以及用于將上述上部殼體12a與上述下部殼體12b隔開(kāi)間隔地連結(jié)的隔離件12d。上部殼體12a的下端面與下部殼體12b的上端面形狀相同，并配置為分離。
[0041]在上部殼體12a的下端以及下部殼體12b的上端，分別設(shè)有“ 口 ”字形且形狀大致相同的凸緣部I F2。并且，上述隔離件12d的上端面以及下端面與上述凸緣部Fp F2形狀大致相同。經(jīng)由上述隔離件12d將上述凸緣部FpF2連結(jié)，由此將上部殼體12a與下部殼體12b連結(jié)，并且形成供基板S的周緣部松弛插入的基板松弛插入部12e。需要選擇上述基板松弛插入部12e的間隔(圖2的(A)中的上下方向的長(zhǎng)度)，使得在松弛插入基板S時(shí)，至少在基板S與開(kāi)口端之間形成有上下方向的適度的間隙。即，使基板S不與基板松弛插入部接觸。若間隙過(guò)小，則基板S與開(kāi)口端接觸，從而有基板S損傷的危險(xiǎn)。若間隙過(guò)大，則吸引外部空氣的風(fēng)速變小，因此無(wú)法充分吸引粉塵(由噴嘴N噴射出的噴射材料以及由于噴射材料碰撞基板S而產(chǎn)生的基板S的切削粉等微粒)。其結(jié)果是，該粉塵向基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12外漏出。上述基板松弛插入部12e的間隔由間隔件12d的厚度決定，因此能夠根據(jù)基板S的厚度適當(dāng)?shù)剡x擇該間隔件12d的厚度。在本實(shí)施方式中，以基板S的表面以及背面與上述基板松弛插入部12e的端面之間的間隔為1.0~5.0mm的方式選擇隔離件。
[0042]噴嘴N被固定為下端的噴射口插入上述上部殼體12a的內(nèi)部。另外，吸引部件12c與用于吸引并回收基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的內(nèi)部產(chǎn)生的粉塵的集塵機(jī)構(gòu)(未圖示)連結(jié)。經(jīng)由吸引部件12c通過(guò)上述集塵機(jī)構(gòu)吸引并回收粉塵。通過(guò)上述集塵機(jī)構(gòu)的吸引力從上述基板松弛插入部12e吸引外部空氣，因此在該基板松弛插入部12e附近產(chǎn)生從外部向內(nèi)部流動(dòng)的氣流。由此，粉塵不會(huì)從該基板松弛插入部12e向基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的外部漏出。
[0043]噴嘴N的噴射口的形狀不特別進(jìn)行限定，形成為矩形并配置為長(zhǎng)邊與基板S的加工邊正交，由此能夠擴(kuò)大加工區(qū)域M的寬度。在基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的內(nèi)部，產(chǎn)生向吸引部件12c的方向流動(dòng)的氣流，因此，通過(guò)使從噴嘴N噴射噴射材料的噴射方向以趨向基板周緣部側(cè)的方式傾斜，由此能夠通過(guò)吸引部件12c高效地吸引粉塵。該角度形成為噴嘴N的中心線相對(duì)于基板S呈30?70度即可。在將噴嘴N配置為傾斜的情況下，設(shè)置能夠?qū)娮霳固定為傾斜的部件即可。例如圖2所示，也可以使用具有規(guī)定的角度斜面的三棱柱形狀的噴嘴固定部件12f、五邊形等多邊形固定部件等。
[0044]噴嘴N的構(gòu)造不特別進(jìn)行限定，形成為利用噴嘴N的內(nèi)部產(chǎn)生的負(fù)壓吸引噴射材料并且在內(nèi)部與壓縮空氣混合，并作為氣固兩相流通過(guò)噴射口噴射的構(gòu)造即可。作為具體例，如圖3所示，噴嘴N具備:用于向噴嘴N導(dǎo)入壓縮空氣的空氣噴嘴Na、用于噴射噴射材料形成氣固兩相流的噴射噴嘴Nb、將上述空氣噴嘴Na從上端插入并嵌合且上述噴射噴嘴Nb與下端連結(jié)的噴嘴支架Ne。空氣噴嘴Na形成為兩端開(kāi)口的中空形狀，內(nèi)徑趨向壓縮空氣流動(dòng)的方向(該圖下方)而變小。噴射噴嘴Nb設(shè)有從上端趨向下端形狀相同的流道剖面。在噴嘴支架Ne的內(nèi)部也可以構(gòu)成為設(shè)有混合室Ne以及與該混合室Ne連通的噴射材料供給路徑(供給孔)Nd。
[0045]噴射材料供給路徑Nd經(jīng)由軟管H與配置于噴嘴N的上方的噴射材料供給機(jī)構(gòu)18連結(jié)。噴射材料供給機(jī)構(gòu)18具備:存積噴射材料的料斗18a、和從該料斗連續(xù)取出(切出)規(guī)定量的噴射材料的定量供給機(jī)構(gòu)18b。如果能夠僅通過(guò)料斗18a穩(wěn)定地取出規(guī)定量的噴射材料，那么也可以不設(shè)有定量供給機(jī)構(gòu)18b。定量供給機(jī)構(gòu)18b也可以選擇平板給料器、螺旋送料器等公知的方法。在本實(shí)施方式中，使用螺旋送料器。
[0046]上述空氣噴嘴Na的上端經(jīng)由軟管(未圖示)與壓縮空氣供給機(jī)構(gòu)(未圖示)連結(jié)。若使該壓縮空氣供給機(jī)構(gòu)動(dòng)作而向噴嘴N的內(nèi)部的空間即混合室Ne噴射壓縮空氣，則在混合室Ne產(chǎn)生負(fù)壓。從配置于噴嘴N的上方的上述噴射材料供給機(jī)構(gòu)18取出的噴射材料，由于上述負(fù)壓而通過(guò)噴射材料供給路徑Nd被吸引至混合室Ne。所吸引的噴射材料在該混合室Ne與壓縮空氣混合，并作為氣固兩相流通過(guò)噴射噴嘴Nb噴射。
[0047]噴射噴嘴Nb的下端即噴射口的形狀可以為圓形也可以為矩形。在本實(shí)施方式中，使噴射口的形狀形成為長(zhǎng)方形，并配置為長(zhǎng)邊位于與加工邊正交的方向。由此，能夠以寬的寬度進(jìn)行加工。
[0048]在將噴射材料存積于加壓容器并通過(guò)對(duì)該加壓容器加壓來(lái)將噴射材料供給至噴嘴的機(jī)構(gòu)的噴丸加工裝置(所謂的加壓式)中，能夠連續(xù)進(jìn)行噴丸加工的時(shí)間由加壓容器的容量限制。與此相對(duì)，使用了本實(shí)施方式的噴嘴N的噴丸加工裝置不需要前述的加壓容器，而能夠在大氣壓下存積噴射材料來(lái)將其供給至噴嘴N。噴射出的噴射材料能夠如后所述地通過(guò)分離機(jī)構(gòu)分離而再次使用(噴射)。即，能夠循環(huán)噴射噴射材料，因此能夠連續(xù)進(jìn)行噴丸加工。另外，能夠通過(guò)上述噴射材料供給機(jī)構(gòu)18穩(wěn)定且連續(xù)地供給規(guī)定量的噴射材料，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行噴丸加工。并且，在本實(shí)施方式中，能夠?qū)娮霳配置于比現(xiàn)有的噴丸加工裝置低的位置，因此比現(xiàn)有的噴丸加工裝置加工能力強(qiáng)。從空氣噴嘴Na被供給至噴嘴N的內(nèi)部的壓縮空氣的壓力被分解為來(lái)自噴射噴嘴Nb的噴射力與噴射材料的吸引力的產(chǎn)生力。若將噴射材料供給機(jī)構(gòu)18配置于噴嘴N的上方，并且延長(zhǎng)該噴射材料供給機(jī)構(gòu)18與噴嘴N之間的距離，則噴射材料的吸引力變小。其結(jié)果是，來(lái)自噴射噴嘴Nb的噴射力增大，因此加工能力提高。
[0049]以能夠良好地除去不必要的薄膜層并且不損傷除此以外的部分的薄膜層的方式選擇噴射材料以及噴射壓力。噴射材料只要是通常用于噴丸加工的材料即可，不特別進(jìn)行限定。例如，能夠從陶瓷類(lèi)的磨粒或砂粒(氧化鋁類(lèi)、碳化硅類(lèi)、氧化鋯類(lèi)等)；金屬類(lèi)的丸粒、鋼絲切制丸粒或砂粒(鐵類(lèi)、不銹鋼類(lèi)、非鐵類(lèi)等)；玻璃類(lèi)的彈珠或粉末、樹(shù)脂類(lèi)的丸粒(尼龍樹(shù)脂、三聚氰胺樹(shù)脂、尿素樹(shù)脂等)；以及植物類(lèi)的丸粒(核桃、桃、杏等)中選擇出。另夕卜，關(guān)于噴射材料的粒子徑，只要能夠無(wú)脈動(dòng)等且穩(wěn)定地通過(guò)噴嘴N噴射即可，例如能夠從0.01?0.6mm的范圍選擇，優(yōu)選能夠從0.02?0.06mm的范圍選擇。噴射壓力能夠從0.2?
0.8MPa的范圍選擇，優(yōu)選能夠從0.3?0.6MPa的范圍選擇。
[0050]以使基板S的對(duì)置的兩邊(圖1的(A)中的上下的邊)松弛插入的方式配置有兩臺(tái)該基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12。具體而言,基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的基板松弛插入部12e配置為彼此相對(duì)?；逯芫壊考庸C(jī)構(gòu)12與用于配合基板S的尺寸來(lái)調(diào)整基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12彼此之間的間隔的間隔調(diào)整機(jī)構(gòu)(未圖示)連結(jié)，并能夠通過(guò)該間隔調(diào)整機(jī)構(gòu)使基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12沿圖1的(A)中的上下方向移動(dòng)。
[0051]進(jìn)一步使用圖4對(duì)與基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12連結(jié)的清潔機(jī)構(gòu)13進(jìn)行說(shuō)明。在圖4中，基板S的行進(jìn)方向?yàn)樽笥曳较?。清潔機(jī)構(gòu)13具備:下端開(kāi)口的箱體即殼體13a、配置于頂面的中央部的清潔噴嘴13b、以及兩端開(kāi)口的圓筒形狀的吸引部件13c。清潔噴嘴13b與上述壓縮空氣供給機(jī)構(gòu)連結(jié)，下端(前端)即噴射口插入并固定于上述殼體13a的內(nèi)部。上述吸引部件13c以其一端處于上述清潔噴嘴13b的左右(即基板S的行進(jìn)方向)的方式與上述殼體13a的頂面連結(jié)，另一端經(jīng)由軟管與集塵機(jī)構(gòu)連結(jié)。由此，上述殼體13a的內(nèi)側(cè)空間與集塵機(jī)構(gòu)連通。
[0052]清潔機(jī)構(gòu)13配置為，當(dāng)基板S在下方通過(guò)時(shí)在殼體13a的下端與該基板S之間形成有適度的間隙。當(dāng)附著有粉塵的基板S在清潔機(jī)構(gòu)13的下方通過(guò)時(shí)，通過(guò)清潔噴嘴13b向該基板S吹出壓縮空氣而使粉塵從基板S的表面脫離并升起，并且通過(guò)由吸引部件13c吸引該粉塵，由此來(lái)除去基板S表面的粉塵。在殼體13a的下端部附近，通過(guò)設(shè)于殼體13a與基板S之間的間隙吸引外部空氣，從而產(chǎn)生從該殼體13a的外側(cè)向內(nèi)側(cè)流動(dòng)的氣流。因此，粉塵不會(huì)向清潔機(jī)構(gòu)13的外部漏出。但是，若殼體13a的下端與基板S之間的間隙過(guò)小，則基板S與殼體13a的下端接觸，從而有基板S損傷的危險(xiǎn)。若間隔過(guò)大，則吸引外部空氣的風(fēng)速變小，因此無(wú)法充分吸引飛散于清潔機(jī)構(gòu)13的內(nèi)部的粉塵。其結(jié)果是，該粉塵向上述清潔機(jī)構(gòu)13的外部漏出。因此，需要將上述間隙設(shè)定為基板S不與殼體13a接觸且不損失吸引力的范圍。在本實(shí)施方式中，將基板S的表面與上述殼體13a的下端之間的間隔(間隙)設(shè)定為0.5?4.5_。
[0053]為了高效地除去附著于基板S的表面的粉塵，也可以與壓縮空氣一起從清潔噴嘴13b噴射減弱附著力的物質(zhì)(少許水分、靜電除去劑、離子或自由基等)?；蛘?，也可以通過(guò)清潔噴嘴13b吹出高速脈沖空氣(超聲波送風(fēng))。在本實(shí)施方式中使用超聲波送風(fēng)。
[0054]清潔噴嘴13b的噴射口的形狀不特別進(jìn)行限定，可以適當(dāng)?shù)剡x擇圓形、矩形等。
[0055]基板輸送機(jī)構(gòu)14具備:多個(gè)彼此等間隔且平行地排列配置的輸送輥14a、和支承該輸送輥14a的架臺(tái)14b。輸送輥14a具備:用于輸送基板S的輥部件14c、和成為該輥部件14c的旋轉(zhuǎn)軸的軸14d。除配置于最外部的輥之外，輥部件14c沿軸14d的長(zhǎng)邊方向以規(guī)定的間隔設(shè)置。另外，除配置于最外部的輥之外，輥部件14c配置為鄰接的輸送輥14a的輥部件14c相對(duì)于輸送方向(在圖1的(A)中為下方向)形成為交錯(cuò)狀。通過(guò)將輥部件14c配置為交錯(cuò)狀，輸送基板S時(shí)的推進(jìn)性能提高。
[0056]各輸送輥14a的軸14d經(jīng)由軸承14e而被架臺(tái)14b支承為能夠旋轉(zhuǎn)。并且，上述軸14d與馬達(dá)等旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示)連結(jié)。能夠通過(guò)使上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)來(lái)驅(qū)動(dòng)輸送輥14a旋轉(zhuǎn)(在圖1的(A)中，上面向下方向旋轉(zhuǎn))，而能夠由輥部件14c向基板S傳遞輸送力來(lái)進(jìn)行輸送。
[0057]輥部件14c中的與基板S抵接并向該基板S傳遞輸送力的抵接部件，優(yōu)選使用閉孔構(gòu)造的聚氨酯樹(shù)脂，并進(jìn)一步優(yōu)選將該聚氨酯樹(shù)脂的硬度形成為JIS-A中50?60 (在JIS K6253中規(guī)定)左右的硬度。例如在基板S為玻璃、樹(shù)脂等易損傷的材質(zhì)的情況下，假設(shè)粉塵進(jìn)入基板S與輸送輥14c之間，則在輸送基板S時(shí)會(huì)由于上述粉塵而損傷基板S。如前所述，若使抵接部件為閉孔構(gòu)造的聚氨酯樹(shù)脂，則即使粉塵進(jìn)入基板S與輸送輥14c之間，也能夠防止將粉塵過(guò)度按壓于基板S的情況，因此能夠防止損傷基板S。
[0058]架臺(tái)14b與升降機(jī)構(gòu)15連結(jié)，能夠通過(guò)該升降機(jī)構(gòu)15使輸送輥14a升降(在圖1的(A)中為相對(duì)于紙面為鉛垂方向，在圖1的(B)中為上下方向)。升降機(jī)構(gòu)能夠選擇由油壓、氣壓、電驅(qū)動(dòng)的缸體；具備滾珠絲杠、帶等的電動(dòng)滑塊；齒條齒輪等公知的方法。在本實(shí)施方式中，使用通過(guò)氣壓驅(qū)動(dòng)的缸體(氣缸)。
[0059]定位機(jī)構(gòu)16具備:相對(duì)于輸送的基板S配置于輸送方向側(cè)(在圖1的(A)中為下方)的第一固定部件16a、相對(duì)于輸送的基板S配置于與輸送方向側(cè)的邊鄰接的一側(cè)的邊側(cè)(在圖1的(A)中為左方)的第二固定部件16b、以及相對(duì)于輸送的基板S配置于另一方的邊(在圖1的(A)中為右方向)的調(diào)整部件16c。第一固定部件16a固定于設(shè)定基板S的下邊的位置的位置，第二固定部件16b固定于設(shè)定基板S的左邊的位置的位置。調(diào)整部件16c與前進(jìn)機(jī)構(gòu)164連結(jié)，從而能夠通過(guò)該前進(jìn)機(jī)構(gòu)16d向該圖左方向前進(jìn)。從基板送入口 Ila松弛插入并與輸送輥14a的上表面接觸的基板S，被基板輸送機(jī)構(gòu)14向圖1的(A)中的下方輸送。若基板S被輸送至規(guī)定的位置,則基板S的下邊碰撞第一固定部件16a,由此無(wú)法前進(jìn)。接下來(lái)，調(diào)整部件16c向左方前進(jìn)并與基板S的右邊接觸。推壓該調(diào)整部件16c使之前進(jìn)，由此基板S向左方移動(dòng)，從而基板S的左邊與第二固定部件16b接觸。通過(guò)以上的工序，對(duì)基板S被定位成:使該基板S位于在初始停止位置停止的后述的載置臺(tái)17a的上方、且該基板S的中心點(diǎn)位于該載置臺(tái)17a的轉(zhuǎn)動(dòng)的軸的鉛垂方向延長(zhǎng)線上。第一固定部件16a、第二固定部件16b、調(diào)整部件16c與基板S接觸，因此優(yōu)選為軟質(zhì)材料，但是若硬度過(guò)低則定位精度變差，因此需要形成為不損傷基板S的程度的硬度。在本實(shí)施方式中，使用聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)樹(shù)脂。另外，前進(jìn)機(jī)構(gòu)16d也可以選擇由油壓、氣壓、電氣驅(qū)動(dòng)的缸體；具備滾珠絲杠、帶等的電動(dòng)滑塊；齒條齒輪等公知的方法。在本實(shí)施方式中使用氣缸。
[0060]基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17具備:載置并且固定基板S的載置臺(tái)17a、使該載置臺(tái)17a向左右方向移動(dòng)的行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b、以及使該載置臺(tái)17a轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)17c。載置臺(tái)17a能夠載置基板S，且當(dāng)行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b移動(dòng)時(shí)基板S在載置臺(tái)17a上不能夠移動(dòng)即可，因此能夠選擇配置機(jī)械式固定的構(gòu)造、摩擦系數(shù)高的片材等公知的方法。在本實(shí)施方式中，形成為以下構(gòu)造，即:在平板上配置多個(gè)與真空泵等吸引機(jī)構(gòu)(未圖示)連接的吸附墊，在該吸附墊上載置基板S后啟動(dòng)該吸引機(jī)構(gòu)，由此通過(guò)吸引力使基板S緊貼于該吸附墊上。另外，載置臺(tái)17a在通過(guò)基板輸送機(jī)構(gòu)14輸送基板S時(shí)配置于輸送棍14a的下方。如后所述,為了使載置臺(tái)17a載置基板S，而使輸送輥14a下降。因此，載置臺(tái)17a構(gòu)成為在輸送輥14a下降時(shí)不與之接觸。
[0061]為了加工基板S，行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b能夠使載置有基板S的載置臺(tái)17a沿左右方向移動(dòng)。在基板S移動(dòng)時(shí)，必須使基板S以不與基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的基板松弛插入部12e的端部以及清潔機(jī)構(gòu)13的下端接觸的方式移動(dòng)。另外，若不使基板S以恒定速度移動(dòng)，則會(huì)成為產(chǎn)生加工不均的原因。行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b只要能夠使基板S不在圖1的(B)中的上下方向振動(dòng)且能夠使基板S在通過(guò)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12時(shí)以恒定的速度在左右方向移動(dòng)，則其構(gòu)造不特別進(jìn)行限定。例如，能夠選擇具備滾珠絲杠、帶等的電動(dòng)滑塊；齒條齒輪；以及自行式臺(tái)車(chē)等公知的方法。在本實(shí)施方式中，使用具備帶的電動(dòng)滑塊。另外，在從初始停止位置開(kāi)始移動(dòng)時(shí)以及停止時(shí)對(duì)基板S施加不必要的沖擊的情況下，優(yōu)選使用變換器等能夠調(diào)整移動(dòng)速度的裝置，控制開(kāi)始時(shí)以及停止時(shí)的速度。
[0062]轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)17c以圖1的(A)中的載置臺(tái)17a的上表面的中心為軸使載置臺(tái)17a轉(zhuǎn)動(dòng)90度。另外，在載置臺(tái)17a載置有基板S，因此若在使載置臺(tái)17a轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)對(duì)基板S施加大的振動(dòng)、離心力，則有基板S的位置與載置臺(tái)17a錯(cuò)開(kāi)的危險(xiǎn)。這樣，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)17c只要能夠轉(zhuǎn)動(dòng)而不對(duì)基板S施加強(qiáng)振動(dòng)、沖擊力即可，對(duì)構(gòu)造不特別進(jìn)行限定。例如，能夠選擇馬達(dá)、缸體等公知的方法。另外，在轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)始時(shí)以及停止時(shí)對(duì)基板S施加不必要的沖擊的情況下，優(yōu)選使用能夠調(diào)整旋轉(zhuǎn)速度的裝置，控制開(kāi)始時(shí)以及停止時(shí)的速度。在該情況下，例如，能夠選擇直接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、伺服馬達(dá)、能夠調(diào)整伸縮速度的缸體(例如伺服缸體)等公知的方法。在本實(shí)施方式中，使用直接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
[0063]接下來(lái)，進(jìn)一步使用圖5?圖7對(duì)通過(guò)本實(shí)施方式的噴丸加工裝置除去基板S的周緣部的薄膜層的工序進(jìn)行說(shuō)明。圖4?圖6分別表示從主視方向觀察的剖視圖。此處，以加工長(zhǎng)方形的薄膜太陽(yáng)能電池板用基板的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0064](準(zhǔn)備工序)
[0065]對(duì)上述控制機(jī)構(gòu)輸入用于良好地加工基板S的條件(基板S的尺寸、基板S的移動(dòng)速度、噴射壓力、掃描次數(shù)、加工寬度等)。在輸入后，開(kāi)啟(ON)加工開(kāi)始按鈕，以輸入的條件開(kāi)始加工，且自動(dòng)完成加工。此處，控制機(jī)構(gòu)只要能夠輸入并控制噴丸加工裝置10的動(dòng)作即可，例如可以使用可編程邏輯控制器(PLC)、數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)等運(yùn)動(dòng)控制器、高功能移動(dòng)終端、聞功能移動(dòng)電話等。
[0066](工序1:送入工序)
[0067]在基板輸送機(jī)構(gòu)14動(dòng)作后,從基板送入口 Ila將基板S松弛插入。此處，以從長(zhǎng)邊方向松弛插入的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。從基板送入口 Ila松弛插入的基板S由于基板輸送機(jī)構(gòu)14而前進(jìn)。然后,碰撞第一固定部件16a,從而輸送方向端的定位完成。之后,調(diào)整部件16c前進(jìn)，使基板S向左方移動(dòng)。之后，基板S的左邊碰撞第二固定部件16b，從而左右方向的定位完成。若基板S的定位結(jié)束，則上述基板輸送機(jī)構(gòu)14停止。此外，第一固定部件16a配置為該第一固定部件16a彼此的間隔形成為該基板的短邊的長(zhǎng)度以上，以使第一固定部件16a在加工結(jié)束后不與基板S碰撞。(參照?qǐng)D5的(A))[0068](工序2:載置工序)
[0069]升降機(jī)構(gòu)15動(dòng)作，從而基板輸送機(jī)構(gòu)14下降?；逡苿?dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17的載置臺(tái)17a停止于基板S的下方(初始停止位置)。若基板輸送機(jī)構(gòu)14處于比載置臺(tái)17a靠下方的位置，則基板S從基板輸送機(jī)構(gòu)14轉(zhuǎn)移放置于載置臺(tái)17a。若基板S轉(zhuǎn)移放置于載置臺(tái)17a，則吸引機(jī)構(gòu)動(dòng)作，從而基板S被固定于該載置臺(tái)17a上。這樣，基板S以彼此對(duì)置的長(zhǎng)邊即第一加工邊位于上下方向且基板S的平面中心與載置臺(tái)17a轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的軸心一致的方式被載置并固定于載置臺(tái)17a上。(參照?qǐng)D5的(B))
[0070](工序3:第一加工邊的加工工序)
[0071]上述間隔調(diào)整機(jī)構(gòu)動(dòng)作，從而一對(duì)基板周緣部加工單元U(基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12以及在該基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的左右鄰接的清潔機(jī)構(gòu)13)，配合第一加工邊彼此的間隔在圖1的(A)中的上下方向移動(dòng)。由此，調(diào)整基板周緣部加工單元U彼此的間隔。接下來(lái)，集塵機(jī)構(gòu)動(dòng)作，對(duì)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12內(nèi)以及清潔機(jī)構(gòu)13內(nèi)進(jìn)行吸引。此外，壓縮空氣供給機(jī)構(gòu)以及噴射材料供給機(jī)構(gòu)18動(dòng)作，通過(guò)噴嘴N噴射噴射材料，并通過(guò)清潔噴嘴13b噴射壓縮空氣。之后，行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b動(dòng)作，從而載置臺(tái)17a向右方移動(dòng)。然后基板S的第一加工邊松弛插入并通過(guò)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的基板松弛插入部12e。松弛插入基板松弛插入部12e的第一加工邊通過(guò)噴嘴N的下方，從而上述第一加工邊的薄膜層被除去。存在粉塵未被吸凈而殘留于經(jīng)過(guò)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12后的基板S的表面的情況。該粉塵經(jīng)過(guò)在基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的右方鄰接的清潔機(jī)構(gòu)13的下方從而被除去。另外，這樣，相比現(xiàn)有的噴丸加工裝置能夠降低基板S的重心并移動(dòng)基板S，因此上下方向的振動(dòng)較小，從而能夠穩(wěn)定地移動(dòng)。(參照?qǐng)D6的(A))
[0072](工序4:轉(zhuǎn)動(dòng)工序)
[0073]若第一加工邊的全長(zhǎng)經(jīng)過(guò)上述基板周緣部加工單元U，并且基板S前進(jìn)至右方的規(guī)定的位置(往路停止位置)，則行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b的動(dòng)作停止。在停止后，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)17c動(dòng)作來(lái)使基板S轉(zhuǎn)動(dòng)90度，以使與第一加工邊鄰接的第二加工邊(彼此對(duì)置的短邊)位于上下方向。另外，上述間隔調(diào)整機(jī)構(gòu)動(dòng)作，從而上述一個(gè)基板周緣部加工單元U在圖1的(A)中的上下方向移動(dòng)。由此，調(diào)整基板周緣部加工單元U彼此的間隔。(參照?qǐng)D6的(B))
[0074](工序5:第二加工邊的加工工序)
[0075]行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b動(dòng)作，從而基板S以及載置臺(tái)17a向左方向移動(dòng)。然后，上述第二加工邊松弛插入并經(jīng)過(guò)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的基板松弛插入部12e。松弛插入基板松弛插入部12e的第二加工邊經(jīng)過(guò)噴嘴N的下方，由此上述第二加工邊的薄膜層被除去。存在粉塵未吸凈而殘留于經(jīng)過(guò)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12后的基板S的表面的情況。該粉塵經(jīng)過(guò)在基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的左方鄰接的清潔機(jī)構(gòu)13的下方從而被除去。然后，若第二加工邊的全長(zhǎng)經(jīng)過(guò)上述基板周緣部加工單元U，并且載置臺(tái)17a前進(jìn)至左方的規(guī)定的位置(初始停止位置)，則行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b的動(dòng)作停止。(參照?qǐng)D7的(A))
[0076](工序6:送出工序)
[0077]在行進(jìn)機(jī)構(gòu)17b的動(dòng)作停止后，上述噴射材料供給機(jī)構(gòu)18以及上述壓縮空氣供給機(jī)構(gòu)的動(dòng)作停止，從而噴射材料以及壓縮空氣的噴射停止。之后，上述集塵機(jī)構(gòu)的動(dòng)作停止。另外，上述吸引機(jī)構(gòu)的動(dòng)作停止，從而解除基板S的固定。接下來(lái)，升降機(jī)構(gòu)15動(dòng)作，從而基板輸送機(jī)構(gòu)14上升,進(jìn)而基板S被轉(zhuǎn)移放置于輸送棍14a上。若基板輸送機(jī)構(gòu)14上升至規(guī)定的位置，則上述升降機(jī)構(gòu)15的動(dòng)作停止。之后，由于上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作而使基板輸送機(jī)構(gòu)14動(dòng)作，從而基板S前進(jìn)。然后，通過(guò)基板送出口 Ilc將基板S送出。這樣，能夠利用同一基板輸送機(jī)構(gòu)14進(jìn)行基板S的送入以及送出，因此相比現(xiàn)有的噴丸加工裝置相比，能夠廉價(jià)地制造噴丸加工裝置。(參照?qǐng)D7的(B))
[0078]反復(fù)重復(fù)工序I?工序5，從而能夠連續(xù)加工多塊基板S。在連續(xù)加工多塊基板S的情況下，在工序5中也可以不使噴射材料供給機(jī)構(gòu)18、壓縮空氣供給機(jī)構(gòu)、集塵機(jī)構(gòu)的動(dòng)
作停止。
[0079]在基板S的薄膜層較硬的情況下等，通過(guò)一次加工無(wú)法完全除去不必要的薄膜層，在該情況下，也可以反復(fù)重復(fù)工序3?工序5而增加掃描次數(shù)。在增加掃描次數(shù)的情況下，也可以在再次進(jìn)行工序3之前使轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)17c動(dòng)作來(lái)使基板S轉(zhuǎn)動(dòng)90度。
[0080]被集塵機(jī)構(gòu)吸引并回收的噴射材料，被送至旋風(fēng)分離器等分離機(jī)構(gòu)(未圖示)，從而被分離為可再利用的噴射材料和除此以外的粉末，可再利用的噴射材料被送至噴射材料供給機(jī)構(gòu)18，并再次通過(guò)噴嘴N噴射。
[0081]本實(shí)施方式的噴丸加工裝置10具備一對(duì)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12，但是也可以根據(jù)所希望的加工時(shí)間增減基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的臺(tái)數(shù)。例如，在配置有一臺(tái)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12 (例如僅配置于圖1的(A)中的上方)的情況下，能夠通過(guò)使掃描次數(shù)(工序3?工序5的實(shí)施次數(shù))為兩次以上來(lái)完成加工。在該結(jié)構(gòu)中，基板的加工時(shí)間變長(zhǎng)，但是能夠降低噴丸加工裝置的制造費(fèi)用。另外，若相對(duì)于一個(gè)邊而增加基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12的臺(tái)數(shù)，則加工能力提高，因此能夠加快基板S的移動(dòng)速度。其結(jié)果是，能夠縮短基板S的加工時(shí)間，因此生產(chǎn)率提高。
[0082]在本實(shí)施方式中，在I臺(tái)基板周緣部加工機(jī)構(gòu)12配置有I臺(tái)噴嘴N，但是也可以配置多臺(tái)噴嘴。通過(guò)增加噴嘴的個(gè)數(shù)來(lái)提高加工能力，從而能夠縮短加工時(shí)間。
[0083](實(shí)施例)
[0084]將使用第一實(shí)施方式的噴丸加工裝置除去基板S的周緣部的不必要的薄膜層的結(jié)果作為實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。在實(shí)施例中，對(duì)于1100_x 1400_X厚度3mm的薄膜太陽(yáng)能電池板，使用第一實(shí)施方式的噴丸加工裝置以表I的條件除去周緣部的不必要的薄膜層。實(shí)施例中使用的薄膜太陽(yáng)能電池板是在透光性基材(在本實(shí)施例中為玻璃基材)的平面上層疊有為了形成薄膜太陽(yáng)能電池板(以下記為面板)而必要的薄膜層(透明電極層、光半導(dǎo)體層、金屬層等)的太陽(yáng)能電池板。另外，以使用專利文獻(xiàn)I所述的噴丸加工裝置(現(xiàn)有的噴丸加工裝置)進(jìn)行同樣的加工的例子為比較例1，以將面板的移動(dòng)速度設(shè)為200mm/sec且其他的條件與比較例I相同地加工面板的例子為比較例2進(jìn)行說(shuō)明。并且將目標(biāo)加工寬度(除去薄膜層的從周緣端起算的寬度)設(shè)為16mm。
[0085]表1:
[0086]
【權(quán)利要求】
1.一種噴丸加工裝置，其用于對(duì)在表面上形成有薄膜層的基板除去基板周緣部的薄膜層，其特征在于，具備: 基板周緣部加工機(jī)構(gòu)，該基板周緣部加工機(jī)構(gòu)具備形成有供所述基板周緣部松弛插入的基板松弛插入部的基板周緣部加工室、配置為前端插入于所述基板周緣部加工室的內(nèi)部并對(duì)松弛插入于所述基板松弛插入部的所述基板周緣部噴射噴射材料的噴嘴、與所述噴嘴連通并配置于該噴嘴的上方的噴射材料供給機(jī)構(gòu)、以及與所述基板周緣部加工室連通的集塵機(jī)構(gòu)； 基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具備載置所述基板并使該基板相對(duì)于所述噴嘴相對(duì)水平移動(dòng)且使所述基板旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)， 基板輸送機(jī)構(gòu)，該基板輸送機(jī)構(gòu)將所述基板輸送至所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的初始停止位置的上方，以及 升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)用于使所述基板輸送機(jī)構(gòu)下降來(lái)將所述基板轉(zhuǎn)移放置于基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述噴嘴是通過(guò)在該噴嘴內(nèi)部產(chǎn)生的吸引力吸引噴射材料的構(gòu)造的噴嘴。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述噴嘴具有下述構(gòu)造，即:具備噴射壓縮空氣的空氣噴嘴、設(shè)有供給噴射材料的噴射材料供給路徑且在內(nèi)部設(shè)有與所述供給路徑連通的混合室的噴嘴支架、以及與所述混合室連通并設(shè)于所述空氣噴嘴的延長(zhǎng)方向的噴射噴嘴，并且，該噴嘴通過(guò)在所述混合室內(nèi)產(chǎn)生的吸引力吸引噴射材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任一項(xiàng)所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述噴射材料供給機(jī)構(gòu)還具備用于將預(yù)先設(shè)定的量的噴射材料連續(xù)供給至所述噴嘴的定量供給機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中的任一項(xiàng)所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述噴丸加工裝置還具備與所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)鄰接的清潔機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述清潔機(jī)構(gòu)具備配置為與所述基板的表面對(duì)置且下端開(kāi)口的殼體、配置為前端插入于所述殼體的內(nèi)部并向所述基板噴射壓縮空氣的清潔噴嘴、以及設(shè)于所述殼體并與集塵機(jī)構(gòu)連通的吸引部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中的任一項(xiàng)所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述噴丸加工裝置還具備從外側(cè)將所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)、所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、以及所述基板輸送機(jī)構(gòu)包裝的筐體， 所述基板輸送機(jī)構(gòu)還具備:將所述基板送入所述筐體內(nèi)的功能、和將除去所述基板周緣部的薄膜層后的基板向所述筐體的外部送出的功能。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中的任一項(xiàng)所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述噴丸加工裝置具備用于使被輸送至所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的基板在規(guī)定的位置停止的定位機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中的任一項(xiàng)所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 所述噴丸加工裝置具備一對(duì)所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)，所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)配置為使各自的所述基板松弛插入部彼此相對(duì)且隔開(kāi)規(guī)定的間隔。
10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中的任一項(xiàng)所述的噴射加工裝置，其特征在于， 所述噴丸加工裝置還配置有基板中間部加工機(jī)構(gòu)，該基板中間部加工機(jī)構(gòu)具備配置為與所述基板的表面對(duì)置且下端開(kāi)口的飛散防止罩、配置為前端插入于所述飛散防止罩的內(nèi)部并對(duì)除所述基板周緣部以外的部分噴射噴射材料的噴嘴、以及設(shè)于所述飛散防止罩并與所述集塵機(jī)構(gòu)連結(jié)的吸引部件。
11.根據(jù)權(quán)利要求1~10中的任一項(xiàng)所述的噴丸加工裝置，其特征在于， 由所述噴丸加工裝置加工的基板是在透光性基材的平面上層積用于形成薄膜太陽(yáng)能電池板的薄膜層的薄膜太陽(yáng)能電池板。
12.—種噴丸加工方法，其用于通過(guò)權(quán)利要求1~11中的任一項(xiàng)所述的噴丸加工裝置除去所述基板周緣部的薄膜層，其特征在于，包括: 通過(guò)所述基板輸送機(jī)構(gòu)將所述基板輸送至所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的工序， 用于使被輸送至所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的基板在規(guī)定的位置停止的定位工序，使所述基板輸送機(jī)構(gòu)下降來(lái)將所述基板轉(zhuǎn)移放置于所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并且將該基板固定于基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn) 機(jī)構(gòu)的工序， 使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)來(lái)將所述基板周緣部的至少一邊松弛插入于所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的基板松弛插入部的工序，以及 一邊使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)所述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去松弛插入于所述基板松弛插入部的所述基板周緣部的薄膜層并且通過(guò)所述集塵機(jī)構(gòu)吸引該噴射材料的工序。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的噴丸加工方法，其特征在于，還包括: 在除去所述基板周緣部的至少一邊的薄膜層后通過(guò)所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使該基板旋轉(zhuǎn)90度的工序， 使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)移動(dòng)而使所述基板的與除去了薄膜層的周緣部的邊鄰接的至少一邊松弛插入于所述基板松弛插入部的工序，以及 一邊使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)所述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去松弛插入于該基板松弛插入部的周緣部的薄膜層，并且通過(guò)所述集塵機(jī)構(gòu)吸引該噴射材料的工序。
14.一種噴丸加工方法，其用于通過(guò)權(quán)利要求10所述的噴丸加工裝置除去所述基板周緣部的薄膜層，其特征在于，包括: 將所述基板輸送至所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的工序， 用于使被所述基板輸送機(jī)構(gòu)輸送至基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上方的基板在規(guī)定的位置停止的定位工序， 使所述基板輸送機(jī)構(gòu)下降來(lái)將所述基板轉(zhuǎn)移放置于所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并且將該基板固定于基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的工序， 使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)來(lái)將所述基板的成為對(duì)置的周緣部的第一加工邊分別松弛插入于所述基板松弛插入部的工序， 一邊使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)所述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去所述第一加工邊的薄膜層，并且通過(guò)所述集塵機(jī)構(gòu)吸引所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的內(nèi)部產(chǎn)生的粉塵的工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴丸加工方法，其特征在于，還包括: 通過(guò)所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使除去了所述第一加工邊的薄膜層的基板旋轉(zhuǎn)90度的工序， 使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)來(lái)將與第一加工邊鄰接的第二加工邊分別松弛插入于所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的基板松弛插入部的工序， 一邊使所述基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步水平移動(dòng)一邊通過(guò)所述噴嘴噴射噴射材料來(lái)除去所述第二加工邊的薄膜層，并且通過(guò)所述集塵機(jī)構(gòu)吸引所述基板周緣部加工機(jī)構(gòu)的內(nèi)部產(chǎn)生的粉塵的工序。`
【文檔編號(hào)】B24C3/12GK103770013SQ201310388995
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月19日
【發(fā)明者】前田和良, 澀谷紀(jì)仁 申請(qǐng)人:新東工業(yè)株式會(huì)社