技術(shù)編號(hào)：3291618
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供。噴丸加工裝置具備基板周緣部加工機(jī)構(gòu)，其具備形成有供基板周緣部松弛插入的基板松弛插入部的基板周緣部加工室、配置為前端插入于基板周緣部加工室的內(nèi)部并對(duì)松弛插入于基板松弛插入部的基板周緣部噴射噴射材料的噴嘴、與噴嘴連通并配置于該噴嘴的上方的噴射材料供給機(jī)構(gòu)、以及與基板周緣部加工室連通的集塵機(jī)構(gòu)；基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其具備載置基板并使該基板相對(duì)于噴嘴相對(duì)水平移動(dòng)且使基板旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)；基板輸送機(jī)構(gòu)，其將基板輸送至基板移動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的初始停止位置的上方；升降機(jī)構(gòu)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。