專利名稱：一種用于amoled的移動(dòng)蒸鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于AMOLED (有源矩陣發(fā)光顯示器)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有AMOLED制備過(guò)程中采用的FMM(Fine Metal Mask)蒸鍍技術(shù)利用位置固定的點(diǎn)蒸發(fā)源(Point source)對(duì)位于其上方的位置固定的基板進(jìn)行蒸鍍,但是,現(xiàn)有FMM (FineMetal Mask)蒸鍍技術(shù)在應(yīng)用于大型化AMOLED生產(chǎn)后,蒸鍍膜厚度的一致性(uniformity)明顯降低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案:包括與基板相對(duì)的可以在與基板平行的平面內(nèi)移動(dòng)的蒸發(fā)源。所述蒸發(fā)源設(shè)置于基板的下方。所述基板可移動(dòng)。所述蒸發(fā)源包括若干個(gè)呈線型排列的點(diǎn)蒸發(fā)源。所述蒸發(fā)源設(shè)置于與基板平行的軌道上。所述蒸發(fā)源為單個(gè)或者多個(gè)。本實(shí)用新型所述移動(dòng)蒸鍍裝置采用可以移動(dòng)的蒸發(fā)源對(duì)基板進(jìn)行蒸鍍，提高了蒸鍍膜厚度的一致性、均一性，提高了大型化AMOLED的質(zhì)量，降低了生產(chǎn)成本。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中:基板1，蒸發(fā)源2，軌道運(yùn)動(dòng)方向一 X，軌道運(yùn)動(dòng)方向二 Y。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。參見圖1，本實(shí)用新型包括與基板I相對(duì)的可以在與基板I平行的平面內(nèi)移動(dòng)的蒸發(fā)源2，所述蒸發(fā)源2為單個(gè)或者多個(gè)，所述蒸發(fā)源2設(shè)置于基板I的下方，所述基板I可移動(dòng)，所述蒸發(fā)源2設(shè)置于與基板I平行的軌道上，所述蒸發(fā)源2包括若干個(gè)呈線型排列的點(diǎn)蒸發(fā)源。實(shí)施例—種移動(dòng)蒸鍍系統(tǒng),包括采用向上式蒸鍍方式的線型蒸發(fā)源(LinearSource),根據(jù)蒸鍍效率要求線型蒸發(fā)源的數(shù)量可以采用多源(Multi Source)或者單源(SingleSource)，掩模板(Mask)采用多面分割方式制作，以防彎曲，確保品質(zhì)，掩模板和基板的距離為200-300mm，距離可變更，以注入式投入蒸鍍材料，線型蒸發(fā)源沿軌道移動(dòng)對(duì)基板進(jìn)行蒸鍍，線型蒸發(fā)源與軌道可分離，蒸鍍中掩模板同時(shí)隨基板一起移動(dòng)，基板采用線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)。該蒸鍍系統(tǒng)使得大面積面板玻璃的蒸鍍膜厚管理變得更容易，通過(guò)使用多個(gè)線型蒸發(fā)源，可以提高機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)率10%，提高生產(chǎn)效率50%，蒸鍍材料的使用效率比現(xiàn)有方式將會(huì)增加50%以上，可進(jìn)行大面積1300x1500mm的蒸鍍，比較容易進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。
權(quán)利要求1.一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置，其特征在于:包括與基板(I)相對(duì)的可以在與基板(I)平行的平面內(nèi)移動(dòng)的蒸發(fā)源(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置，其特征在于:所述蒸發(fā)源(2)設(shè)置于基板(I)的下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置，其特征在于:所述基板(I)可移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置，其特征在于:所述蒸發(fā)源(2)包括若干個(gè)呈線型排列的點(diǎn)蒸發(fā)源。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置，其特征在于:所述蒸發(fā)源(2)設(shè)置于與基板(I)平行的軌道上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置，其特征在于:所述蒸發(fā)源(2)為單個(gè)或者多個(gè)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置包括與基板相對(duì)的可以在與基板平行的平面內(nèi)移動(dòng)的蒸發(fā)源。本實(shí)用新型所述移動(dòng)蒸鍍裝置采用可以移動(dòng)的蒸發(fā)源對(duì)基板進(jìn)行蒸鍍，提高了蒸鍍膜厚度的一致性、均一性，提高了大型化AMOLED的質(zhì)量，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C23C14/24GK203034084SQ201220656550
公開日2013年7月3日 申請(qǐng)日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
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