技術(shù)編號(hào):3277122
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于AMOLED (有源矩陣發(fā)光顯示器),具體涉及一種用于AMOLED的移動(dòng)蒸鍍裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有AMOLED制備過程中采用的FMM(Fine Metal Mask)蒸鍍技術(shù)利用位置固定的點(diǎn)蒸發(fā)源(Point source)對位于其上方的位置固定的基板進(jìn)行蒸鍍,但是,現(xiàn)有FMM (FineMetal Mask)蒸鍍技術(shù)在應(yīng)用于大型化AMOLED生產(chǎn)后,蒸鍍膜厚度的一致性(uniformity)明顯降低。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于AM...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。