專利名稱：板式pecvd下料位快速散熱及除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及板式PECVD。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，板式PECVD存在如下兩個(gè)問題一是硅片上表面容易附著氮化硅粉塵，造成印刷粗點(diǎn)或斷刪。ニ是硅片自然散熱較慢，影響產(chǎn)品轉(zhuǎn)換效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題就是提供一種板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，避免硅片上表面附著氮化硅粉塵，同時(shí)加快硅片散熱。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案板式PECVD下料位快速散 熱及除塵裝置，其特征在于在下料位的緩沖臺(tái)上安裝有風(fēng)扇向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵。作為優(yōu)選，所述風(fēng)扇設(shè)有兩組，兩組風(fēng)扇設(shè)置的高度均為20CM。作為優(yōu)選，所述每組風(fēng)扇的數(shù)量及位置與下料位下料硅片一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。作為優(yōu)選，所述兩組風(fēng)扇的吹風(fēng)ロ與緩沖臺(tái)平面呈30的角度面對(duì)面設(shè)置。作為優(yōu)選，所述風(fēng)扇由變頻器控制，風(fēng)扇電源為24V電源，下料位處安裝熱電偶和溫控器，風(fēng)扇電源連接保護(hù)斷路器，保護(hù)斷路器一路出線連接溫控器到熱電偶，保護(hù)斷路器另一路出線連接變頻器。本實(shí)用新型在下料位的緩沖臺(tái)上安裝有風(fēng)扇向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵，其中每組風(fēng)扇的個(gè)數(shù)及水平方向與石墨框承載的硅片一一對(duì)應(yīng)，以實(shí)現(xiàn)均勻充分散熱及全面清除粉塵；而與緩沖臺(tái)平面呈30左右的角度，則能夠完全清除粉塵；與緩沖臺(tái)平面的高度選擇參照風(fēng)扇的風(fēng)カ最大程度的散熱及除塵，且不會(huì)造成碎片；下料位處安裝熱電偶和溫控器，及時(shí)監(jiān)控溫度并自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，保持溫度穩(wěn)定；選擇耐高溫材質(zhì)的風(fēng)扇減少風(fēng)扇損壞；安裝時(shí)加裝斷路器的保護(hù)裝置可以避免故障時(shí)損壞設(shè)備。
以下結(jié)合附圖
和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步描述圖I為本實(shí)用新型主視圖；圖2為本實(shí)用新型俯視圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖I和圖2具體說明本實(shí)用新型板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置的實(shí)施例，在下料位的緩沖臺(tái)I上安裝有風(fēng)扇2向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵。所述風(fēng)扇設(shè)有兩組，兩組風(fēng)扇設(shè)置的高度均為20CM。所述每組風(fēng)扇的數(shù)量及位置與下料位下料硅片一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。所述兩組風(fēng)扇的吹風(fēng)ロ與緩沖臺(tái)平面呈30的角度面對(duì)面設(shè)置。所述風(fēng)扇由變頻器控制，風(fēng)扇電源為24V電源，下料位處安裝熱電偶和溫控器，風(fēng)扇電源連接保護(hù)斷路器，保護(hù)斷路器一路出線連接溫控器到熱電偶，保護(hù)斷路器另一路出線連接變頻器。從設(shè)備220V電源上接出24V的電源，連接到保護(hù)斷路器，一路連接溫控器到熱電偶，另一路連接變頻器到風(fēng)扇。原理通過熱電偶監(jiān)控下料位的溫 度，通過溫控器和變頻器及時(shí)控制風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，調(diào)節(jié)風(fēng)速達(dá)到保持溫度恒定。
權(quán)利要求1.板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于在下料位的緩沖臺(tái)(I)上安裝有風(fēng)扇(2)向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于所述風(fēng)扇設(shè)有兩組，兩組風(fēng)扇設(shè)置的高度均為20CM。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于所述每組風(fēng)扇的數(shù)量及位置與下料位下料硅片一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于所述兩組風(fēng)扇的吹風(fēng)ロ與緩沖臺(tái)平面呈30的角度面對(duì)面設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于所述風(fēng)扇由變頻器控制，風(fēng)扇電源為24V電源，下料位處安裝熱電偶和溫控器，風(fēng)扇電源連接保護(hù)斷路器，保護(hù)斷路器一路出線連接溫控器到熱電偶，保護(hù)斷路器另一路出線連接變頻器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，在下料位的緩沖臺(tái)上安裝有風(fēng)扇向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵。本實(shí)用新型在下料位的緩沖臺(tái)上安裝有風(fēng)扇向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵，其中每組風(fēng)扇的個(gè)數(shù)及水平方向與石墨框承載的硅片一一對(duì)應(yīng)，以實(shí)現(xiàn)均勻充分散熱及全面清除粉塵；而與緩沖臺(tái)平面呈30左右的角度，則能夠完全清除粉塵。
文檔編號(hào)C23C16/34GK202558932SQ20122025244
公開日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2012年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月28日
發(fā)明者馬祖兵, 朱鈺, 張志強(qiáng), 應(yīng)凱 申請(qǐng)人:浙江光普太陽能科技有限公司