專利名稱：一種石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于PECVD石墨舟自動(dòng)裝卸片的升降傳遞裝置。
背景技術(shù)：
在晶體硅太陽能電池生產(chǎn)過程中，都需在硅片表面制備一層減反射膜，現(xiàn)在常用的工藝是用PECVD在硅片表面生長(zhǎng)一層氮化硅膜。PECVD工序完成后需要從石墨舟中取出硅片，隨后裝入絲印片盒中進(jìn)行絲印工藝；石墨舟中所有硅片取出后，需要重新插入完成前道清洗工序的無反射膜硅片，這就是石墨舟人工裝卸片。因石墨舟重、裝片夾縫窄，所以人工裝卸片勞動(dòng)強(qiáng)度大，人工成本高，同時(shí)碎片率較高，生產(chǎn)效率提不上。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不同，提供了一種石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置，實(shí)現(xiàn)石墨舟自動(dòng)裝卸片，提高了太陽能電池生產(chǎn)線自動(dòng)化程度和生產(chǎn)效率。本發(fā)明的技術(shù)方案為，一種石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置，包括豎直放置的框架和用于暫存硅片的中轉(zhuǎn)片盒，所述框架正面安裝可帶動(dòng)片盒上下滑動(dòng)的片盒升降機(jī)構(gòu)，所述框架的一側(cè)設(shè)有可帶動(dòng)中轉(zhuǎn)片盒上下滑動(dòng)的硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，并在硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)有可在片盒升降機(jī)構(gòu)和硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中水平傳遞片盒的硅片傳遞機(jī)構(gòu)；所述片盒升降機(jī)構(gòu)、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和硅片傳遞機(jī)構(gòu)構(gòu)成第一組升降傳遞裝置，并在框架的背面安裝與第一組升降傳遞裝置對(duì)稱的第二組升降傳遞裝置；所述各組升降傳遞裝置中的片盒升降機(jī)構(gòu)、娃片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和娃片傳遞機(jī)構(gòu)的娃片中心位一致。所述片盒升降機(jī)構(gòu)包括由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)、檢測(cè)片盒位置的A光電開關(guān)、支撐底板、升降氣缸和用于固定片盒的定位氣缸，所述A光電開關(guān)安裝在片盒的下?lián)蹩蛏?，支撐底板位于片盒底部并在升降氣缸的作用下推?dòng)片盒升降，升降氣缸和定位氣缸分別置于片盒的底部和頂部。所述硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的上下來回傳動(dòng)的傳送帶、中轉(zhuǎn)片盒和檢測(cè)硅片到位的B光電開關(guān)，所述傳送帶與中轉(zhuǎn)片盒通過齒形板直接相連，在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下中轉(zhuǎn)片盒上下來回移動(dòng)，B光電開關(guān)安裝在中轉(zhuǎn)片盒上板或下板邊緣。所述硅片傳遞機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)滑臺(tái)、支架和若干個(gè)吸盤，所述電動(dòng)滑臺(tái)通過支架固定，電動(dòng)滑臺(tái)上的取片板可在片盒升降機(jī)構(gòu)的片盒與硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的中轉(zhuǎn)片盒之間水平快速來回滑動(dòng)，所述吸盤成三角布局安裝于取片板靠近片盒的一側(cè)，用于硅片抓取。石墨舟自動(dòng)裝卸片需要完成的工序是既要將石墨舟中鍍好減反射膜的硅片取出最終放入絲印用空片盒中，又要將卸完片的空石墨舟裝滿，因此整套升降傳遞機(jī)構(gòu)中片盒升降機(jī)構(gòu)、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、硅片傳遞機(jī)構(gòu)各兩套，分別安裝于框架正反兩側(cè)面。片盒升降機(jī)構(gòu)和硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并立安裝，兩者垂直升降時(shí)方向相反；硅片傳遞機(jī)構(gòu)固定于框架底板上，在片盒升降機(jī)構(gòu)和硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)之間來回穿梭，水平傳送硅片；升降動(dòng)作由各自電機(jī)驅(qū)動(dòng)完成，滑臺(tái)則負(fù)責(zé)硅片水平傳送。安裝固定后三者的硅片中心位置一致。為對(duì)應(yīng)石墨舟的自動(dòng)裝卸片，升降傳遞機(jī)構(gòu)中片盒升降機(jī)構(gòu)、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和硅片傳遞機(jī)構(gòu)都是兩套，分別位于框架正反兩側(cè)面，安裝位置、固定方式一樣。下面介紹所述用于石墨舟自動(dòng)裝卸片的升降傳遞機(jī)構(gòu)的具體工藝流程。清洗工序完成后傳送過來的片盒由片盒升降機(jī)構(gòu)中輸送機(jī)接力輸送，光電開關(guān)檢測(cè)到位后，升降氣缸將片盒頂起，定位氣缸上下同時(shí)動(dòng)作將片盒固定，做好片盒卸片準(zhǔn)備。卸片時(shí)片盒升降機(jī)構(gòu)按片盒間距逐步下降，并立的硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)則按中轉(zhuǎn)片盒的間距逐步上升，與此同時(shí)硅片傳遞機(jī)構(gòu)在兩者之間水平來回傳送，從片盒中逐一取片放入中轉(zhuǎn)片盒暫存，完成片盒卸片。石墨舟自動(dòng)裝卸片設(shè)備的機(jī)械手則只需從中轉(zhuǎn)片盒中取片進(jìn)行石墨舟裝片。以上是升降傳遞機(jī)構(gòu)的片盒卸片，框架背面片盒裝片時(shí)各部件動(dòng)作一樣，先后順序相反，即機(jī)械手從石墨舟中取片放入中轉(zhuǎn)片盒，隨后硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)下降，片盒升降機(jī)構(gòu)上 升，硅片傳遞機(jī)構(gòu)則水平來回傳送完成片盒裝片。兩邊動(dòng)作可同時(shí)進(jìn)行，提高設(shè)備生產(chǎn)效率。由以上可知，使用本發(fā)明的整套升降傳遞裝置可快速、準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)硅片從片盒卸出和裝入片盒，PECVD工序后石墨舟無需人工裝卸片，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度與人工成本，提高了太陽能電池生產(chǎn)線自動(dòng)化程度和生產(chǎn)效率。


圖I為發(fā)明所述石墨舟自動(dòng)裝卸片的升降傳遞裝置結(jié)構(gòu)示意圖2為片盒升降機(jī)構(gòu)所用片盒結(jié)構(gòu)圖3為硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中轉(zhuǎn)片盒結(jié)構(gòu) 在上述附圖中各序號(hào)分別表示
I-框架，2-片盒升降機(jī)構(gòu)，3-輸送機(jī)， 4-升降氣缸，
5-片盒， 6-定位氣缸， 7-娃片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，
8-硅片傳遞機(jī)構(gòu)， 9-滑臺(tái)， 10-中轉(zhuǎn)片盒，11-硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)電
機(jī)，12-片盒升降機(jī)構(gòu)電機(jī)。
具體實(shí)施例方式如圖I-圖3所示，一種石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置，包括豎直放置的框架I和用于暫存硅片的中轉(zhuǎn)片盒10，所述框架I正面安裝可帶動(dòng)片盒5上下滑動(dòng)的片盒升降機(jī)構(gòu)2，所述框架I的一側(cè)設(shè)有可帶動(dòng)中轉(zhuǎn)片盒10上下滑動(dòng)的硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7，并在硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7的一側(cè)設(shè)有可在片盒升降機(jī)構(gòu)2和娃片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7中水平傳遞片盒的娃片傳遞機(jī)構(gòu)8 ;所述片盒升降機(jī)構(gòu)2、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7和硅片傳遞機(jī)構(gòu)8構(gòu)成第一組升降傳遞裝置，并在框架I的背面安裝與第一組升降傳遞裝置對(duì)稱的第二組升降傳遞裝置；所述各組升降傳遞裝置中的片盒升降機(jī)構(gòu)2、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7和硅片傳遞機(jī)構(gòu)8的硅片中心位一致。片盒升降機(jī)構(gòu)包括由電機(jī)12驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)3、檢測(cè)片盒5位置的A光電開關(guān)、支撐底板、升降氣缸4和用于固定片盒5的定位氣缸6，所述A光電開關(guān)安裝在片盒5的下?lián)蹩蛏希蔚装逦挥谄?底部并在升降氣缸4的作用下推動(dòng)片盒5升降，升降氣缸4和定位氣缸6分別置于片盒5的底部和頂部。
所述硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括由電機(jī)11驅(qū)動(dòng)的上下來回傳動(dòng)的傳送帶、中轉(zhuǎn)片盒10和檢測(cè)硅片到位的B光電開關(guān)，所述傳送帶與中轉(zhuǎn)片盒10通過齒形板直接相連，在電機(jī)11的驅(qū)動(dòng)下中轉(zhuǎn)片盒10上下來回移動(dòng)，B光電開關(guān)安裝在中轉(zhuǎn)片盒10上板或下板邊緣。所述硅片傳遞機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)滑臺(tái)9、支架和若干個(gè)吸盤，所述電動(dòng)滑臺(tái)9通過支架固定，電 動(dòng)滑臺(tái)9上的取片板可在片盒升降機(jī)構(gòu)2的片盒5與硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7的中轉(zhuǎn)片盒10之間水平快速來回滑動(dòng)，所述吸盤成三角布局安裝于取片板靠近片盒的一側(cè)，用于硅片抓取。
權(quán)利要求
1.一種石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置，包括豎直放置的框架(I)和用于暫存硅片的中轉(zhuǎn)片盒(10)，其特征是，所述框架(I)正面安裝可帶動(dòng)片盒(5)上下滑動(dòng)的片盒升降機(jī)構(gòu)(2)，所述框架(I)的一側(cè)設(shè)有可帶動(dòng)中轉(zhuǎn)片盒(10)上下滑動(dòng)的硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)，并在硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)的一側(cè)設(shè)有可在片盒升降機(jī)構(gòu)(2)和硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)中水平傳遞片盒的硅片傳遞機(jī)構(gòu)(8);所述片盒升降機(jī)構(gòu)(2)、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)和硅片傳遞機(jī)構(gòu)(8)構(gòu)成第一組升降傳遞裝置，并在框架(I)的背面安裝與第一組升降傳遞裝置對(duì)稱的第二組升降傳遞裝置；所述各組升降傳遞裝置中的片盒升降機(jī)構(gòu)(2)、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7)和硅片傳遞機(jī)構(gòu)(8)的硅片中心位一致。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置，其特征是，所述片盒升降機(jī)構(gòu)包括由電機(jī)(12)驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)(3)、檢測(cè)片盒(5)位置的A光電開關(guān)、支撐底板、升降氣缸(4)和用于固定片盒(5)的定位氣缸(6)，所述A光電開關(guān)安裝在片盒(5)的下?lián)蹩蛏?，支撐底板位于片?5)底部并在升降氣缸(4)的作用下推動(dòng)片盒(5)升降，升降氣缸(4)和定位氣缸(6)分別置于片盒(5)的底部和頂部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置，其特征是，所述硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括由電機(jī)(11)驅(qū)動(dòng)的上下來回傳動(dòng)的傳送帶、中轉(zhuǎn)片盒(10)和檢測(cè)硅片到位的B光電開關(guān)，所述傳送帶與中轉(zhuǎn)片盒(10)通過齒形板直接相連，在電機(jī)(11)的驅(qū)動(dòng)下中轉(zhuǎn)片盒(10)上下來回移動(dòng)，B光電開關(guān)安裝在中轉(zhuǎn)片盒(10)上板或下板邊緣。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述石墨舟自動(dòng)裝卸片升降傳遞裝置，其特征是，所述硅片傳遞機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)滑臺(tái)(9)、支架和若干個(gè)吸盤，所述電動(dòng)滑臺(tái)(9)通過支架固定，電動(dòng)滑臺(tái)(9)上的取片板可在片盒升降機(jī)構(gòu)(2 )的片盒(5 )與硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(7 )的中轉(zhuǎn)片盒(10 )之間水平來回滑動(dòng)，所述吸盤成三角布局安裝于取片板靠近片盒的一側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于PECVD石墨舟自動(dòng)裝卸片的升降傳遞裝置，包括豎直放置的框架和用于暫存硅片的中轉(zhuǎn)片盒，所述框架正面安裝可帶動(dòng)片盒上下滑動(dòng)的片盒升降機(jī)構(gòu)，所述框架的一側(cè)設(shè)有可帶動(dòng)中轉(zhuǎn)片盒上下滑動(dòng)的硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，并在硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)有可在片盒升降機(jī)構(gòu)和硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中水平傳遞片盒的硅片傳遞機(jī)構(gòu)；所述片盒升降機(jī)構(gòu)、硅片中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和硅片傳遞機(jī)構(gòu)構(gòu)成第一組升降傳遞裝置，并在框架的背面安裝與第一組升降傳遞裝置對(duì)稱的第二組升降傳遞裝置。使用本發(fā)明的整套升降傳遞裝置可快速、準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)硅片從片盒卸出和裝入片盒，PECVD工序后石墨舟無需人工裝卸片，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度與人工成本，提高了太陽能電池生產(chǎn)線自動(dòng)化程度和生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C23C16/44GK102653859SQ20121014321
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月10日
發(fā)明者呂文利, 王慧勇, 魏唯 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所