技術(shù)編號(hào)：3257628
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于PECVD石墨舟自動(dòng)裝卸片的升降傳遞裝置。背景技術(shù)在晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中，都需在硅片表面制備一層減反射膜，現(xiàn)在常用的工藝是用PECVD在硅片表面生長(zhǎng)一層氮化硅膜。PECVD工序完成后需要從石墨舟中取出硅片，隨后裝入絲印片盒中進(jìn)行絲印工藝；石墨舟中所有硅片取出后，需要重新插入完成前道清洗工序的無(wú)反射膜硅片，這就是石墨舟人工裝卸片。因石墨舟重、裝片夾縫窄，所以人工裝卸片勞動(dòng)強(qiáng)度大，人工成本高，同時(shí)碎片率較高，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。