如本圖所示，此隔板47、48的下方的端部朝向內(nèi)側(cè)，即朝向中央部稍微彎折。因此，隔板47、48與底面板41之間的細(xì)長(zhǎng)的狹縫面向工具32。進(jìn)而，底面板41的中央的開(kāi)口的端部具有以朝向工具保持器31及保持在其前端的工具32而下表面變尖銳的方式被傾斜地切割的端部41a、41b。此夕卜，隔板47、48的下端也具有朝向工具保持器31而前端被切割成尖銳的端部47a、48a。如果不將端部預(yù)先切割成尖銳，那么粉塵可能會(huì)堆積在端部，通過(guò)將各端部預(yù)先形成為尖銳，可使空氣的流入及流出順利，并且可不使粉塵吸附在端部便順利地流入至集塵罩40。
[0041]在槽加工頭30，工具保持器使刀尖朝下并以固定間隔并列配置有多個(gè)，在安裝集塵罩40時(shí)，是以這些多個(gè)工具在由隔斷部46所形成的框狀的空間內(nèi)與隔板47?50稍微隔開(kāi)間隔的方式而安裝集塵罩40。
[0042]此外，在此集塵罩40的長(zhǎng)邊的內(nèi)側(cè)，大致三角柱狀的整流塊51、52設(shè)置在頭的下表面。關(guān)于此整流塊51、52，形成整流塊的直角的兩面安裝在集塵罩40的內(nèi)壁上部與底面板33的下表面，且斜面部面向集塵罩40的內(nèi)側(cè)。整流塊51、52在抽吸空氣時(shí)使粉塵不會(huì)堆積在集塵罩40的內(nèi)側(cè)的角落而將空氣的流動(dòng)整流以引導(dǎo)至管道34。
[0043]另外，在使用此槽加工頭進(jìn)行槽加工的情況下，如圖1所示將薄膜太陽(yáng)電池基板W配置在平臺(tái)11上。接著，使槽加工頭30向X軸方向的一端移動(dòng)，并控制槽加工頭的各自的頭單元的工具在z軸方向的位置。接著，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)21，而使槽加工頭30沿X軸移動(dòng)。于在槽加工頭安裝有圓柱形的工具的情況下，通過(guò)不使槽加工頭傾斜而使基板與槽加工頭相對(duì)移動(dòng)以進(jìn)行刻劃。因此，如果如圖9(a)所示使槽加工頭向圖中右側(cè)相對(duì)移動(dòng)，那么基板表面的薄膜沿箭頭A1方向剝離。此時(shí)，如果驅(qū)動(dòng)集塵機(jī)35的鼓風(fēng)機(jī)，那么集塵罩40內(nèi)的空氣經(jīng)由管道34被抽吸。由于工具32的附近的空氣為負(fù)壓，故而集塵罩40的下表面與基板W之間的空氣沿箭頭B、C方向移動(dòng)，并通過(guò)端部41a與47a及41b與48a的狹窄的間隙而被抽吸至集塵罩40內(nèi)。所產(chǎn)生的粉塵與空氣一起被吸入至集塵管道40內(nèi)，從而可在粉塵吸附在基板之前直接經(jīng)由管道34將粉塵排出至外部。由于在集塵罩40的內(nèi)部設(shè)置有整流塊51、52，故而集塵罩40的內(nèi)部的空氣如箭頭D、E般移動(dòng)，從而可不使粉塵吸附在集塵罩40的角落而確實(shí)地排出至外部。
[0044]此時(shí)，隨著集塵機(jī)的抽吸而在端部41a、47a的狹窄的間隙產(chǎn)生負(fù)壓，不僅是自底面板41的開(kāi)口部抽吸空氣，也自隔斷部46的內(nèi)部抽吸空氣，從而在隔板47、48與工具保持器31之間空氣如箭頭G、Η所示向下流動(dòng)，而產(chǎn)生朝向工具的前端的空氣流。因此，粉塵變得難以吸附在工具保持器31，從而可消除因粉塵對(duì)工具保持器的吸附所導(dǎo)致的不良影響。此時(shí)，由于容易自隔斷部46的內(nèi)部抽吸空氣，故而作為隔板47、48的下端的端部47a、48a較理想為位于比端部41a、41b更靠上方。
[0045]此處，如上述般在底面板33的上部，管道34自作為加工方向的x軸方向觀察，是沿斜上方的方向而被安裝在底面板33的開(kāi)口部及底面板41的開(kāi)口部的外側(cè)。如此通過(guò)將自X軸方向觀察的管道34的位置與隔斷部46的開(kāi)口部錯(cuò)開(kāi)，即便在吸附在管道34的內(nèi)部的粉塵脫落的情況下，通過(guò)伴隨加工的動(dòng)作的X軸方向的加減速或氣流的變化而粉塵也難以自底面板41的開(kāi)口部向下方掉落。此外，由于管道34被傾斜地安裝，故而即便吸附在管道34的內(nèi)部的粉塵脫落也會(huì)暫時(shí)接觸于管道的傾斜部分，因此可抑制掉落至集塵罩40的情況。進(jìn)而，由于管道34與底面板41的開(kāi)口部由與底面板41連接的隔板49及50隔開(kāi)，故而自管道34脫落至底面板41的粉塵由隔板49及50阻擋，從而可抑制自底面板41的開(kāi)口部掉落的情況。因此，可防止自管道34脫落的粉塵自開(kāi)口部掉落而吸附在基板的情況。
[0046]此外，如果使槽加工頭向反方向相對(duì)移動(dòng)，那么如圖9(b)所示，粉塵向箭頭A2所示之方向剝離。在此情況下，粉塵也與箭頭B?E的空氣流一起通過(guò)端部41b、48a的狹窄的間隙而被吸入至集塵罩40，進(jìn)而經(jīng)由管道43被排出至外部。如此不論向哪一方向進(jìn)行刻劃，均可使粉塵不吸附在基板而將其排出。
[0047]如上述般對(duì)薄膜太陽(yáng)電基板W進(jìn)行刻劃而同時(shí)形成多條槽，當(dāng)在X軸方向上形成好槽時(shí)使各頭塊稍微上升，并使平臺(tái)11向y軸方向錯(cuò)開(kāi)后再次降下各頭塊而反復(fù)進(jìn)行槽加工。只要這樣，便能夠以狹窄的間隔執(zhí)行圖案化P1、P2、P3。
[0048]接著，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此實(shí)施方式的槽加工頭使用作為工具的角柱形的工具36及保持該工具的工具保持器37。在使用角形工具的情況下，使槽加工頭相對(duì)于基板稍微傾斜而使用。因此，如圖10所示將集塵罩60的底面板61形成為淺V字形。在此情況下，底面板61的開(kāi)口端部也設(shè)為被切割成尖銳的端部61a、61b。其他構(gòu)成與上述第一實(shí)施方式的槽加工頭相同。此V字形的傾斜角度設(shè)定為與刻劃時(shí)的槽加工頭的傾斜度對(duì)應(yīng)。
[0049]如果這樣，那么在如圖11 (a)、圖11 (b)所示使槽加工頭30傾斜而進(jìn)行槽加工時(shí)，集塵罩60的一底面成為與基板的面平行。如此，如果基板與集塵罩60的底面成為平行，那么與所述第一實(shí)施方式同樣地會(huì)如箭頭A1?Η或A2?Η所示產(chǎn)生空氣的流動(dòng)，且在向任一方向進(jìn)行刻劃的情況下均可高效率地將在進(jìn)行槽加工時(shí)所產(chǎn)生的粉塵確實(shí)地吸入集塵罩60的內(nèi)部。
[0050][產(chǎn)業(yè)上之可利用性]
[0051]此槽加工頭通過(guò)將集塵罩安裝在槽加工頭的下部而可去除在進(jìn)行槽加工時(shí)所產(chǎn)生的粉塵，因此可優(yōu)選使用于各種加工裝置，例如太陽(yáng)電池用的槽加工裝置。
[0052][符號(hào)的說(shuō)明]
[0053]10 槽加工裝置
[0054]11 平臺(tái)
[0055]12 攝像機(jī)
[0056]13基座
[0057]14支持臺(tái)
[0058]15導(dǎo)軌
[0059]16監(jiān)控器
[0060]17橋接器
[0061]18a、18b支柱
[0062]19導(dǎo)桿
[0063]20導(dǎo)軌
[0064]21馬達(dá)
[0065]30槽加工頭
[0066]31工具保持器
[0067]32工具
[0068]33底面板
[0069]34管道
[0070]35集塵機(jī)
[0071]40、60集塵罩
[0072]41、61底面板
[0073]42?45壁面板
[0074]46隔斷部
[0075]47 ?50隔板
[0076]41a、41b、47a、48a端部
[0077]51、52整流塊
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)，具備： 槽加工頭； 集塵罩，設(shè)置在所述槽加工頭的下部；以及 集塵機(jī)，自所述集塵罩經(jīng)由管道抽吸空氣；且 所述槽加工頭具有保持使刀尖位于下方的工具的工具保持器， 所述集塵罩是上表面開(kāi)放的殼體，且具有：開(kāi)口，使所述槽加工頭的工具突出；以及框狀的隔斷部，以與所述工具保持器之間隔開(kāi)固定間隔的方式自所述開(kāi)口部朝向上方設(shè)置；且以所述工具的前端自所述開(kāi)口向下方突出的方式安裝。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)，其中所述集塵罩將以設(shè)置在所述頭的吸氣口為中心的底面設(shè)為V字形。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)，所述集塵罩的開(kāi)口部及隔斷部的吸氣口的端面的前端被切割成尖銳。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)，其中所述集塵罩在殼體的內(nèi)側(cè)的角部還具有三角柱狀的整流塊。5.一種槽加工裝置，具備： 平臺(tái)，供載置基板； 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)，安裝有具有用以進(jìn)行槽加工的工具的工具保持器；以及 移動(dòng)器件，用以使所述平臺(tái)與所述槽加工頭在水平面內(nèi)相對(duì)移動(dòng)；且該槽加工裝置使所述槽加工頭在基板的上表面平行地移動(dòng)而在基板上形成槽。
【專利摘要】本案發(fā)明涉及一種槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)及槽加工裝置。本發(fā)明的課題在于不使用槽加工頭進(jìn)行槽加工時(shí)所產(chǎn)生的粉塵吸附在基板上便可進(jìn)行抽吸。在槽加工頭的底面板(33)的工具(32)突出的附近設(shè)置具有吸氣口的集塵罩(40)。在使用槽加工頭(30)對(duì)基板(W)進(jìn)行槽加工時(shí)，利用鼓風(fēng)機(jī)(35)并經(jīng)由管道(34)抽吸集塵罩(40)的空氣。如果這樣，那么可將因槽加工而產(chǎn)生的粉塵在吸附在基板(W)之前吸入至集塵罩(40)的吸氣口。
【IPC分類】B23Q11/00
【公開(kāi)號(hào)】CN105269389
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510151662
【發(fā)明人】片桐直樹(shù)
【申請(qǐng)人】三星鉆石工業(yè)股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月27日
【申請(qǐng)日】2015年4月1日
【公告號(hào)】US20150348808