槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)及槽加工裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用以集塵在薄膜太陽電池等的制造過程時(shí)等對(duì)薄膜進(jìn)行槽加工時(shí)所產(chǎn)生的粉塵的槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)及槽加工裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成型的薄膜太陽電池的制造步驟中，例如，如專利文獻(xiàn)1所記載般，具有在基板上積層半導(dǎo)體薄膜并反復(fù)進(jìn)行多次圖案化的步驟。在該制造步驟中，在脆性材料基板上形成金屬制的下部電極層，且作為圖案化P1而利用激光束將電極層分割并劃分成短條狀。在其上形成P型光吸收層及緩沖層而制成積層型的半導(dǎo)體薄膜。其后，作為圖案化P2，通過沿著自圖案化P1的槽稍微偏移的線將緩沖層與P型光吸收層的一部分機(jī)械刻劃而分割并劃分成短條狀。接下來，在緩沖層上形成包含金屬氧化物的透明導(dǎo)電膜。接著，作為圖案化P3，通過沿著自圖案化P2的槽稍微偏移的線將透明導(dǎo)電膜，緩沖層及P型光吸收層的一部分機(jī)械刻劃而劃分成短條狀。如此可制造薄膜的太陽電池。因此，需要使圖案化P2，P3的線分別相對(duì)于圖案化P1的線稍微偏移，且需要相對(duì)于1片基板而以例如5mm左右的間距形成百數(shù)十條平行的槽。
[0003]在專利文獻(xiàn)2，3中揭示有太陽電池用的刻劃裝置。在專利文獻(xiàn)2中設(shè)置有在刻劃頭的基底上保持加工工具的工具保持器、使工具保持器上下移動(dòng)的氣缸、及用以消除工具保持器的自重的彈簧等，并通過氣缸一面調(diào)整負(fù)載一面將工具按壓至工件。此外，在專利文獻(xiàn)3中揭示有通過將多個(gè)頭安裝在橫梁上的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)而同時(shí)地進(jìn)行多個(gè)刻劃的刻劃裝置。
[0004]此外，在專利文獻(xiàn)4中提出有為了排除工作機(jī)的切肩而在工作用頭上設(shè)置了具有風(fēng)扇的集塵機(jī)的集塵裝置。
[0005][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)]
[0007][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2005-191167號(hào)公報(bào)
[0008][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2011-155151號(hào)公報(bào)
[0009][專利文獻(xiàn)3]日本專利特開2010-245255號(hào)公報(bào)
[0010][專利文獻(xiàn)4]日本專利特開平9-285939號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011][發(fā)明要解決的問題]
[0012]如專利文獻(xiàn)1?3所示，在利用刻劃器刻劃圖案化的線的情況下會(huì)產(chǎn)生粉塵。此時(shí)如果粉塵一旦吸附在薄膜太陽基板，那么會(huì)存在變得難以去除或者即便在去除了的情況下有時(shí)也會(huì)損傷基板表面的問題點(diǎn)。此外，專利文獻(xiàn)4的集塵裝置在旋轉(zhuǎn)工具的周圍設(shè)置了抽吸粉塵的抽吸頭，但由于使風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)，故而存在構(gòu)造變得復(fù)雜的問題點(diǎn)。
[0013]本發(fā)明的目的在于提供一種可將因刻劃而產(chǎn)生的粉塵在吸附在基板的表面之前有效地去除的槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)及使用了該集塵機(jī)構(gòu)的槽加工裝置。
[0014][解決問題的技術(shù)手段]
[0015]為了解決此問題，本發(fā)明的槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)具備:槽加工頭；集塵罩，設(shè)置在所述槽加工頭的下部；以及集塵機(jī)，自所述集塵罩經(jīng)由管道抽吸空氣；所述槽加工頭具有保持使刀尖位于下方的工具的工具保持器，所述集塵罩是上表面開放的殼體，且具有:開口，使所述槽加工頭的工具突出；以及框狀的隔斷部，以與所述工具保持器之間隔開固定間隔的方式自所述開口部向上方設(shè)置；且以所述工具的前端自所述開口向下方突出的方式而安裝。
[0016]此處，所述集塵罩也可將以設(shè)置在所述頭的吸氣口為中心的底面設(shè)為V字形。
[0017]此處，所述集塵罩的開口部及隔斷部也可設(shè)為吸氣口的端面的前端被切割成尖銳者。
[0018]此處，所述集塵罩也可在殼體的內(nèi)側(cè)的角部還具有三角柱狀的整流塊。
[0019]為了解決此問題，本發(fā)明的槽加工裝置具備:平臺(tái)，供載置基板；所述槽加工頭的集塵機(jī)構(gòu)，安裝有具有用以進(jìn)行槽加工的工具的工具保持器；以及移動(dòng)器件，用以使所述平臺(tái)與所述槽加工頭在水平面內(nèi)相對(duì)移動(dòng)；且該槽加工裝置使所述槽加工頭在基板的上表面平行地移動(dòng)而在基板上形成槽。
[0020][發(fā)明的效果]
[0021]根據(jù)具有此種特征的本發(fā)明，在槽加工頭的下部安裝集塵罩，并自工具的附近將在刻劃時(shí)所產(chǎn)生的粉塵抽吸至集塵罩。因此，可在粉塵吸附在薄膜太陽電池基板等之前將其抽吸并去除，從而獲得不損傷基板的表面便可進(jìn)行槽加工的效果。此外，由于將與工具保持器之間隔開了固定間隔的框狀的隔斷部設(shè)置在底面板，故而獲得如下效果:在利用管道進(jìn)行抽吸的情況下產(chǎn)生自工具保持器的側(cè)方朝向工具的前端的空氣流，而粉塵不會(huì)混入至工具保持器。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的槽加工裝置的立體圖。
[0023]圖2是表示本實(shí)施方式的槽加工頭的主要部位的俯視圖。
[0024]圖3是表示本實(shí)施方式的槽加工頭的主要部位的縱剖圖。
[0025]圖4是表示本實(shí)施方式的集塵機(jī)構(gòu)的底面板與管道的立體圖。
[0026]圖5是本實(shí)施方式的集塵機(jī)的立體圖。
[0027]圖6是本實(shí)施方式的集塵罩的立體圖。
[0028]圖7是將本實(shí)施方式的集塵罩在中央縱向切斷的立體圖。
[0029]圖8是在設(shè)置在本實(shí)施方式的槽加工頭的集塵罩的中央縱向切斷的立體圖。
[0030]圖9(a)、圖9(b)是表示通過本實(shí)施方式的槽加工頭進(jìn)行槽加工時(shí)的空氣的流動(dòng)的圖。
[0031]圖10是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的集塵罩的主要部位的剖視圖。
[0032]圖11 (a)、圖11 (b)是表示通過本實(shí)施方式的槽加工頭進(jìn)行槽加工時(shí)的空氣的流動(dòng)的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的槽加工裝置的整體構(gòu)成的立體圖。如本圖所示，槽加工裝置10具備載置有成為加工對(duì)象的薄膜太陽電池基板W的平臺(tái)11。平臺(tái)11可在水平面(xy平面)內(nèi)沿圖1的y方向移動(dòng)，且可在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)至任意的角度。
[0034]在平臺(tái)11的上方，在兩個(gè)基座12分別安裝有攝像機(jī)13。各基座12可沿著設(shè)置在支持臺(tái)14的沿X方向延伸的導(dǎo)軌15移動(dòng)。兩個(gè)攝像機(jī)13可上下移動(dòng)，且各攝像機(jī)13所拍攝的圖像顯示在對(duì)應(yīng)的監(jiān)控器16。
[0035]在平臺(tái)11的上方設(shè)置有橋接器17。橋接器17具有一對(duì)支持柱18a、18b、橫跨這些支持柱之間并沿X軸方向而設(shè)置的導(dǎo)桿19、以及驅(qū)動(dòng)形成在導(dǎo)桿19的導(dǎo)軌20的馬達(dá)21。橋接器17保持加工頭30以使其可沿導(dǎo)軌20在水平面內(nèi)沿X方向移動(dòng)。此處，設(shè)置在橋接器17的導(dǎo)軌20及馬達(dá)21構(gòu)成用以使加工頭30在水平面內(nèi)沿X軸方向相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在槽加工頭，具有工具的工具保持器以固定間隔并列配置有多個(gè)。
[0036]接著，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的槽加工頭進(jìn)行說明。圖2是表示具有集塵機(jī)構(gòu)的槽加工頭的一部分的圖，圖3是其剖視圖。如這些圖所示，槽加工頭30將多個(gè)工具保持器31保持為與紙面垂直的方向。各工具保持器分別為細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)方體狀且在下端保持工具32。此處，工具32設(shè)為圓柱狀且具有前端形成為尖銳的錐形狀的刀尖者。槽加工頭30是通過施加固定的負(fù)載而使工具32與基板接觸，并使其沿著基板的面移動(dòng)而在基板面形成圖案化。
[0037]圖4是表示槽加工頭的底面板與管道的立體圖，圖5是表示設(shè)置在管道的前端的集塵機(jī)。如圖4所示，在槽加工頭30的下表面設(shè)置有底面板33。底面板33在其中央沿長(zhǎng)邊方向形成有細(xì)長(zhǎng)的開口 33a。此外，在底面板33的開口 33a的外側(cè)具有一對(duì)開口，且在這些開口的部分傾斜地安裝有一對(duì)管道34。如圖5所示，在管道34連結(jié)有集塵機(jī)35的鼓風(fēng)機(jī)。集塵機(jī)35自管道34抽吸空氣。此處使用集塵機(jī)，但也可以鼓風(fēng)機(jī)單體的形式使用。
[0038]而且，在底面板33的進(jìn)而下表面設(shè)置有用以在使用工具32進(jìn)行刻劃時(shí)抽吸粉塵的集塵罩40。圖6是表示此集塵罩40與安裝在其上部的整流塊的立體圖，圖7是表示將集塵罩40在中央縱向切斷后的狀態(tài)的立體圖。如這些圖所示，集塵罩40具有底面板41與四側(cè)的垂直的壁面板42?45，且為上表面開放的殼體狀的構(gòu)件。底面板41在中央部分具有在長(zhǎng)邊方向上細(xì)長(zhǎng)的開口。而且，在壁面板42、43的上部設(shè)置有向外彎折的彎折部42a、43a。在彎折部42a、43a設(shè)置有用以通過將集塵罩40螺固在槽加工頭30的底面板33而進(jìn)行固定的多個(gè)貫通孔。此外，在壁面板44、45的上部也形成有朝向外側(cè)的彎折部44a、44b。這些彎折部42a、43a、44a、45a在將集塵罩40安裝在底面板30并通過集塵機(jī)35抽吸空氣時(shí)使空氣不會(huì)自安裝部分的間隙漏入。
[0039]在集塵罩40的內(nèi)部設(shè)置有隔斷部46。隔斷部46包含與壁面板42、43及壁面板44、45平行的隔板47?50，且這些形成為框狀。在底面板41的開口與隔板47、48的下方之間形成有狹窄的狹縫，該狹縫成為空氣的吸氣口。
[0040]圖8是將集塵罩40與隔斷部46的詳細(xì)情況放大而表示的剖視圖。