本實用新型涉及LED刻蝕機，尤其涉及一種LED刻蝕機水冷盤釬焊結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

LED刻蝕機是LED光源生產(chǎn)過程中的重要的設(shè)備，刻蝕的效果直接關(guān)系到光源芯片的質(zhì)量高低，進而影響光源的質(zhì)量；刻蝕，它是半導(dǎo)體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟,是與光刻相聯(lián)系的圖形化處理的一種主要工藝；其中水冷盤在刻蝕工藝區(qū)的下方，通過控制盤內(nèi)水的流量帶走工藝過程中產(chǎn)生的熱量，實現(xiàn)工藝溫度的控制；在潔凈的真空反應(yīng)腔中，不允許除反應(yīng)氣體以外的其他灰塵、雜質(zhì)等異物的出現(xiàn)，水冷盤的外部經(jīng)過超聲波及化學清洗，滿足工藝環(huán)境的要求，一旦釬焊式的冷卻水道發(fā)生泄漏，冷卻水會污染工藝環(huán)境，同時影響真空度；傳統(tǒng)的水冷盤釬焊結(jié)構(gòu)，水冷盤上貫穿的工藝孔與內(nèi)部的冷卻水道之間間隙小，增加了釬焊難度，不但容易堵塞工藝孔和冷卻水道，而且容易發(fā)生泄漏。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型目的是提供一種水冷盤釬焊結(jié)構(gòu)，解決了以上技術(shù)問題。

為了實現(xiàn)上述技術(shù)目的，達到上述的技術(shù)要求，本實用新型所采用的技術(shù)方案是：一種水冷盤釬焊結(jié)構(gòu)，包括釬焊片；所述的釬焊片一側(cè)設(shè)置有水道蓋板，另一側(cè)設(shè)置有水道底板；所述的水道蓋板上設(shè)有第一工藝孔，冷卻水進口和冷卻水出口；其特征在于；所述的水道底板上設(shè)置有第二工藝孔和第一螺旋冷卻水道；所述的第一螺旋冷卻水道一側(cè)設(shè)置有第二螺旋冷卻水道；所述的第一螺旋冷卻水道和第二螺旋冷卻水道之間通過水道彎頭連通，周邊設(shè)置有螺旋凹槽。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案：所述的第一螺旋冷卻水道斷面為“∪”形，設(shè)置有第一直水道。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案：所述的第二螺旋冷卻水道斷面為“∪”形，設(shè)置有第二直水道。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案：所述的冷卻水進口與第一直水道連通；所述的冷卻水出口與第二直水道連通。

作為優(yōu)選的技術(shù)方案：所述的第一工藝孔與第二工藝孔配用。

本實用新型的有益效果是：一種水冷盤釬焊結(jié)構(gòu)，與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)相比：設(shè)置有第一螺旋冷卻水道和第二螺旋冷卻水道；所述的第一螺旋冷卻水道和第二螺旋冷卻水道與工藝孔之間設(shè)置有螺旋凹槽；不但不會堵塞工藝孔和冷卻水道，而且釬焊片融化后，流入螺旋凹槽中，連接成屏障，形成了一個密閉的螺旋冷卻空間，防止冷卻水泄漏而影響工藝環(huán)境。

附圖說明

圖1為本實用新型三維爆炸圖；

圖2為本實用新型水道底板三維圖；

圖3為本實用新型水道底板主視圖；

圖4為本實用新型圖3A-A剖視圖；

圖5為本實用新型水道蓋板主視圖；

在圖中：1.釬焊片、2.水道蓋板、3.水道底板、4.第一工藝孔、5.冷卻水進口、6.冷卻水出口、7.第二工藝孔、8.第一螺旋冷卻水道、8-1.第一直水道、9.第二螺旋冷卻水道、9-1.第二直水道、10.螺旋凹槽、11.水道彎頭。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步描述；

在附圖中： 一種水冷盤釬焊結(jié)構(gòu)，包括釬焊片1；所述的釬焊片1一側(cè)設(shè)置有水道蓋板2，另一側(cè)設(shè)置有水道底板3；所述的水道蓋板2上設(shè)有第一工藝孔4，冷卻水進口5和冷卻水出口6；所述的水道底板3上設(shè)置有第二工藝孔7和第一螺旋冷卻水道8；所述的第一螺旋冷卻水道8一側(cè)設(shè)置有第二螺旋冷卻水道9；所述的第一螺旋冷卻水道8和第二螺旋冷卻水道9之間通過水道彎頭11連通，周邊設(shè)置有螺旋凹槽10；所述的第一螺旋冷卻水道8斷面為“∪”形，設(shè)置有第一直水道8-1；所述的第二螺旋冷卻水道9斷面為“∪”形，設(shè)置有第二直水道9-1；所述的冷卻水進口5與第一直水道8-1連通；所述的冷卻水出口6與第二直水道9-1連通；所述的第一工藝孔4與第二工藝孔7配用。

本實用新型的具體實施：

1.設(shè)置有螺旋凹槽10，融化的釬焊片1在毛細作用下填充到螺旋凹槽10中，隔離螺旋冷卻水道和工藝孔，降低泄露概率，提高釬焊后的密封質(zhì)量。

2.在實際使用時，通過冷卻水進口5通入冷卻水，在第一螺旋冷卻水道8和第二螺旋冷卻水道9形成的密閉空間中循環(huán)冷卻，由冷卻水出口6流出，同時帶走LED刻蝕機工作是產(chǎn)生的熱量。

上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型所作的描述，而并非對實施方式的限定，對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動，這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉，而由此所引申出的顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型的保護范圍之中。