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激光加工方法及激光加工裝置與流程

文檔序號:12282821閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種激光加工方法,其用于控制傳送單元和電掃描儀,所述傳送單元能夠使被加工物沿著與所述被加工物的主面平行的XY平面在X方向上移動,所述電掃描儀使從激光光源射出的激光反射并照射在被加工物上,其特征在于,

包含如下步驟:一邊使所述傳送單元在X方向上以固定速度移動,一邊利用所述電掃描儀使激光的瞄準點在電掃描區(qū)域內(nèi)以描繪固定軌跡的方式在X方向及Y方向上掃描,并在掃描線上的規(guī)定位置對被加工物照射激光,

在下式所示出的條件及范圍內(nèi)進行加工:

Px/V≥Σ(Lt+Gt)···(1)

Gx=Px×α···(2)

Px:被加工物的X方向的基準加工間距

V:被加工物的X方向移動速度

Lt:激光照射時間

Gt:電掃描動作時間(瞄準點的移動時間及穩(wěn)定時間)

Gx:電掃描區(qū)域的X方向的邊的距離

α:常數(shù)(0<α<1)。

2.如權(quán)利要求1所述的激光加工方法,其特征在于,

一邊使所述傳送單元在X正方向上以固定速度移動,一邊重復以下的第一步驟至第八步驟:

將所述激光照射在XY平面上的第一點的第一步驟;

通過所述電掃描儀將所述激光的瞄準點從所述第一點整體向X正方向及Y正方向掃描的第二步驟;

在相對于所述第一點在X正方向及Y正方向上進行了位移的第二點照射所述激光的第三步驟;

通過所述電掃描儀使所述激光的瞄準點從所述第二點向X負方向掃描的第四步驟;

在相對于所述第二點在X負方向上進行了位移的第三點照射所述激光的第五步驟;

通過所述電掃描儀使所述激光的瞄準點從所述第三點整體向X正方向及Y負方向掃描的第六步驟;

在相對于所述第三點在X正方向及Y負方向上進行了位移的第四點照射所述激光的第七步驟;以及

通過所述電掃描儀使所述激光的瞄準點從所述第四點向X負方向掃描并使所述激光的瞄準點返回至所述第一點的第八步驟。

3.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工方法,其特征在于,

在下式所示出的條件及范圍內(nèi)進行加工:

Px/V≥Gy/Py×(Lt+Gyt)+Gxt+Lt···(3)

Gy:電掃描區(qū)域的Y方向距離

Py:被加工物的Y方向的基準加工間距

Lt:激光照射時間

Gyt:Y方向電掃描動作時間

Gxt:X方向電掃描動作時間

4.如權(quán)利要求1至3中任意一項所述的激光加工方法,其特征在于,

具有第九步驟,其在所述第二步驟的掃描途中,在從所述第一點移動至第二點的期間照射所述激光,

還具有第十步驟,其在所述第六步驟的掃描途中,在從所述第三點移動至所述第四點的期間照射所述激光。

5.一種激光加工裝置,其特征在于,包括:

傳送單元,該傳送單元使被加工物在與所述被加工物的主面平行的XY平面內(nèi)沿著X方向以固定速度移動;

電掃描儀,該電掃描儀使從激光光源射出的激光反射并照射在所述被加工物上,并且通過所述電掃描儀使激光的瞄準點在電掃描區(qū)域內(nèi)以描繪固定軌跡的方式在X方向及Y方向上進行掃描;

激光振蕩器,該激光振蕩器在激光的瞄準點到達掃描線上的規(guī)定位置的時刻產(chǎn)生激光;以及

控制單元,該控制單元對所述傳送單元、電掃描儀、激光振蕩器進行同步控制,以滿足以下的數(shù)學式所示出的條件及范圍:

Px/V≥Σ(Lt+Gt)···(1)

Gx=Px×α···(2)

Px:被加工物的X方向的基準加工間距

V:被加工物的X方向移動速度

Lt:激光照射時間

Gt:電掃描動作時間(瞄準點的移動時間及穩(wěn)定時間)

Gx:電掃描區(qū)域的X方向的邊的距離

α:常數(shù)(0<α<1)。

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