1.一種工作臺裝置，其特征在于，包括：
基座部件，其具有與規(guī)定面平行的導向面；
工作臺，其配置在所述基座部件的上方；
驅動系統(tǒng)，其包括：在與正交于所述規(guī)定面的第一軸平行的方向上配置在所述基座部件與所述工作臺之間并產(chǎn)生動力的致動器，所述驅動系統(tǒng)能夠沿著與所述第一軸平行的方向、與所述規(guī)定面內(nèi)的第二軸平行的方向以及與所述規(guī)定面內(nèi)正交于所述第二軸的第三軸平行的方向移動所述工作臺；
活塞部件，其具有上表面、下表面以及連接所述上表面和所述下表面的側面，其所述上表面?zhèn)鹊闹辽僖徊糠峙c所述工作臺連接；
缸部件，其配置在所述活塞部件的周圍，對所述活塞部件以使其能夠沿著與所述第一軸平行的方向移動的方式進行支承，并以能夠沿著與所述第二軸平行的方向以及與所述第三軸平行的方向分別移動的方式支承于所述基座部件；
第一軸承部件，其配置于所述缸部件，在與所述活塞部件的側面之間形成氣體軸承；
第二軸承部件，其配置于所述缸部件，在與所述基座部件的導向面之間形成氣體軸承；以及
重力補償裝置，其具有以面向所述活塞部件的下表面所面對的所述缸部件的內(nèi)部空間的下部空間的方式被配置，并對所述下部空間提供氣體的供給口。
2.根據(jù)權利要求1所述的工作臺裝置，其特征在于：
所述活塞部件與所述工作臺的周邊部的多個位置分別連接，
以包圍所述驅動系統(tǒng)的方式配置有多個所述缸部件。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的工作臺裝置，其特征在于：
所述驅動系統(tǒng)包括：
第二軸驅動裝置，其包括：以能夠沿著與所述第二軸平行的方向移動的方式支承于所述基座部件的第二軸載物臺；以及用于移動所述第二軸載物臺的第二軸致動器；
第三軸驅動裝置，其包括：以能夠沿著與所述第三軸平行的方向移動的方式支承于所述第二軸載物臺的第三軸載物臺；以及用于移動所述第三軸載物臺的第三軸致動器；以及
第一軸驅動裝置，其配置在所述第三軸載物臺上，沿著與所述第一軸平行的方向移動所述工作臺，
所述缸部件與所述第三軸載物臺連接。
4.根據(jù)權利要求3所述的工作臺裝置，其特征在于：
所述第一軸驅動裝置具有：
第一楔部件，其以能夠沿著與所述第二軸或者所述第三軸平行的方向移動的方式支承于所述第三軸載物臺；
第二楔部件，其配置在所述第一楔部件的上方，能夠相對于所述第一楔部件進行相對移動；
第一軸致動器，其移動所述第一楔部件；以及
導向裝置，其至少一部分配置于所述第一楔部件，根據(jù)所述第一楔部件的移動，以使所述第二楔部件沿著與所述第一軸平行的方向移動的方式，來引導所述第二楔部件，
所述工作臺支承于所述第二楔部件。
5.根據(jù)權利要求4所述的工作臺裝置，其特征在于：
所述導向裝置包括直線運動式的滾動軸承，所述滾動軸承包括：配置于所述第一楔部件和所述第二楔部件的其中一方的楔部件的導軌；以及配置于其中另一方的楔部件并能夠與所述導軌進行相對移動的滑動件。
6.一種輸送裝置，其特征在于，包括：
權利要求1至5中任一項所述的工作臺裝置。
7.一種半導體制造裝置，其特征在于，包括：
權利要求1至5中任一項所述的工作臺裝置。
8.一種檢查裝置，其特征在于，包括：
權利要求1至5中任一項所述的工作臺裝置。