技術(shù)特征：
1.一種用于用帶電粒子束和激光束兩者對工件進行加工的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：第一工作臺，其包括真空室用于對該真空室內(nèi)所支持的第一工件進行加工；第二工作臺，用于對真空室外的第二工件進行加工；產(chǎn)生源輸出激光束的激光源；光學系統(tǒng)，其被配置成用于將該源輸出激光束分成至少第一激光束和第二激光束以及將該第一激光束傳遞到該真空室內(nèi)的該第一工件并且將該第二激光束傳遞到該真空室外的該第二工件；以及粒子束源，用于對該真空室內(nèi)的該第二工件進行加工。2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該光學系統(tǒng)包括用于將該第一激光束定位在該第一工件上的第一束轉(zhuǎn)向機構(gòu)和用于將該第二激光束定位在該第二工件上的第二束轉(zhuǎn)向機構(gòu)。3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，該光學系統(tǒng)包括改變該第一激光束、該第二激光束或者這兩者的頻率、強度、或者脈沖寬度或持續(xù)時間的至少一個調(diào)節(jié)裝置，其中，當對其對應(yīng)的工件進行加工時，該第一激光束和該第二激光束具有不同的強度。4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，該第二激光束比該第一激光束具有更高的功率，該第二激光束被適配成用于執(zhí)行每秒至少10,000立方微米材料的大塊材料清除并且該第一激光束被適配成用于執(zhí)行每秒清除少于5000立方微米材料的精細操作。5.一種用于用帶電粒子束和激光束兩者對工件進行加工的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：真空室；帶電粒子束系統(tǒng)，用于加工該真空室內(nèi)的工件；放置在該真空室外的多個激光源，其中，該多個激光源之一產(chǎn)生第一強度的第一束并且該多個激光源中的另一個激光源產(chǎn)生第二強度的第二束，該第二強度小于該第一強度的?；以及光學系統(tǒng)，其被配置成用于將來自該多個激光源的激光束從該真空室外引導(dǎo)至該真空室內(nèi)的工件。6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，該多個激光源之一為飛秒激光器并且該多個激光源中的另一個激光源為納秒激光器或連續(xù)波激光器。7.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，來自該多個激光源的激光束中的多個激光束通過同一個物鏡聚焦到該工件上。8.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，來自該多個激光源的激光束中的多個激光束通過不同的物鏡聚焦到該工件上。9.一種用于使用帶電粒子束和激光束兩者對工件進行加工的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：真空室，用于容納第一工件；帶電粒子束柱，用于對該真空室內(nèi)的該第一工件進行加工；置于所述真空室外的第一激光束源，用于對該第一工件進行加工；置于所述真空室外的第二激光束源，用于對該第一工件或第二工件進行加工，該第一激光束和該第二激光束具有不同的束特性，并且該第一激光束源或該第二激光束源中的至少一個被適配成用于將該第一激光束或該第二激光束引導(dǎo)至該真空室內(nèi)的該工件。10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中，該第一激光束源和該第二激光束源包括一個單個激光束生成器并且該第一激光束源和該第二激光束源中的至少一個包括改變該束生成器生成的束的頻率、強度或者脈沖寬度或持續(xù)時間的束調(diào)節(jié)器。11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該束調(diào)節(jié)器被配置成用于使得該第一激光束具有該第二激光束的功率的1/10，該第二激光束適用于大塊清除并且該第一激光束適用于精細機械加工。12.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該第二工件放置在該真空室外。13.如權(quán)利要求9至12任一項所述的系統(tǒng)，其中，將該第一激光束和該第二激光束引導(dǎo)至該真空室內(nèi)的該第一工件。14.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，該第一激光束和該第二激光束通過同一個物鏡聚焦到該工件上。15.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，該第一激光束和該第二激光束通過不同的物鏡聚焦到該工件上。16.如權(quán)利要求10至12任一項所述的系統(tǒng)，其中，通過以下過程之一調(diào)節(jié)該第一激光束：波長轉(zhuǎn)換、脈沖寬度或頻率改變、放大和衰減。17.如權(quán)利要求9至12任一項所述的系統(tǒng)，進一步包括轉(zhuǎn)向反射鏡，該轉(zhuǎn)向反射鏡作用在該第一激光束和/或該第二激光束上以便將該第一激光束或該第二激光束引導(dǎo)至該第一工件上的希望位置。18.一種使用帶電粒子束系統(tǒng)的方法，包括：引導(dǎo)用于對第一工件進行加工的第一激光束，從真空室外引導(dǎo)第二激光束，以便對該第一工件或該真空室內(nèi)的第二工件進行加工，以及引導(dǎo)帶電粒子束，以便對所述第一或第二工件進行加工，其中，該第一激光束在相應(yīng)工件上具有比該第二激光束的強度更大的強度，該第一激光以比該第二激光更快的速率清除材料，該第二激光以比該帶電粒子束更快的速率清除材料。19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，對該第一激光束進行引導(dǎo)包括將源自激光束生成器的束引導(dǎo)至該真空室外的該第一工件，并且對該第二激光束進行引導(dǎo)包括將源自同一激光束生成器的束引導(dǎo)穿過束調(diào)節(jié)器朝向該真空室內(nèi)的第二工件。20.如權(quán)利要求19所述的方法，其中，將束引導(dǎo)穿過該束調(diào)節(jié)器包括以下內(nèi)容中的至少一個：空間束輪廓修改器、時間束輪廓修改器、移頻器、倍頻光學器件、衰減器、放大器、選模光學器件以及擴束器。21.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，引導(dǎo)該第一激光束以便加工第一工件包括將該第一激光束引導(dǎo)至放置在該真空室內(nèi)的第一工件。22.如權(quán)利要求21所述的方法，其中，對第一激光束進行引導(dǎo)和對第二激光束進行引導(dǎo)包括引導(dǎo)該第一激光束和引導(dǎo)該第二激光束穿過同一個物鏡朝向該真空室內(nèi)的該第一工件。23.如權(quán)利要求21所述的方法，其中，對第一激光束進行引導(dǎo)和對第二激光束進行引導(dǎo)包括引導(dǎo)該第一激光束并且引導(dǎo)該第二激光束穿過不同的物鏡朝向該真空室內(nèi)的該第一工件。24.如權(quán)利要求18或權(quán)利要求19所述的方法，其中，對第一激光束進行引導(dǎo)和對第二激光束進行引導(dǎo)包括：引導(dǎo)源自第一激光生成器的第一激光束，并且對第二激光束進行引導(dǎo)包括引導(dǎo)源自第二激光生成器的第二激光束。25.如權(quán)利要求18或權(quán)利要求19所述的方法，其中，對第一激光束進行引導(dǎo)和對第二激光束進行引導(dǎo)包括：引導(dǎo)源自第一激光生成器的第一激光束，并且對第二激光束進行引導(dǎo)包括引導(dǎo)源自第一激光生成器的第二激光束，其中，該第一激光束或該第二激光束或者兩個激光束穿過束調(diào)節(jié)器以改變強度、波長、或者脈沖寬度或頻率。26.如權(quán)利要求18或權(quán)利要求19所述的方法，其中，該第一激光束和該第二激光束同時對其對應(yīng)的工件進行加工。