技術(shù)編號：11971988
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。與FIB和/或電子顯微鏡一起使用的雙激光束系統(tǒng)發(fā)明技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種激光加工工具的配置，其中，與帶電粒子束儀器和/或電子顯微鏡一起使用分離開的激光加工光點(diǎn)。發(fā)明背景激光與電子顯微鏡和聚焦離子束（FIB）系統(tǒng)的一起使用在如集成電路、磁性錄音頭以及光刻掩模等微型器件的制造、修理和檢查領(lǐng)域中提供了各種應(yīng)用。這些應(yīng)用還可以用于能源勘探、材料科學(xué)和生物學(xué)領(lǐng)域。電子顯微鏡（典型地掃描電子顯微鏡（SEM））在對目標(biāo)物或工件造成最小破壞的情況下提供高分辨率成像，并且FIB用于改變工件以及用于形成影像。還可以...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。