一種掃描電子顯微鏡模具載臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及載物臺技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掃描電子顯微鏡模具載臺。
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電子顯微鏡目前是半導(dǎo)體行業(yè)使用較為廣泛的分析設(shè)備，可以將微小樣品放大到數(shù)千倍甚至是幾萬倍，幾十萬倍。本裝置需要分析范圍主要在金/銀/銅等線材產(chǎn)品的外觀，內(nèi)部模具的分析，原材料分析等。根據(jù)不同需求，所使用的載物裝置也不相同，如圖1所示，本裝置本裝置要裝載的模具是穿孔模具，中心點是金剛石內(nèi)孔，觀察外觀需要距離內(nèi)孔有一定的空間，普通的載物臺會將空間堵塞，同時，由于每次講樣品放入艙內(nèi)，需要抽真空操作，耗費時間較長，所以，放置模具量越大越好。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提出了一種掃描電子顯微鏡模具載臺，包括載臺本體、支撐桿，所述支撐桿位于所述載臺本體下部；所述載臺本體表面設(shè)有至少8個載物孔，所述載物孔均勻排列成圓形；所述載物孔內(nèi)部設(shè)有凸環(huán)；所述支撐桿上套有固定塊，所述固定塊底部設(shè)有插槽。
[0004]本實用新型提出的進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述支撐桿為長方體。
[0005]本實用新型提出的進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述固定塊上設(shè)有與所述支撐桿形狀相同的插入口。
[0006]本實用新型提出的進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述載物孔靠近圓心方向上設(shè)有數(shù)字標(biāo)示。
[0007]本實用新型提出的掃描電子顯微鏡模具載臺有以下有益效果:1、本裝置一次至少能放至少8個模具，解決了一次檢測需要進(jìn)行抽真空的復(fù)雜步驟，減少了抽真空次數(shù)，提高工作效率；2、載物孔旁設(shè)有數(shù)字標(biāo)示，便于不同的模具的對比記錄；3、使用方形的支撐桿，支撐更牢固，不會轉(zhuǎn)動，并且下部設(shè)有插槽，安裝便捷。
【附圖說明】
[0008]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0009]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中穿孔模具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實用新型的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖3為本實用新型的載臺本體的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖4為本實用新型的俯視圖；
[0013]其中，1-載臺本體，2-支撐桿，3-載物孔，4-凸環(huán)，5-固定塊，6_插槽，7_數(shù)字標(biāo)不O
【具體實施方式】
[0014]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0015]結(jié)合圖1-4，本實用新型提出了一種掃描電子顯微鏡模具載臺，包括載臺本體1、支撐桿2，所述支撐桿2位于所述載臺下部；所述載臺本體I表面設(shè)有至少8個載物孔3，一次性能夠容納多個模具，減少了每次檢測時需要抽真空的次數(shù)，增加了工作效率，所述載物孔3均勻排列成圓形；所述載物孔3內(nèi)部設(shè)有凸環(huán)4，將模具放于載物孔3內(nèi)，并通過凸環(huán)4支撐，模具的中心設(shè)有下陷的金剛石，能夠陷于凸環(huán)4內(nèi)，留出觀測距離；所述支撐桿2上套有固定塊5，所述固定塊5底部設(shè)有插槽6。
[0016]本實用新型提出的進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述支撐桿2為長方體。
[0017]本實用新型提出的進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述固定塊5上設(shè)有與所述支撐桿2形狀相同的插入口，長方體的支撐桿2插入固定塊5，固定塊5上有與長方體相同形狀，安裝時更穩(wěn)定，圓形柱會發(fā)生轉(zhuǎn)動，影響測量。
[0018]本實用新型提出的進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述載物孔3靠近圓心方向上設(shè)有數(shù)字標(biāo)示7，用于標(biāo)示不同載物孔3上的模具，便于對比不同的觀察結(jié)果。
[0019]對實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種掃描電子顯微鏡模具載臺，其特征在于，包括載臺本體、支撐桿，所述支撐桿位于所述載臺本體下部；所述載臺本體表面設(shè)有至少8個載物孔，所述載物孔均勻排列成圓形；所述載物孔內(nèi)部設(shè)有凸環(huán)；所述支撐桿上套有固定塊，所述固定塊底部設(shè)有插槽。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡模具載臺，其特征在于，所述支撐桿為長方體。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描電子顯微鏡模具載臺，其特征在于，所述固定塊上設(shè)有與所述支撐桿形狀相同的插入口。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡模具載臺，其特征在于，所述載物孔靠近圓心方向上設(shè)有數(shù)字標(biāo)示。
【專利摘要】本實用新型提出了一種掃描電子顯微鏡模具載臺，包括載臺本體、支撐桿，所述支撐桿位于所述載臺本體下部；所述載臺本體表面設(shè)有至少8個載物孔，所述載物孔均勻排列成圓形；所述載物孔內(nèi)部設(shè)有凸環(huán)；所述支撐桿上套有固定塊，所述固定塊底部設(shè)有插槽，本裝置的有益效果是：1、本裝置一次至少能放至少8個模具，解決了一次檢測需要進(jìn)行抽真空的復(fù)雜步驟，減少了抽真空次數(shù)，提高工作效率；2、載物孔旁設(shè)有數(shù)字標(biāo)示，便于不同的模具的對比記錄；3、使用方形的支撐桿，支撐更牢固，不會轉(zhuǎn)動，并且下部設(shè)有插槽，安裝便捷。
【IPC分類】H01J37/20
【公開號】CN204760348
【申請?zhí)枴緾N201520300729
【發(fā)明人】陳興
【申請人】銘凱益電子（昆山）有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年5月12日