掃描電子顯微鏡裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種掃描電子顯微鏡裝置，其包括圓形臺(tái)面，所述圓形臺(tái)面的中心開(kāi)設(shè)有圓形過(guò)孔，圓形過(guò)孔內(nèi)設(shè)有可升降的托盤，托盤外圍的圓形臺(tái)面上間隔設(shè)置有兩段弧形鋼片。通過(guò)上述方式，本實(shí)用新型能夠滿足生產(chǎn)更小直徑的晶圓的需求。
【專利說(shuō)明】
掃描電子顯微鏡裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種掃描電子顯微鏡裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，掃描電子顯微鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀性觀察手段，掃描電子顯微鏡裝置是一種非常重要的量測(cè)設(shè)備，號(hào)稱芯片的眼睛，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。
[0003]當(dāng)前，掃描電子顯微鏡裝置是一種精密儀器，并且一種型號(hào)的掃描電子顯微鏡裝置只能針對(duì)特定直徑的晶圓，然而，半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商所生產(chǎn)的晶圓直徑有大有小，當(dāng)需要生產(chǎn)比特定直徑更小的晶圓時(shí)，就需要更換掃描電子顯微鏡裝置。但是，掃描電子顯微鏡裝置的價(jià)格昂貴，而且制造周期長(zhǎng)，因此，如何在利用已有的掃描電子顯微鏡裝置生產(chǎn)更小直徑的晶圓是半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商迫切需求。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種掃描電子顯微鏡裝置，能夠滿足生產(chǎn)更小直徑的晶圓的需求。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種掃描電子顯微鏡裝置，包括圓形臺(tái)面，所述圓形臺(tái)面的中心開(kāi)設(shè)有圓形過(guò)孔，所述圓形過(guò)孔內(nèi)設(shè)有可升降的托盤，所述托盤外圍的圓形臺(tái)面上間隔設(shè)置有兩段弧形鋼片。
[0006]優(yōu)選地，所述托盤表面均勻設(shè)置有四個(gè)橡膠墊。
[0007]優(yōu)選地，所述弧形鋼片設(shè)有多個(gè)安裝孔，所述弧形鋼片通過(guò)所述安裝孔與所述圓形臺(tái)面可拆卸固定。
[0008]優(yōu)選地，所述弧形鋼片的弧度為120°?150°。
[0009]優(yōu)選地，所述兩段弧形鋼片的間隔弧度為30°?60°。
[0010]優(yōu)選地，所述兩段弧形鋼片相對(duì)所述托盤對(duì)稱設(shè)置。
[0011]優(yōu)選地，所述弧形鋼片的內(nèi)側(cè)壁為斜坡，所述斜坡的坡度為45°?60°。
[0012]優(yōu)選地，所述弧形鋼片的寬度為0.8-1.0cm，厚度0.08-0.1cm。
[0013]優(yōu)選地，所述圓形臺(tái)面的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有傳感器。
[0014]區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本實(shí)用新型的有益效果是:通過(guò)在圓形臺(tái)面上增加兩段弧形鋼片，再配合可升降的托盤，可以適配更小直徑的晶圓，從而能夠滿足生產(chǎn)更小直徑的晶圓的需求。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例掃描電子顯微鏡裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例掃描電子顯微鏡裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例掃描電子顯微鏡裝置的弧形鋼片的截面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0019]請(qǐng)參見(jiàn)圖1和圖2，本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電子顯微鏡裝置包括圓形臺(tái)面I，圓形臺(tái)面I的中心開(kāi)設(shè)有圓形過(guò)孔11，圓形過(guò)孔11內(nèi)設(shè)有可升降的托盤2，托盤2外圍的圓形臺(tái)面I上間隔設(shè)置有兩段弧形鋼片3。在本實(shí)施例中，托盤2表面均勻設(shè)置有四個(gè)橡膠墊21。
[0020]使用掃描電子顯微鏡裝置時(shí)，當(dāng)機(jī)械手臂把更小直徑的晶圓傳送到圓形臺(tái)面I上時(shí)，托盤2升起，機(jī)械手臂將晶圓放置到托盤2上，然后機(jī)械手臂退出掃描電子顯微鏡裝置。此時(shí)托盤2下降，當(dāng)托盤2下降至與圓形臺(tái)面I的表面平齊時(shí)，晶圓落在圓形臺(tái)面I內(nèi)的兩段弧形鋼片所限制的區(qū)域內(nèi)，從而完成更小直徑的晶圓的傳送。通過(guò)這種方式，可以使用生產(chǎn)特定直徑的晶圓的掃描電子顯微鏡裝置來(lái)生產(chǎn)直徑比特定直徑更小的晶圓。例如在實(shí)際使用中，Hitachi(日立)的92xx系列掃描電鏡機(jī)臺(tái)的初始設(shè)計(jì)是滿足生產(chǎn)特定直徑為200mm的晶圓，當(dāng)采用本實(shí)施例的掃描電子顯微鏡裝置后，可以滿足生產(chǎn)直徑為150mm的晶圓。
[0021]考慮到不對(duì)原有掃描電子顯微鏡裝置造成不可逆的改動(dòng)，在本實(shí)施例中，弧形鋼片3設(shè)有多個(gè)安裝孔31，弧形鋼片31通過(guò)安裝孔31與圓形臺(tái)面I可拆卸固定?；⌒武撈?的弧度radl為120°?150°，兩段弧形鋼片3的間隔弧度rad2為30°?60°。為了更精準(zhǔn)的定位晶圓的位置，兩段弧形鋼片3可以相對(duì)托盤2對(duì)稱設(shè)置?；⌒武撈?的寬度為0.8-1.0cm，厚度
0.08-0.1cm0
[0022]如圖3所示，在本實(shí)施例中，弧形鋼片3的內(nèi)側(cè)壁為斜坡，斜坡的坡度rad3為45°?60°。由于弧形鋼片3具有斜坡，可以防止晶圓松動(dòng)。
[0023]為了更精確地確定晶圓的位置，在本實(shí)施例中，圓形臺(tái)面I的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有傳感器4(如圖1所示)。
[0024]通過(guò)上述方式，本實(shí)用新型實(shí)施例的掃描電子顯微鏡裝置通過(guò)在圓形臺(tái)面上增加兩段弧形鋼片，再配合可升降的托盤，可以適配更小直徑的晶圓，從而能夠滿足生產(chǎn)更小直徑的晶圓的需求。
[0025]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，包括圓形臺(tái)面，所述圓形臺(tái)面的中心開(kāi)設(shè)有圓形過(guò)孔，所述圓形過(guò)孔內(nèi)設(shè)有可升降的托盤，所述托盤外圍的圓形臺(tái)面上間隔設(shè)置有兩段弧形鋼片。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述托盤表面均勻設(shè)置有四個(gè)橡膠墊。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述弧形鋼片設(shè)有多個(gè)安裝孔，所述弧形鋼片通過(guò)所述安裝孔與所述圓形臺(tái)面可拆卸固定。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述弧形鋼片的弧度為120°?150°。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述兩段弧形鋼片的間隔弧度為30°?60°。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述兩段弧形鋼片相對(duì)所述托盤對(duì)稱設(shè)置。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述弧形鋼片的內(nèi)側(cè)壁為斜坡，所述斜坡的坡度為45°?60°。8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述弧形鋼片的寬度為0.8-1.0cm，厚度 0.08-0.1cm。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，所述圓形臺(tái)面的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有傳感器。
【文檔編號(hào)】H01J37/26GK205595302SQ201620454328
【公開(kāi)日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月18日
【發(fā)明人】王世偉
【申請(qǐng)人】成都海威華芯科技有限公司