專利名稱：電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明與電子顯微鏡有關(guān)，特別是指一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境。
背景技術(shù)：
按，公知技術(shù)中，在操作電子顯微鏡來觀察物體時(shí)，通常受限于電子顯微鏡內(nèi)的樣品腔室的真空環(huán)境，使得待觀察物體必須為非揮發(fā)性的固體方能進(jìn)行觀察。若是揮發(fā)性物體，例如液態(tài)或氣態(tài)的流體物質(zhì)，在置入真空樣品腔室后會(huì)產(chǎn)生的大量氣體，不僅會(huì)造成電子束無法通過物體進(jìn)行繞射或成像的實(shí)驗(yàn)，亦會(huì)導(dǎo)致顯微鏡電子槍等高真空區(qū)域的真空度下降或造成污染，而損壞電子顯微鏡。
由上可知，受限于真空環(huán)境的限制，傳統(tǒng)電子顯微鏡只能在其樣品腔室內(nèi)觀察固態(tài)物質(zhì)的結(jié)構(gòu)，或觀察干燥脫水后的生物細(xì)胞(例如原核細(xì)胞prokaryote的細(xì)菌，與真核細(xì)胞eukaryote的動(dòng)植物)，病毒等等生物組織，并不能觀察流體樣品或流體環(huán)境中具有生理功能的細(xì)胞與病毒等等，當(dāng)然更無法在一大氣壓的流體環(huán)境下觀察細(xì)胞內(nèi)或細(xì)胞間各種胞器的運(yùn)作，例如細(xì)胞核內(nèi)DNA轉(zhuǎn)錄(transcription)RNA、RNA轉(zhuǎn)譯(translation)蛋白質(zhì)(protein)、細(xì)胞質(zhì)內(nèi)微管體(microtubules)等生化反應(yīng)過程，以及神經(jīng)肌肉接合(neuromuscular junction)處的傳導(dǎo)生理(physiology of transduction)機(jī)制等等生命現(xiàn)象過程。
因此，必須有一種裝置可在其內(nèi)部置入活體細(xì)胞或活體組織，并可將該裝置置入于電子顯微鏡內(nèi)進(jìn)行觀察。目前，雖已有部份人士提出在電子顯微鏡內(nèi)提供一種可觀測(cè)的環(huán)境，例如Gai P.L.(Gai P.L.，Microscopy &Microanalysis 8，21，2002)。但是其缺點(diǎn)是無法將樣品室的壓力維持接近常壓或較高的壓力狀態(tài)下進(jìn)行觀察與分析，是因液體為維持其液氣平衡的穩(wěn)定狀態(tài)而會(huì)迅速揮發(fā)殆盡，所以必須持續(xù)補(bǔ)充液體進(jìn)入樣品室，但此舉將造成待觀測(cè)的樣品產(chǎn)生嚴(yán)重的流動(dòng)或新舊樣品混合不均的問題而影響觀測(cè)的真實(shí)性。另外大量揮發(fā)的高壓蒸氣或從外界注入氣室區(qū)的高壓氣體將充滿上下極塊間的整個(gè)空間，也會(huì)造成電子因撞擊大量氣體分子產(chǎn)生的多重散射效應(yīng)變得非常嚴(yán)重，而導(dǎo)致電子束無法順利成像或進(jìn)行電子繞射的實(shí)驗(yàn)。同時(shí)，其樣品室的設(shè)計(jì)無法有效控制注入的液體量，故極易造成液體厚度過厚使得電子束無法穿透樣品，導(dǎo)致無法觀測(cè)與分析。
同時(shí)其設(shè)計(jì)仍必須將顯微鏡的主體分解才能將這些零件安裝，故量產(chǎn)的可能性不高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，包含有一殼體，內(nèi)部具有一容室，該殼體的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔連通于該容室且彼此相對(duì)同軸；各該觀視孔封設(shè)一薄膜。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中各該觀視孔的孔徑介于5μm-500μm之間。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中各該薄膜設(shè)于各該觀視孔靠近該容室的一端。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中各該薄膜的至少一端面設(shè)有復(fù)數(shù)肋條。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中該等肋條以平行或交叉或同心圓或輻射狀的方式布設(shè)于各該薄膜上。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中各該薄膜與該殼體一體成型。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中該等肋條與各該薄膜一體成型。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中該殼體的一側(cè)設(shè)有一注入孔，另一側(cè)設(shè)有一流出孔。
本發(fā)明提供的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，還包含有一殼體，內(nèi)部具有至少一隔板將該殼體內(nèi)部分隔出一容室以及至少一氣室，該容室的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔設(shè)于該隔板，各該觀視孔連通于該容室；該氣室至少涵蓋住該等觀視孔，且該殼體的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖粴饪?，該等氣孔與該等觀視孔同軸；各該氣孔封設(shè)一薄膜；該殼體于該氣室的一側(cè)設(shè)有至少一氣壓平衡孔。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中各該薄膜設(shè)于各該氣孔靠近于該氣室的一端。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中該殼體于該容室的一側(cè)設(shè)有一注入孔，并于該容室的另一側(cè)設(shè)有一流出孔。
本發(fā)明提供的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，還包含有一殼體，內(nèi)部具有至少二隔板將該殼體內(nèi)部分隔出一容室以及至少一氣室以及至少一緩沖室，該容室的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔設(shè)于一該隔板，各該觀視孔連通于該容室；該氣室至少涵蓋住該等觀視孔，且該氣室的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖粴饪自O(shè)于另一該隔板；該緩沖室至少涵蓋住該等氣孔，且該殼體的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖煌饪?，該等外孔與該等氣孔與該等觀視孔同軸；各該外孔封設(shè)一薄膜；該殼體于該氣室的一側(cè)設(shè)有至少一注氣孔，以及于該緩沖室的一側(cè)設(shè)有至少一抽氣孔。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中各該薄膜設(shè)于各該外孔靠近于該緩沖室的一端。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其中該殼體于該容室的一側(cè)設(shè)有一注入孔，并于該容室的另一側(cè)設(shè)有一流出孔。
由本發(fā)明，可供置入一般樣品或活體細(xì)胞，藉以配合供電子顯微鏡進(jìn)行觀測(cè)，在內(nèi)部注入液體或氣體時(shí)，不會(huì)有蒸氣或液體逸出而產(chǎn)生大量氣體的問題，觀測(cè)上更為容易、清淅。


圖1為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的立體示意圖。
圖2為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的剖視示意圖。
圖3(A)(B)(C)(D)為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的示意圖，顯示薄膜的狀態(tài)。
圖4為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的操作示意圖。
圖5為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的另一剖視示意圖，顯示殼體由蓋體與座體結(jié)合的狀態(tài)。
圖6為本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的剖視示意圖。
圖7為本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的操作示意圖。
圖8為本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的剖視示意圖。
圖9為本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的操作示意圖。
圖10為本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的另一剖視示意圖，顯示配合樣品治具的狀態(tài)。
具體實(shí)施例方式
為了詳細(xì)說明本發(fā)明的構(gòu)造及特點(diǎn)所在，舉以下的三較佳實(shí)施例并配合

如后如圖1至圖3(A)所示，本發(fā)明第一較佳實(shí)施例所提供的一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境10，主要具有一殼體11，為一體成型，內(nèi)部具有一容室12，該殼體11的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔13連通于該容室12且彼此相對(duì)同軸；各該觀視孔13封設(shè)一薄膜131，該薄膜131可為非結(jié)晶碳膜或較具彈性的高分子膜等，其厚度約為100至20奈米(nm)間，該薄膜131位于該觀視孔13靠近該容室12的一端。且本實(shí)施例中，各該薄膜131于其外端面設(shè)置復(fù)數(shù)肋條132，該等肋條132彼此交叉設(shè)置，可以強(qiáng)化各該薄膜131的強(qiáng)度，使得其至少可承受一大氣壓的壓差而不致破裂；該殼體11與該等薄膜131與該等肋條132可由公知的微影蝕刻方式制造并一體成型。各該觀視孔13的孔徑介于5μm-500μm之間，較佳孔徑為50μm。該殼體11的一側(cè)設(shè)有一注入孔111，另一側(cè)設(shè)有一流出孔112。
在對(duì)該封閉式觀測(cè)環(huán)境10內(nèi)置入樣品99的方式是，將液體以及待觀測(cè)樣品99(例如活體細(xì)胞)自該殼體11的注入孔111注入至該容室12，并利用該流出孔112來適時(shí)讓注入的液體或蒸氣或氣體流出，以做為壓力調(diào)節(jié)；此外，亦可利用對(duì)該流出孔112抽取液體樣品，以控制該容室12內(nèi)液體樣品量。當(dāng)待觀測(cè)樣品99為活體細(xì)胞時(shí)，則可在該容室12內(nèi)注入培養(yǎng)液或蒸氣，并可將活體細(xì)胞的樣品99固定在該薄膜131或容室12內(nèi)壁面，其固定方法是在薄膜131或容室12內(nèi)壁面涂布一層如右旋旋光性的聚離胺酸(poly-D-lysine)的類的細(xì)胞固定劑。本實(shí)施例中，該等肋條132除了以交叉方式(圖3(A))設(shè)置于該薄膜131上的外，如圖3(B)(C)(D)所示，亦可以平行或同心圓或輻射狀的方式布設(shè)于各該薄膜131上，而此薄膜131與肋條132可以公知的微影蝕刻方式制造。
在進(jìn)行觀測(cè)時(shí)，如圖4所示，將該封閉式觀測(cè)環(huán)境10配合一樣品治具92實(shí)施，并置入至電子顯微鏡90中，并使該電子顯微鏡90的電子束(圖中未示)通過該二觀視孔13，由此可觀測(cè)到位于該容室12內(nèi)的樣品99，并進(jìn)行成像。其中，由于該等觀視孔13上設(shè)有薄膜131，因此該容室12內(nèi)的液體或蒸氣不會(huì)經(jīng)由該等觀視孔13流出或逸散至該殼體11外，電子顯微鏡90內(nèi)的真空環(huán)境即不會(huì)被破壞。由此可達(dá)到觀視活體細(xì)胞樣品99或其它樣品的功效。
又，該殼體11除了如圖2所示可為一體成型的外，如圖5所示，該殼體11亦可由一蓋體14與一座體15組合而成，可在樣品99置入座體15后，再將該蓋體14蓋上，再將該蓋體14與該座體15間以一黏著劑(圖中未示)接合。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D6，本發(fā)明第二較佳實(shí)施例所提供的一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境20，主要具有一殼體21，內(nèi)部具有至少一隔板24，本實(shí)施例中為二隔板24，該等隔板24將該殼體21內(nèi)部分隔出一容室22以及二氣室25，分別位于該容室22的上方及下方，該容室22的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔23設(shè)于該隔板24，各該觀視孔23連通于該容室22；該二氣室25涵蓋于該二觀視孔23，且該氣室25的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖粴饪?6，該等氣孔26與該等觀視孔23同軸；各該氣孔26封設(shè)有一薄膜261，各該薄膜261設(shè)于各該氣孔26靠近于該氣室25的一端；該殼體21于各該氣室25的一側(cè)設(shè)有一氣壓平衡孔251。該殼體21于該容室22的一側(cè)設(shè)有一注入孔211，并于該容室22的另一側(cè)設(shè)有一流出孔212。
各該觀視孔23其剖面構(gòu)造在本實(shí)施例中，為外大內(nèi)小的推拔狀，并且于該觀視孔23的孔壁及該隔板24外的表面施以疏水或超疏水處理，例如制造許多直徑在數(shù)百奈米以內(nèi)的柱狀物(pillar)，并在其表面附著一層疏水性自我組裝單分子膜(self-assembly monomolecular layer)，可以使得水滴在此表面的接觸角(contact angle)大于150度，以達(dá)不沾水的排水性。而該殼體21可以公知的微影蝕刻方式制造并一體成型，故該容室22與該氣室25均可被控制在極薄的厚度，故可減少電子束通過氣室時(shí)產(chǎn)生的電子多重散射的問題。在對(duì)該封閉式觀測(cè)環(huán)境20置入待觀測(cè)樣品99時(shí)，可將液體以及待觀測(cè)樣品99自一體成型的殼體21的注入孔211注入至該容室22內(nèi)，注入過多的樣品可自流出孔212排出，而從觀視孔23溢漏出來的液體樣品，則會(huì)受到觀視孔23孔壁及該隔板24外的超疏水表面所排斥，而在殼體21直立置放時(shí)自氣壓平衡孔251流出；另外，為避免液體樣品自觀視孔23溢出，亦可選擇在操作時(shí)提供預(yù)定壓力的特定氣體于該氣室25中，并控制該特定氣體壓力與注入該容室22內(nèi)的液體壓力差小于或等于該容室22內(nèi)液體溶液的臨界溢漏壓力(Keller S.et al.，Journal of FoodProtection 66，1260，2003)，由此可使注入的培養(yǎng)液或待分析的液體樣品在容室22內(nèi)循環(huán)流動(dòng)而不會(huì)自該觀視孔23流出。在進(jìn)行觀測(cè)時(shí)，可視實(shí)驗(yàn)需要而停止培養(yǎng)液與待分析液體樣品的循環(huán)流動(dòng)。
本第二實(shí)施例在操作時(shí)，是將該電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境20配合一樣品治具92實(shí)施，并置入于電子顯微鏡90內(nèi)的狀態(tài)概同于前述第一實(shí)施例，如圖7所示，通過該注入孔211對(duì)該容室22內(nèi)注入液體及樣品99(可為活體細(xì)胞)，通過該氣壓平衡孔251來對(duì)該氣室25提供預(yù)定壓力的蒸氣，例如總壓為一大氣壓的飽和水蒸氣(或未飽和水蒸氣)與特定氣體的混合氣體，該特定氣體可為氮?dú)?、氧氣、二氧化碳與惰性氣體等，該氣室25內(nèi)的水蒸氣可抑制該容室22內(nèi)的水的蒸發(fā)速率，另外，亦可供提供一大氣壓的特定氣體于該氣室25中，并控制該特定氣體壓力與該容室22內(nèi)的液體的壓力差小于或等于該容室22內(nèi)水溶液的臨界溢漏壓力，由此可避免該容室22內(nèi)的液體溶液自該等觀視孔23流出，而僅以蒸氣形態(tài)緩慢揮發(fā)進(jìn)入該氣室25內(nèi)。而由該氣壓平衡孔251可對(duì)該氣室25內(nèi)的氣體及蒸氣進(jìn)行平衡調(diào)節(jié)。
本第二實(shí)施例中，由于該等氣孔26上設(shè)有薄膜261，因此該氣室25內(nèi)的蒸氣或氣體不會(huì)經(jīng)由該等氣孔26逸散至該殼體21外，電子顯微鏡90內(nèi)的真空環(huán)境即不會(huì)被破壞。由此可達(dá)到觀視活體細(xì)胞或其它樣品99的功效。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D8，本發(fā)明第三較佳實(shí)施例所提供的一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境30，主要具有一殼體31，內(nèi)部具有至少二隔板34，本實(shí)施例中系為四隔板34，該等隔板34將該殼體31內(nèi)部分隔出一容室32、以及分隔出二氣室35分別位于該容室32上下方、以及分隔出二緩沖室37分別位于該二氣室35的上下方。該容室32的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔33設(shè)于一該隔板34，各該觀視孔33連通于該容室32；該二氣室35涵蓋住該等觀視孔33，且位于上方的該氣室35的頂面具有一氣孔36設(shè)置一該隔板34，位于下方的該氣室35的底面具有一氣孔36設(shè)置于一該隔板34；該二緩沖室37涵蓋住該等氣孔36，且該殼體31的頂部及底部分別具有一外孔38，該等外孔38與該等氣孔36與該等觀視孔33同軸；各該外孔38封設(shè)一薄膜381，各該薄膜381設(shè)于各該外孔38靠近于各該緩沖室37的一端；該殼體31于該氣室35的一側(cè)設(shè)有至少一注氣孔351，以及于各該緩沖室37的一側(cè)設(shè)有一抽氣孔371。該殼體31具有一注入孔311位于該容室32的一側(cè)，以及具有一流出孔312位于該容室32的另一側(cè)。
在對(duì)該電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境30置入待觀測(cè)樣品99時(shí)，可將液體以及待觀測(cè)樣品99自該殼體31的注入孔311注入至該容室32內(nèi)，在操作時(shí)提供預(yù)定壓力的特定氣體于該氣室35中，并控制該特定氣體壓力與注入該容室32內(nèi)的液體壓力差小于或等于該容室32內(nèi)液體溶液的臨界溢漏壓力，由此可避免液體樣品自觀視孔33溢出。對(duì)該二緩沖室37則需持續(xù)進(jìn)行抽氣。
本第三實(shí)施例在操作時(shí)，置入于電子顯微鏡90內(nèi)的狀態(tài)概同于前揭第一實(shí)施例，如圖8及圖9所示，是通過該注入孔311對(duì)該容室32內(nèi)注入液體及樣品99或活體細(xì)胞，并通過該注氣孔351對(duì)該氣室35提供預(yù)定壓力的蒸氣，例如總壓為一大氣壓的飽和水蒸氣(或未飽和水蒸氣)與特定氣體的混合氣體，該特定氣體可為氮?dú)?、氧氣、二氧化碳與惰性氣體等，該氣室35內(nèi)的水蒸氣可抑制該容室32內(nèi)的水的蒸發(fā)速率，另外，亦可提供一大氣壓的特定氣體于該氣室35中，并控制該特定氣體壓力與該容室32內(nèi)的水溶液的壓力差小于或等于該容室32內(nèi)水溶液的臨界溢漏壓力，由此可避免該容室32內(nèi)的液體溶液自該等觀視孔33流出，而僅以蒸氣形態(tài)緩慢揮發(fā)進(jìn)入該氣室35內(nèi)，而該氣室35內(nèi)的氣體及蒸氣亦會(huì)經(jīng)由該二氣孔36向外逸散至該二緩沖室37。對(duì)該二緩沖室37持續(xù)進(jìn)行抽氣，由此可將從該氣室35逸散進(jìn)入該二緩沖室37的蒸氣與氣體會(huì)被抽走，而不會(huì)累積在該二緩沖室37內(nèi)。在進(jìn)行觀測(cè)時(shí)，使電子顯微鏡90的電子束通過該等外孔38以及該等氣孔36以及該等觀視孔33，即可對(duì)該容室32內(nèi)的樣品99(可為活體細(xì)胞)進(jìn)行觀測(cè)。
前述第三實(shí)施例中，該等緩沖室37分為上下各一層僅為舉例說明的用，并非為了限制本發(fā)明范圍，上下多層緩沖室亦可達(dá)到觀測(cè)的需求，并屬于本發(fā)明的等效變化，而應(yīng)為本發(fā)明的申請(qǐng)專利范圍所涵蓋。
又，再如圖9所示，本發(fā)明的主要結(jié)構(gòu)亦可與樣品治具92(SpecimenHolder)結(jié)合在一起，而可以氣室35’與緩沖室37’配合該樣品治具92本身的盒體94所形成的容室32’來成型，其使用方式與前述第三實(shí)施例相同，容不贅述。
另外，圖10顯示以類同于前述第三實(shí)施例的二緩沖室37”配合該樣品治具92本身的盒體94”所形成的容室32”與氣室35”配合樣品治具92的實(shí)施狀態(tài)，一體成型的該盒體94”可以公知的微影蝕刻方式制造，故該氣室35”可具有極薄的厚度以減少電子束通過氣室時(shí)所產(chǎn)生的電子多重散射的問題；又，本實(shí)施狀態(tài)較前述第三實(shí)施例所述還增加一緩沖室，可使得該氣室35”內(nèi)的氣體壓力可操作達(dá)到更高壓的環(huán)境。
本發(fā)明在前述三實(shí)施例中，描述出薄膜設(shè)置于各種不同位置的狀態(tài)，然此為舉例而已，并無意用以限制本發(fā)明的范圍，以第三實(shí)施例的架構(gòu)為例(參閱圖8)，薄膜除了可設(shè)置于外孔上，亦可僅設(shè)置于觀視孔與氣孔其中之一，或薄膜亦可設(shè)置于觀視孔、氣孔與外孔其中之二，而可同樣具有雙邊封閉的效果，且具有與前揭實(shí)施例相同的功效以及相同的操作方式。
而前述諸多實(shí)施例中，該薄膜設(shè)置的位置僅為舉例說明之用，并非以靠近某一室(容室，氣室，緩沖室)的一端為限制，故其等效的變化，應(yīng)為本發(fā)明的申請(qǐng)專利范圍所涵蓋。
另外，前述諸實(shí)施例中，各該容室32內(nèi)可供置入活體細(xì)胞樣品99，活體細(xì)胞樣品99可固定于該容室32的內(nèi)壁面或內(nèi)側(cè)壁面，或是在第一實(shí)施例中把活體細(xì)胞樣品99固定于一該觀視孔13上設(shè)置的薄膜131。
由上可知，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于一、可提供一觀察樣品或活體細(xì)胞的環(huán)境本發(fā)明可于該容室中置入一般樣品或活體細(xì)胞，以配合供電子顯微鏡進(jìn)行觀測(cè)，解決了公知技術(shù)無法對(duì)活體細(xì)胞進(jìn)行觀測(cè)的問題。
二、不會(huì)損壞電子顯微鏡本發(fā)明在該容室內(nèi)注入液體或氣體時(shí)，可由該等薄膜的設(shè)置來避免該容室內(nèi)的蒸氣或液體逸出。故本技術(shù)不僅觀測(cè)上容易、清淅，且不會(huì)損壞電子顯微鏡。
本發(fā)明所描述的各組件，僅為舉例說明，并非用來限制本發(fā)明的范圍，本發(fā)明的范圍仍應(yīng)以申請(qǐng)專利范圍為準(zhǔn)，由本發(fā)明所衍生的其它的變化及轉(zhuǎn)用，亦應(yīng)為本申請(qǐng)的專利范圍所涵蓋。
權(quán)利要求
1.一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，包含有一殼體，內(nèi)部具有一容室，該殼體的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔連通于該容室且彼此相對(duì)同軸；各該觀視孔封設(shè)一薄膜。
2.依據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中各該觀視孔的孔徑介于5μm-500μm之間。
3.依據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中各該薄膜設(shè)于各該觀視孔靠近該容室的一端。
4.依據(jù)權(quán)利要求3所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中各該薄膜的至少一端面設(shè)有復(fù)數(shù)肋條。
5.依據(jù)權(quán)利要求4所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中該等肋條以平行或交叉或同心圓或輻射狀的方式布設(shè)于各該薄膜上。
6.依據(jù)權(quán)利要求3所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中各該薄膜與該殼體一體成型。
7.依據(jù)權(quán)利要求6所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中該等肋條與各該薄膜一體成型。
8.依據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中該殼體的一側(cè)設(shè)有一注入孔，另一側(cè)設(shè)有一流出孔。
9.一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，包含有一殼體，內(nèi)部具有至少一隔板將該殼體內(nèi)部分隔出一容室以及至少一氣室，該容室的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔設(shè)于該隔板，各該觀視孔連通于該容室；該氣室至少涵蓋住該等觀視孔，且該殼體的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖粴饪?，該等氣孔與該等觀視孔同軸；各該氣孔封設(shè)一薄膜；該殼體于該氣室的一側(cè)設(shè)有至少一氣壓平衡孔。
10.依據(jù)權(quán)利要求9所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中各該薄膜設(shè)于各該氣孔靠近于該氣室的一端。
11.依據(jù)權(quán)利要求9所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中該殼體于該容室的一側(cè)設(shè)有一注入孔，并于該容室的另一側(cè)設(shè)有一流出孔。
12.一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，包含有一殼體，內(nèi)部具有至少二隔板將該殼體內(nèi)部分隔出一容室以及至少一氣室以及至少一緩沖室，該容室的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔設(shè)于一該隔板，各該觀視孔連通于該容室；該氣室至少涵蓋住該等觀視孔，且該氣室的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖粴饪自O(shè)于另一該隔板；該緩沖室至少涵蓋住該等氣孔，且該殼體的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖煌饪祝摰韧饪着c該等氣孔與該等觀視孔同軸；各該外孔封設(shè)一薄膜；該殼體于該氣室的一側(cè)設(shè)有至少一注氣孔，以及于該緩沖室的一側(cè)設(shè)有至少一抽氣孔。
13.依據(jù)權(quán)利要求12所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中各該薄膜設(shè)于各該外孔靠近于該緩沖室的一端。
14.依據(jù)權(quán)利要求12所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，其特征在于，其中該殼體于該容室的一側(cè)設(shè)有一注入孔，并于該容室的另一側(cè)設(shè)有一流出孔。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)一種電子顯微鏡用的封閉式觀測(cè)環(huán)境，包含有一殼體，內(nèi)部具有一容室，該殼體的頂?shù)酌娓骶哂兄辽僖挥^視孔連通于該容室且彼此相對(duì)同軸；各該觀視孔封設(shè)一薄膜；由此，可于該容室內(nèi)置入一般樣品或活體細(xì)胞，以配合供電子顯微鏡進(jìn)行觀測(cè)。且可將液體或氣體封于該殼體內(nèi)，解決液體或氣體可能向外逸散的問題。
文檔編號(hào)H01J37/26GK1979748SQ20051013041
公開日2007年6月13日 申請(qǐng)日期2005年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月9日
發(fā)明者趙治宇, 謝文俊 申請(qǐng)人:李炳寰