電子顯微鏡用試樣支架的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的是提供一種能夠配置多個試樣臺且至少一個試樣臺能夠移動，并且能夠利用聚焦離子束裝置制作多個透射型電子顯微鏡用試樣的電子顯微鏡用試樣支架。在試樣支架(1)的前端部設(shè)有支架前端開口部(9)。并且，在試樣支架(1)的后端部具有按鈕(5)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)、粗調(diào)機(jī)構(gòu)(7)以及連接器(8)。通過按壓按鈕(5)而使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)的固定被解除，從而從旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)至后端部、以及試樣支架的前端部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。利用本旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，能夠使利用透射型電子顯微鏡進(jìn)行觀察的情況和利用聚焦離子束裝置制作透射型電子顯微鏡用試樣的情況的試樣的配置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。并且，能夠利用粗調(diào)機(jī)構(gòu)(7)及微調(diào)機(jī)構(gòu)使試樣臺移動。
【專利說明】電子顯微鏡用試樣支架

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及透射型電子顯微鏡用試樣支架，其能夠配置多個設(shè)有試樣的試樣臺， 至少一個試樣臺能夠沿三軸方向移動，并且能夠在聚焦離子束內(nèi)進(jìn)行多個TEM試樣加工。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著半導(dǎo)體裝置或磁裝置等的加工尺寸微細(xì)化且高集成化，到目前為止以上的裝 置特性的劣化和可靠性的降低成為重要的問題。近年來，在新工藝的開發(fā)和批量生產(chǎn)過程 中，為了對納米領(lǐng)域的半導(dǎo)體裝置的不良進(jìn)行分析，并從根本上查清不良原因并解決，不 僅是利用（掃描）透射型電子顯微鏡（（Scanning)Transmission Electron Microscopy: (S)TEM)的圖像觀察，而且利用電子衍射的晶體結(jié)構(gòu)分析、和使用電子能量損失分光 法（Electron Energy Loss Spectroscopy :EELS)、能量分散型 X 射線分光法（Energy Dispersive X-ray spectroscopy :EDX)等的光譜分析和二維元素分布分析成為必要的分 析方法。
[0003] 另外，在鋰離子電池的正極材料等的能量環(huán)境材料中，希望與以往相比顯著提高 材料特性。要提高材料特性，納米水平的結(jié)構(gòu)、化學(xué)鍵狀態(tài)的控制非常關(guān)鍵。因此，上述分 析技術(shù)的需求正在增加。
[0004] 在此，上述分析方法之中，對電子能量損失光譜的測定方法進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0005] 電子能量損失光譜大致分為：當(dāng)通過試樣時不損失能量的零損失光譜、激發(fā)價(jià)電 子帶的電子而損失能量從而得到的等離激元損失光譜、激發(fā)內(nèi)殼電子而損失能量從而得到 的內(nèi)殼電子激發(fā)損失光譜。在內(nèi)殼電子激發(fā)損失（芯部損失）光譜中，能夠觀察到吸收端 附近的微細(xì)結(jié)構(gòu)。
[0006] 該結(jié)構(gòu)被稱為吸收端微細(xì)結(jié)構(gòu)（Energy Loss Near-Edge Structure :ELNES)，具 有反映了試樣的電子狀態(tài)和化學(xué)鍵狀態(tài)的信息。并且，能量損失值（吸收端位置）是元素 固有的，因此能夠進(jìn)行定性分析。另外，根據(jù)被稱為化學(xué)位移的吸收端位置的位移還能獲得 與所關(guān)注的元素的周邊的配位相關(guān)的信息，因此還能夠進(jìn)行簡單的狀態(tài)分析。
[0007] 以往，在獲取試樣上的不同部位上的電子能量損失光譜的情況下，通過組合使收 縮至較小的電子射線利用掃描線圈在試樣上進(jìn)行掃描的掃描透射型電子顯微鏡、與能夠利 用電子射線所具有的能量進(jìn)行分光的電子分光器，對投射了試樣的電子射線進(jìn)行分光，從 而連續(xù)地獲得電子能量損失光譜。
[0008] 然而，在使用該方法的情況下，由于隨著裝置周邊的干擾變化所引起的電子射線 的加速電壓的漂移和磁場、電場的變化，電子能量損失光譜的像差和原點(diǎn)位置發(fā)生變化，因 此難以對各測定位置上的電子能量損失光譜的吸收端微細(xì)結(jié)構(gòu)的形狀和極小的化學(xué)位移 進(jìn)行比較。
[0009] 于是，例如在專利文獻(xiàn)1中，記載了如下內(nèi)容，在通常的透射型電子顯微鏡中獲得 使X軸、Y軸雙方的焦點(diǎn)位置處于同一面的透射型電子顯微鏡圖像，相對于此，通過在上述 的透射型電子顯微鏡具備電子分光器，并且使X軸與Y軸上的焦點(diǎn)位置不同，從而利用圖像 檢測器獲取X軸的焦點(diǎn)位置處于光譜面、且一方的Y軸的焦點(diǎn)位置處于圖像面的二維畫像。
[0010] 其結(jié)果，能夠?qū)υ嚇釉讦摧S方向上的電子能量損失光譜進(jìn)行分離而進(jìn)行觀察。艮Ρ， 利用圖像檢測器獲得的圖像如圖2(b)所示，能夠觀察到X軸為能量損失量即能量分散軸、 且Y軸具有試樣的位置信息的光譜圖像。光譜圖像與圖2(a)所示的透射型電子顯微鏡圖 像的各層疊膜相對應(yīng)，并觀察到帶狀。并且，若從圖2(a)中，在與各層疊膜相對應(yīng)的各部位 抽出光譜圖像的強(qiáng)度曲線，則如圖2(c)所示，能夠同時觀察到試樣的不同位置上的電子能 量損失光譜，能夠?qū)Σ煌恢蒙系碾娮幽芰繐p失光譜的吸收端微細(xì)結(jié)構(gòu)和極小的化學(xué)位移 進(jìn)行詳細(xì)比較。
[0011] 專利文獻(xiàn)1所記載的X軸為能量損失量、Y軸具有試樣的位置信息的光譜圖像，是 變更電子分光器等的透鏡作用、且使X軸與Y軸的焦點(diǎn)位置不同、并利用圖像檢測器獲得的 二維畫像，即，能夠同時觀察試樣的不同位置上的多個點(diǎn)的電子能量損失光譜。在本技術(shù)中 公開了如下技術(shù)內(nèi)容，從一個試樣中的不同的多個點(diǎn)獲取光譜圖像即電子能量損失光譜， 用于討論由化學(xué)鍵狀態(tài)的不同所引起的化學(xué)位移。
[0012] 另外，在專利文獻(xiàn)2中公開了如下透射型電子顯微鏡用試樣支架，其能夠從多個 試樣同時獲取光譜圖像，并且測定電子能量損失光譜及化學(xué)位移。
[0013] 專利文獻(xiàn)2所公開的透射型電子顯微鏡用試樣支架，具有能夠配置多個試樣臺的 試樣放置臺。并且，至少一個試樣放置臺能夠利用驅(qū)動機(jī)構(gòu)進(jìn)行移動，能夠使多個試樣臺接 近。
[0014] 利用上述的專利文獻(xiàn)2所公開的透射型電子顯微鏡用試樣支架，能夠從多個試樣 同時獲取光譜圖像，并且能夠測定電子能量損失光譜及化學(xué)位移。
[0015] 在上述的技術(shù)中，能夠從多個試樣同時獲取光譜圖像。但是，在上述技術(shù)的支架 中，雖然在試樣前端部設(shè)有用于使電子射線通過的開口部，但是在用于TEM試樣的制作等 中的聚焦離子束裝置（Focused Ion Beam :FIB)的裝置內(nèi)未設(shè)置用于使離子束照射試樣的 開口部，無法使用上述技術(shù)的支架在FIB內(nèi)制作TEM用的薄片試樣。因此，需要在使用其他 的試樣支架在FIB內(nèi)制作TEM試樣之后，重新設(shè)置在上述試樣支架上。
[0016] 在專利文獻(xiàn)3中公開了利用FIB的TEM試樣制作以及能夠進(jìn)行TEM觀察的試樣支 架。
[0017] 上述的公開技術(shù)雖然能夠利用相同的試樣支架進(jìn)行利用FIB的試樣制作以及TEM 觀察，但是試樣臺只能設(shè)置一個，并且上述試樣臺不能移動，因此難以從設(shè)置在多個試樣臺 上的試樣同時獲取EELS。
[0018] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0019] 專利文獻(xiàn)
[0020] 專利文獻(xiàn)1:日本特開平10 - 302700號公報(bào)
[0021] 專利文獻(xiàn)2:日本特開2010 - 009943號公報(bào)
[0022] 專利文獻(xiàn)3:日本特開平6 - 103947號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0023] 發(fā)明要解決的問題
[0024] 本發(fā)明的目的是提供一種如下試樣支架及試樣臺，在電子顯微鏡用試樣支架中能 夠配置多個試樣臺，至少一個試樣臺能夠移動，并且能夠在聚焦離子束裝置內(nèi)進(jìn)行多個TEM 試樣加工，能夠以高空間分辨率從配置在試樣支架內(nèi)的所有試樣獲取透射型電子顯微鏡圖 像、電子衍射圖像、光譜圖像、掃描透射型電子顯微鏡圖像等。
[0025] 用于解決問題的手段
[0026] S卩，本發(fā)明的一個方式的電子顯微鏡用試樣支架能夠配置多個試樣臺，并且具備： 使試樣臺移動的試樣驅(qū)動部；使試樣臺進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部；以及位于試樣支架前端部 的開口部。
[0027] 發(fā)明的效果
[0028] 根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崿F(xiàn)如下試樣支架及試樣臺，其配置多個試樣臺，且至少一個試 樣臺能夠移動，并且能夠聚焦離子束裝置內(nèi)進(jìn)行多個透射型電子顯微鏡用的試樣加工，能 夠以高空間分辨率從配置在試樣支架內(nèi)的所有試樣獲取透射型電子顯微鏡圖像、電子衍射 圖像、光譜圖像、掃描透射型電子顯微鏡圖像等。
[0029] 并且，由于是能夠并用于透射型電子顯微鏡和聚焦離子束裝置的試樣支架，因此 在設(shè)置試樣時能夠設(shè)定大致的試樣位置，現(xiàn)有技術(shù)中所需的沿三軸方向的粗調(diào)機(jī)構(gòu)能夠僅 在一軸方向上驅(qū)動，能夠?qū)崿F(xiàn)試樣支架后端部的輕量化，還能夠減輕試樣漂移。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0030] 圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的試樣支架，是用透射型電子顯微鏡觀察試樣時的概略俯 視圖（a)及側(cè)視圖（b)。
[0031] 圖2是由透射型電子顯微鏡獲得的透射型電子顯微鏡圖像、光譜圖像以及電子能 量損失光譜的說明圖。
[0032] 圖3是本發(fā)明的實(shí)施例的試樣支架，是用聚焦離子束裝置加工試樣時的概略俯視 圖（a)及側(cè)視圖（b)。
[0033] 圖4是對本發(fā)明的實(shí)施例的試樣支架的前端部進(jìn)行了放大的概略俯視圖（a)及沿 著（a)所示的A - A'線的概略剖視圖（b)。
[0034] 圖5是表示在本發(fā)明中用于設(shè)置試樣的試樣臺的一例的說明圖。
[0035] 圖6是表示在本發(fā)明中用于設(shè)置試樣的試樣臺的一例的說明圖。
[0036] 圖7是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用聚焦離子束裝置制作透射型電子 顯微鏡用的觀察試樣時的一例的說明圖。
[0037] 圖8是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子顯 微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖。
[0038] 圖9是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子顯 微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖。
[0039] 圖10是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖。
[0040] 圖11是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖。
[0041] 圖12是表示在本發(fā)明中使用圖6的試樣臺并利用聚焦離子束裝置制作透射型電 子顯微鏡用的觀察試樣時的一例的說明圖。
[0042] 圖13是表示在本發(fā)明中使用圖6的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖。
[0043] 圖14是表示在本發(fā)明中使用圖6的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖。
[0044] 圖15是應(yīng)用了本發(fā)明的一個實(shí)施例的透射型電子顯微鏡的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0045] 圖16是使用本發(fā)明的試樣支架并在聚焦離子束裝置內(nèi)將試樣片固定在試樣臺上 之后所獲取的掃描離子顯微鏡圖像。
[0046] 圖17是使多個測定試樣接近之后所獲取的透射型電子顯微鏡圖像。
[0047] 圖18是從多個試樣獲取的電子能量損失光譜。

【具體實(shí)施方式】
[0048] 以下，基于附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，在用于說明實(shí)施方式的所有附 圖中，原則上對相同的部件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其重復(fù)的說明。
[0049] 圖15是示意性地表示作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的透射型電子顯微鏡裝置的結(jié) 構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。另外，透射型電子顯微鏡裝置101具有電子分光器108。
[0050] 本實(shí)施方式的透射型電子顯微鏡裝置101具有用于發(fā)射電子射線103的電子源 102、聚焦透鏡104、物鏡106、成像透鏡系統(tǒng)107 (成像透鏡）、熒光屏109、電子分光器108、 圖像顯示裝置114、數(shù)據(jù)存儲裝置115、以及中央控制裝置116。在聚焦透鏡104與物鏡106 之間，配置有具備多個試樣臺13、14的透射型電子顯微鏡用試樣支架（以下、稱之為試樣支 架）1。在試樣臺13、14上固定有試樣。
[0051] 電子分光器108具有磁場區(qū)段110、多極透鏡111、112、以及圖像檢測器113。
[0052] 另外，關(guān)于透射型電子顯微鏡裝置101的結(jié)構(gòu)、電子分光器108的結(jié)構(gòu)，并不局限 于此。并且，配置電子分光器108的位置也不做特別限定。在本實(shí)施方式中，雖然在熒光屏 109與圖像顯示裝置114之間配置了電子分光器108,但是電子分光器108也可以配置在成 像透鏡系統(tǒng)107之間。
[0053] 在該透射型電子顯微鏡裝置101中，從電子源102發(fā)射的電子射線103通過聚焦 透鏡104,并照射到固定在試樣臺13、14上的試樣上。透射了試樣的電子射線103通過物鏡 106和由多個構(gòu)成的成像透鏡系統(tǒng)107,在打開熒光屏109的情況下，電子射線103直接進(jìn) 入到電子分光器108。
[0054] 進(jìn)入到電子分光器108內(nèi)的電子射線103,通過電子分光器108內(nèi)的用于降低電子 能量損失光譜的像差等的多極透鏡111、112和能夠利用電子射線103所具有的能量進(jìn)行分 光的磁場區(qū)段110之后，作為透射型電子顯微鏡圖像、二維元素分布圖像、光譜圖像等，利 用圖像檢測器113進(jìn)行拍攝之后，顯示在圖像顯示裝置114上，并存儲在數(shù)據(jù)存儲裝置115 中。并且，磁場區(qū)段110和多極透鏡111U12由中央控制裝置116進(jìn)行控制。另外，在中央 控制裝置116中，能夠控制透射型電子顯微鏡圖像、二維元素分布圖像、光譜圖像的獲取模 式的切換。
[0055] 圖像檢測器113還能夠配置在熒光屏109的正下方，能夠在進(jìn)入電子分光器108 之前獲取透射型電子顯微鏡圖像和電子衍射圖像。在想要使電子射線103通過電子分光器 108時，還能夠?qū)D像檢測器113從電子射線103的通路中拔出。
[0056] 在獲取光譜圖像時，為了限制想要獲取光譜的地方，有時還插入視場限制狹縫 117,該視場限制狹縫117在X軸方向即與能量分散軸相同的方向上較短，且在Y軸方向即 試樣測定位置方向上較長。
[0057] 試樣支架1整體能夠利用試樣支架移動裝置118在透射型電子顯微鏡101內(nèi)移 動。并且，在試樣支架1上具有能夠使試樣臺在大范圍內(nèi)移動的粗調(diào)機(jī)構(gòu)7、以及用于調(diào)整 位置以使試樣臺切實(shí)地接近所需位置的微調(diào)機(jī)構(gòu)119,微調(diào)機(jī)構(gòu)119能夠利用試樣移動裝 置120使試樣臺移動。
[0058] 在圖15中，假設(shè)記載了試樣支架1的粗調(diào)機(jī)構(gòu)7通過手動來使驅(qū)動用試樣放置臺 移動，但也能夠與微調(diào)機(jī)構(gòu)119同樣地利用試樣移動裝置120進(jìn)行移動。
[0059] 試樣臺13、14中至少一方能夠利用粗調(diào)機(jī)構(gòu)7和微調(diào)機(jī)構(gòu)119沿著試樣支架1的 長軸方向移動，并且能夠隨時移動以同時獲取固定在試樣臺13、14上的試樣的電子能量損 失光譜。固定在試樣臺13、14上的試樣，能夠利用熒光屏9或圖像顯示裝置14等進(jìn)行確認(rèn) 的同時進(jìn)行配置。
[0060] 圖1是圖15所示的試樣支架1，是用透射型電子顯微鏡觀察試樣時的概略俯視圖 (a)及側(cè)視圖（b)。
[0061] 在試樣支架1的前端部，設(shè)有支架前端開口部9。并且，在試樣支架1的中央，設(shè)有 導(dǎo)向銷2、導(dǎo)向罩3以及導(dǎo)向銷孔4。導(dǎo)向銷2能夠根據(jù)透射型電子顯微鏡101的框體的大 小來進(jìn)行改變。例如，在加速電壓為200kV時，保持現(xiàn)狀的導(dǎo)向銷位置，在加速電壓為300kV 時，導(dǎo)向銷孔4也能變更為導(dǎo)向銷2。并且，當(dāng)變更導(dǎo)向銷2的位置時，使導(dǎo)向罩3也同時滑 動從而使導(dǎo)向銷2的固定變得牢固。
[0062] 在試樣支架1的后端部，具有按鈕5、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6、粗調(diào)機(jī)構(gòu)7以及連接器8。通過 按壓按鈕5而使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6的固定被解除，從旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6到后端部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并且試樣支架 的前端部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。試樣支架1為兩層結(jié)構(gòu)，粗調(diào)機(jī)構(gòu)7與試樣支架的前端部連接，隨著旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6的旋轉(zhuǎn)，粗調(diào)機(jī)構(gòu)7以及與粗調(diào)機(jī)構(gòu)7連接的試樣支架的前端部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。利用 本旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，能夠使由透射型電子顯微鏡觀察時和由聚焦離子束裝置制作透射型電子顯微 鏡用試樣時的試樣的配置發(fā)生旋轉(zhuǎn)。
[0063] 粗調(diào)機(jī)構(gòu)7配合在試樣支架1的末端部，并且能夠沿試樣支架1的長軸方向移動。 在本發(fā)明中使用了測微頭，但根據(jù)粗調(diào)機(jī)構(gòu)7的試樣放置臺的移動方法不限于此。
[0064] 微調(diào)機(jī)構(gòu)119配置在試樣支架1的內(nèi)部，連接器8用于連接用于使微調(diào)機(jī)構(gòu)119 進(jìn)行動作的電纜與試樣微調(diào)控制裝置120。在本發(fā)明中，在微調(diào)機(jī)構(gòu)119的動作中選擇了有 線形式的連接方法，但也可以利用無線形式來使微調(diào)機(jī)構(gòu)119進(jìn)行動作。并且，優(yōu)選連接器 8相對于電子射線103的入射方向配置在下部側(cè)。另外，隨著旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6的旋轉(zhuǎn)，配置在粗 調(diào)機(jī)構(gòu)7與試樣支架的前端部之間的微調(diào)機(jī)構(gòu)119也進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0065] 圖3是圖15所示的試樣支架1，是用聚焦離子束裝置加工透射型電子顯微鏡用的 試樣時的概略俯視圖（a)及側(cè)視圖（b)。
[0066] 在圖3中，當(dāng)用聚焦離子束裝置加工透射型電子顯微鏡用的試樣時，與圖1的用透 射型電子顯微鏡101進(jìn)行觀察時的前端部相比，支架前端開口部9配置在正交的位置上。在 本發(fā)明中，假設(shè)了電子射線的入射方向與離子束的入射方向正交的情況，但試樣支架1的 前端部的旋轉(zhuǎn)不限于此。
[0067] 圖4是對本發(fā)明的實(shí)施例的試樣支架的前端部進(jìn)行了放大的概略俯視圖（a)及沿 著（a)所示的A - A'線的概略剖視圖（b)。
[0068] 在圖4中，如上所述在試樣支架1的前端部設(shè)有支架前端開口部9。并且，試樣放 置臺18是用于設(shè)置試樣臺13的放置臺，并配置在試樣支架1內(nèi)。試樣臺13經(jīng)由試樣臺壓 板11并利用壓緊螺釘12而固定在試樣放置臺18上。
[0069] 另一方面，試樣臺14固定在驅(qū)動用試樣放置臺15上。固定方法為如上所述，經(jīng)由 試樣臺壓板17并利用壓緊螺釘16而固定在驅(qū)動用試樣放置臺15上。另外，各個試樣臺對 試樣放置臺的固定方法不限于此，例如也能考慮利用壓緊彈簧的固定或粘接帶固定。
[0070] 另外，驅(qū)動用試樣放置臺15配置在試樣臺驅(qū)動用桿21的前端部側(cè)，因此能夠利用 粗調(diào)機(jī)構(gòu)7和微調(diào)機(jī)構(gòu)119使試樣臺14沿X、Y、Z這三軸方向獨(dú)立地移動。在本實(shí)施例中， 粗調(diào)機(jī)構(gòu)7僅在試樣支架1的長軸方向上移動，而微調(diào)機(jī)構(gòu)119能夠沿三軸方向移動。另 夕卜，在試樣支架1內(nèi)配置兩個試樣臺，并且對其中的一個試樣臺的移動方法進(jìn)行了說明，但 配置在試樣支架1上的試樣臺以及進(jìn)行移動的試樣臺即使是兩個以上也沒有特別問題。
[0071] 而且，在試樣放置臺18及驅(qū)動用試樣放置臺15中，設(shè)有高度調(diào)整螺釘19、20。在 設(shè)置于試樣放置臺18及驅(qū)動用試樣放置臺15上的試樣臺13、14的高度不在微調(diào)機(jī)構(gòu)119 的動作范圍內(nèi)的情況下，能夠利用高度調(diào)整螺釘19、20獨(dú)立地調(diào)整試樣臺13、14的高度。利 用該高度調(diào)整螺釘19、20,粗調(diào)機(jī)構(gòu)7能夠僅在長軸方向上進(jìn)行驅(qū)動，并且使微調(diào)機(jī)構(gòu)119 進(jìn)行三軸方向的驅(qū)動就足以。若使粗調(diào)機(jī)構(gòu)7自身進(jìn)行三軸方向的驅(qū)動，則驅(qū)動機(jī)構(gòu)自身 變大，在側(cè)面進(jìn)入方式的投射電子顯微鏡中，容易受到振動的影響。并且，用粗調(diào)機(jī)構(gòu)7自 身很難進(jìn)行三軸方向的調(diào)整，因此如本實(shí)施例那樣，僅在試樣支架1的長軸方向上進(jìn)行驅(qū) 動，并且微調(diào)機(jī)構(gòu)119能夠沿三軸方向移動，這樣更容易進(jìn)行調(diào)整。
[0072] 圖5是表示在本發(fā)明中用于設(shè)置試樣的試樣臺的一例的說明圖。在試樣臺13中， 設(shè)有用于使壓緊螺釘12、16通過的壓緊螺釘用開口部31，該壓緊螺釘12、16在固定于試樣 放置臺18、驅(qū)動用試樣放置臺15上時使用。并且，還設(shè)有用于固定在聚焦離子束裝置內(nèi)抽 出的試樣片的試樣固定部位32、33、34。在聚焦離子束裝置內(nèi)抽出的試樣片，根據(jù)后述的電 子能量損失光譜的測定方法固定在哪個部位都沒問題。并且，還能夠在所有的部位同時固 定試樣片。
[0073] 圖6是表示在本發(fā)明中用于設(shè)置試樣的試樣臺的其他一例的說明圖。與圖5的說 明同樣，設(shè)有用于使在固定在試樣放置臺12、18時使用的壓緊螺釘12、16的壓緊螺釘用開 口部31。并且，在聚焦離子束裝置內(nèi)抽出的試樣片固定在試樣固定部位32上。
[0074] 如上所述，表示了用于固定試樣的試樣臺的一例，但試樣臺的形狀不限于此，例如 在將試樣臺固定于試樣放置臺上時不使用壓緊螺釘而進(jìn)行固定的情況下，不需要壓緊螺釘 用開口部32。在本實(shí)施例的試樣臺中，由于試樣安裝位置位于試樣臺的中心附近，因此具有 即使改變試樣臺的朝向，試樣位置也不改變的優(yōu)點(diǎn)。
[0075] 圖7是表示使用圖5的試樣臺并利用聚焦離子束裝置制作透射型電子顯微鏡用的 觀察試樣時的一例的說明圖。圖7(a)是相對于離子束的入射方向從垂直方向投影的圖， 圖7(b)是相對于離子束的入射方向從平行方向投影的圖，是在試樣支架1上設(shè)置了試樣臺 41、42之后，在聚焦離子束裝置內(nèi)將試樣片48、49固定在試樣固定部位34上時的說明圖。
[0076] 試樣片48、49向試樣臺41、42的固定可以從任何一側(cè)進(jìn)行，在一側(cè)固定試樣片之 后，能夠固定另一方的試樣片，因此能夠事先高精度地設(shè)定兩個試樣之間的配置。
[0077] 固定在試樣臺41、42上的試樣片48、49,從堆積有碳、鎢、鋁、鉬、金等的保護(hù)膜側(cè) 入射離子束，并進(jìn)行薄片化直至達(dá)到能夠進(jìn)行透射型電子顯微鏡的觀察和電子能量損失光 譜的測定的試樣厚度。當(dāng)對試樣片48、49進(jìn)行薄片化時，利用試樣支架1的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6將 設(shè)置于試樣支架1的前端部上的試樣支架先端開口部9配置在離子束的入射方向側(cè)。艮P， 當(dāng)進(jìn)行薄片化時所觀察到的離子束圖像為圖7(b)，觀察到試樣臺41、42的截面方向。
[0078] 在聚焦離子束裝置內(nèi)，存在利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6使試樣支架1的前端部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的程 度的足夠的空間的情況下，還能夠拍攝如圖7(a)的配置的離子束圖像。
[0079] 圖8是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子顯 微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖，在利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6使試樣支架1的前端部進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)而設(shè)定成能夠用透射型電子顯微鏡進(jìn)行觀察之后，插入到透射型電子顯微鏡內(nèi)。
[0080] 在透射型電子顯微鏡內(nèi)也確保了足夠的空間時，還能夠利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6在透射型 電子顯微鏡內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0081] 表示出試樣臺41固定在試樣放置臺18上、且試樣臺42固定在驅(qū)動用試樣放置臺 15上的情況，通過利用粗調(diào)機(jī)構(gòu)7和微調(diào)機(jī)構(gòu)119使試樣臺42移動，能夠使試樣片48、49 之間的距離接近。試樣片48、49中如上所述由保護(hù)膜43、44及測定試樣45、46構(gòu)成。
[0082] 在試樣支架1的長軸方向與電子分光器108的能量分散軸正交而投影到熒光屏 109的情況下，在使試樣片48、49的側(cè)面彼此接近之后，利用視場限制狹縫117限制光譜的 獲取區(qū)域47,能夠從測定試樣45、46同時獲取電子能量損失光譜。
[0083] 圖9是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖，表不試樣支架1的長軸方向與電子分光器 108的能量分散軸平行地投影到熒光屏109時的試樣片48、49的配置。
[0084] 與圖8同樣，在使試樣片48、49接近之后，利用視場限制狹縫117限制光譜的測定 區(qū)域47而能獲取電子能量損失光譜。
[0085] 圖10是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的其他說明圖，表示試樣支架1的長軸方向與電子分 光器108的能量分散軸平行地投影到熒光屏109時的試樣片48、49的配置。
[0086] 在圖9的情況下，雖然不拆卸試樣臺41或試樣臺42就能夠使試樣片48、49接近， 但是測定試樣46測定從保護(hù)膜44分離的部位，因此有時試樣膜厚度并不非常薄以致于無 法測定電子能量損失光譜。
[0087] 在上述的情況下，如圖10所示，在利用聚焦離子束裝置制作透射型電子顯微鏡用 試樣之后，例如僅使試樣臺42反轉(zhuǎn)而配置成保護(hù)膜43、44彼此非常接近，對于測定試樣45、 46都能夠使非常薄至能夠測定電子能量損失光譜的部位接近。
[0088] 圖11是表示在本發(fā)明中使用圖5的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的其他說明圖，表示試樣支架1的長軸方向與電子分 光器108的能量分散軸平行地投影到熒光屏109時的試樣片48、49的配置。
[0089] 如上所述，在圖9、圖10中，將試樣片48、49的側(cè)面固定在試樣臺41、42上，而在想 要使試樣片的固定變得牢固的情況下，也可以在試樣固定部位33上固定試樣片，并在使試 樣臺的一方反轉(zhuǎn)之后，使試樣片48、49接近。
[0090] 在使用圖5的試樣臺的情況下，即使在將試樣片固定于試樣固定部位32上時，當(dāng) 然也能夠同樣使兩個試樣之間接近，而獲取電子能量損失光譜。
[0091] 圖12是表示在本發(fā)明中使用圖6的試樣臺并利用聚焦離子束裝置制作透射型電 子顯微鏡用的觀察試樣時的一例的說明圖。圖12(a)是相對于離子束的入射方向從垂直方 向投影的圖，圖12(b)是相對于離子束的入射方向從平行方向投影的圖，是在試樣支架1上 設(shè)置試樣臺41、42之后，在聚焦離子束裝置內(nèi)將試樣片48、49固定在試樣固定部位34上時 的說明圖。
[0092] 即使在使用了圖6的試樣臺的情況下，試樣片48、49向試樣臺41、42的固定也可 以從任何一側(cè)進(jìn)行，能夠在一側(cè)固定試樣片之后，固定另一方的試樣片，因此能夠事先高精 度地設(shè)定兩個試樣之間的配置。
[0093] 與圖7同樣，固定在試樣臺41、42上的試樣片48、49,從堆積有碳、鎢、鋁、鉬、金等 的保護(hù)膜側(cè)入射離子束，并進(jìn)行薄片化至達(dá)到能夠進(jìn)行透射型電子顯微鏡的觀察和電子能 量損失光譜的測定的試樣厚度。當(dāng)對試樣片48、49進(jìn)行薄片化時，利用試樣支架1的旋轉(zhuǎn) 機(jī)構(gòu)6將設(shè)置于試樣支架1的前端部上的試樣支架先端開口部9配置在離子束的入射方向 偵k即，當(dāng)進(jìn)行薄片化時所觀察到的離子束圖像為圖12(b)，觀察到試樣臺41、42的截面方 向。
[0094] 圖13是表示在本發(fā)明中使用圖6的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的說明圖，在利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6使試樣支架1的前端部 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而設(shè)定成能夠用透射型電子顯微鏡進(jìn)行觀察之后，插入到透射型電子顯微鏡內(nèi)。
[0095] 表示出試樣臺41固定在試樣放置臺18上、且試樣臺42固定在驅(qū)動用試樣放置臺 15上的情況，通過利用粗調(diào)機(jī)構(gòu)7和微調(diào)機(jī)構(gòu)119使試樣臺42進(jìn)行驅(qū)動，能夠使試樣片48、 49之間的距離接近。試樣片48、49中如上所述由保護(hù)膜43、44及測定試樣45、46構(gòu)成。
[0096] 在試樣支架1的長軸方向與電子分光器108的能量分散軸正交而投影到熒光屏 109的情況下，在使試樣片48、49的側(cè)面彼此接近之后，利用視場限制狹縫117限制光譜的 獲取區(qū)域47,能夠從測定試樣45、46同時獲取電子能量損失光譜。
[0097] 圖14是表示在本發(fā)明中使用圖6的試樣臺并利用具有電子分光器的透射型電子 顯微鏡獲取光譜圖像時的試樣的配置的其他說明圖，表示在試樣支架1的長軸方向與電子 分光器108的能量分散軸平行地投影到熒光屏109時的試樣片48、49的配置。
[0098] 與圖13同樣，在使試樣片48、49接近之后，利用視場限制狹縫117限制光譜的測 定區(qū)域47,從而能夠獲取電子能量損失光譜。
[0099] 接著，表不上述實(shí)施方式的具體例。表不使用上述試樣支架1同時獲取多個試樣 的光譜圖像的具體例。在本具體例中，使用透射型電子顯微鏡101進(jìn)行實(shí)施，由兩個試樣同 時獲取光譜圖像，并測定了由光譜圖像獲得的電子能量損失光譜的化學(xué)位移。測定試樣設(shè) 為三氧化二錳（Mn203)粒子（測定試樣A)和氧化錳（MnO)粒子（測定試樣B)。測定試樣 在將各粉末粒子埋入樹脂中后，在聚焦離子束裝置內(nèi)分別固定在試樣臺上。
[0100] 固定有包含測定試樣A45的試樣片48的試樣臺41設(shè)置在試樣支架前端部側(cè)即試 樣放置臺18上，固定有包含測定試樣B46的試樣片49的試樣臺42設(shè)置在與試樣驅(qū)動用桿 21連接的驅(qū)動用試樣放置臺15上。
[0101] 圖16是使用本發(fā)明的試樣支架1、并在聚焦離子束裝置內(nèi)在設(shè)置于驅(qū)動用試樣放 置臺15上的試樣臺42上固定試樣片49之后所獲取的掃描離子顯微鏡圖像。從試樣臺的 截面方向進(jìn)行了觀察。從圖16可知，使用試樣支架1，能夠在聚焦離子束裝置內(nèi)進(jìn)行試樣片 的固定、薄片化。
[0102] 如上所述，在將試樣片固定在試樣臺上并進(jìn)行薄片化之后，將試樣支架1的前端 部設(shè)定在透射型電子顯微鏡的觀察用的試樣位置上，并且在從聚焦離子束裝置拉出之后， 插入到透射型電子顯微鏡而獲取了光譜圖像。
[0103] 獲取光譜圖像時的透射型電子顯微鏡101的加速電壓設(shè)為200kV，電子射線3的 進(jìn)入角設(shè)為6mrad，能量分散設(shè)為0. 05eV/像素。用于獲取光譜圖像的圖像檢測器113是 1024像素 X 1024像素的二維檢測器。
[0104] 首先，將透射型電子顯微鏡101的觀察倍率設(shè)為200倍，使用粗調(diào)機(jī)構(gòu)7使測定試 樣B46進(jìn)行移動而使其盡量接近測定試樣A45。關(guān)于兩者的位置，使用熒光屏109上的圖像 進(jìn)行確認(rèn)，并進(jìn)行移動以使兩者的試樣盡量配置在熒光屏109的中心部。
[0105] 然后，透射型電子顯微鏡1中的顯示上的觀察倍率變更為10000倍，使測定試樣 B46移動以使測定試樣A45和測定試樣B46相對于電子分光器8的能量分散軸相互正交之 后，利用試樣移動控制裝置120使測定試樣B46進(jìn)一步接近以能夠同時獲取測定試樣A45 和測定試樣B46的光譜圖像。此時，兩者的位置的確認(rèn)，使用由圖像檢測器113獲得的透射 型電子顯微鏡圖像對兩者的位置進(jìn)行了確認(rèn)。
[0106] 圖17是使測定試樣A45和測定試樣B46接近之后所獲取的透射型電子顯微鏡圖 像。在圖17中，測定試樣A45和測定試樣B46以大約20nm的間隔接近。并且可知，兩個試 樣位于光譜的獲取區(qū)域47內(nèi)，能夠從兩者的試樣同時獲取光譜圖像。另外，從圖17中的透 射型電子顯微鏡圖像中各試樣很清晰，因此意味著是能夠足以觀察透射型電子顯微鏡圖像 的試樣漂移。
[0107] 然后，將觀察倍率設(shè)為50000倍，同時獲取了測定試樣A45和測定試樣B46的光譜 圖像。光譜圖像是在錳的L殼吸收端區(qū)域獲取的，在從錳的L殼吸收端區(qū)域獲得的光譜圖 像中，從各試樣抽出了電子能量損失光譜。
[0108] 圖18是從兩個試樣獲取的電子能量損失光譜。對兩者的試樣之間的化學(xué)位移進(jìn) 行了測量，其結(jié)果可知，與氧化錳相比，三氧化二錳更向大約1.6eV高損失能量側(cè)位移。
[0109] 以往，在利用聚焦離子束裝置的透射型電子顯微鏡用試樣加工中，需要將用其他 試樣支架制作的試樣重新安裝在至少一個試樣臺能夠移動的試樣支架上，從試樣制作直至 進(jìn)行透射型電子顯微鏡觀察、電子能量損失光譜的側(cè)面的作業(yè)效率較差。
[0110] 但是，根據(jù)本技術(shù)，從透射型電子顯微鏡用的試樣制作直到進(jìn)行觀察利用一個試 樣支架即可。如此根據(jù)本發(fā)明，在制作多個試樣的透射型電子顯微鏡用試樣時，能夠以高空 間分辨率同時獲取電子能量損失光譜，因此到此為止測定較復(fù)雜的試樣制作變得簡單，因 此能夠擴(kuò)大對試樣的化學(xué)位移的測定范圍。
[0111] 在本實(shí)施例中，對將本試樣支架應(yīng)用于測定電子能量損失光譜的內(nèi)容進(jìn)行了說 明，但本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式，例如能夠應(yīng)用于電子衍射、測定長度、以及具有球面 像差修正功能的（掃描）透射型電子顯微鏡的像差修正等。
[0112] 在本實(shí)施例中，對于試樣支架1的應(yīng)用，只記載了電子能量損失光譜的測定，但也 能夠應(yīng)用為用于準(zhǔn)確測定標(biāo)準(zhǔn)試樣和測定試樣的信息的單元。
[0113] 另外，如果在試樣支架1的前端部安裝0形圈或前端部罩，則不暴露在大氣中而能 夠從聚焦離子束裝置移動到透射型電子顯微鏡。
[0114] 而且，在驅(qū)動用試樣放置臺上不設(shè)置試樣臺，而是設(shè)置將前端尖銳的鎢絲等，使其 與設(shè)置在試樣放置臺上的試樣接觸，從而還能夠進(jìn)行電壓施加測定。并且，通過調(diào)整鎢絲的 壓入方式，還能夠測定試樣的力學(xué)特性。關(guān)于試樣臺、鎢絲的配置不限于此。
[0115] 另外，在對聚焦離子束裝置和透射型電子顯微鏡或掃描型電子顯微鏡進(jìn)行了組合 的裝置的情況下，從設(shè)有多個試樣臺的試樣支架1的支架前端開口部9入射離子束而對固 定在多個試樣臺上的試樣進(jìn)行薄片化的同時，能夠獲得投射圖像和元素分析結(jié)果。
[0116] 以上，基于實(shí)施方式具體說明了由本發(fā)明人做出的發(fā)明，但本發(fā)明并不局限于上 述實(shí)施方式，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)當(dāng)然能夠進(jìn)行各種變更。
[0117] 附圖標(biāo)記說明
[0118] 1 試樣支架
[0119] 2 導(dǎo)向銷
[0120] 3 導(dǎo)向罩
[0121] 4 導(dǎo)向銷孔
[0122] 5 按鈕
[0123] 6 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
[0124] 7 粗調(diào)機(jī)構(gòu)
[0125] 8 連接器
[0126] 9 支架前端開口部
[0127] 11、17 試樣臺壓板
[0128] 12、16 壓緊螺釘
[0129] 13、14,41，42 試樣臺
[0130] 15 驅(qū)動用試樣放置臺
[0131] 18 試樣放置臺
[0132] 19,20 高度調(diào)整螺釘
[0133] 21 試樣臺驅(qū)動用桿
[0134] 31 壓緊螺釘用開口部
[0135] 32、33、34 試樣固定部位
[0136] 43、44 保護(hù)膜
[0137] 45、46 測定試樣
[0138] 47 光譜的獲取區(qū)域
[0139] 48、49 試樣片
[0140] 101 透射型電子顯微鏡
[0141] 102 電子源
[0142] 103 電子射線
[0143] 104 聚焦透鏡
[0144] 106 物鏡
[0145] 107 成像透鏡系統(tǒng)
[0146] 108 電子分光器
[0147] 109 熒光屏
[0148] 110 磁場區(qū)段
[0149] 111、112 多極透鏡
[0150] 113 圖像檢測器
[0151] 114 圖像顯示裝置
[0152] 115 數(shù)據(jù)存儲裝置
[0153] 116 中央控制裝置
[0154] 117 視場限制狹縫
[0155] 118 試樣支架移動裝置
[0156] 119 微調(diào)機(jī)構(gòu)
[0157] 120 試樣微調(diào)控制裝置
【權(quán)利要求】
1. 一種帶電粒子線裝置用試樣支架，支撐由帶電粒子裝置觀察的試樣，其特征在于， 具備：能夠設(shè)置試樣臺的試樣放置臺；能夠使上述試樣臺移動的試樣驅(qū)動部；以及用 于使上述試樣支架的前端旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，上述試樣驅(qū)動部隨著上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)而進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線用試樣支架，其特征在于， 上述試樣驅(qū)動部具有能夠沿試樣支架的長軸方向移動的粗調(diào)機(jī)構(gòu)、以及能夠沿正交的 三軸方向移動的微調(diào)機(jī)構(gòu)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用試樣支架，其特征在于， 在上述試樣支架的前端具有用于使帶電粒子線通過的開口部。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用試樣支架，其特征在于， 具有多個能夠設(shè)置上述試樣臺的試樣放置臺，多個試樣放置臺之中至少一個試樣放置 臺能夠利用上述試樣驅(qū)動部進(jìn)行移動。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子線裝置用試樣支架，其特征在于， 上述試樣臺利用試樣臺壓板及壓緊螺釘固定在上述試樣放置臺上。
6. -種透射型電子顯微鏡用試樣支架，其特征在于， 具有：能夠設(shè)置試樣臺的試樣放置臺；能夠使上述試樣臺移動的試樣驅(qū)動部；以及用 于使上述試樣支架的前端旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，上述試樣驅(qū)動部隨著上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)而進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的透射型電子顯微鏡用試樣支架，其特征在于， 上述試樣驅(qū)動部具有能夠沿試樣支架的長軸方向移動的粗調(diào)機(jī)構(gòu)、以及能夠沿正交的 三軸方向移動的微調(diào)機(jī)構(gòu)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的透射型電子顯微鏡用試樣支架，其特征在于， 在上述試樣支架的前端部具有向與電子射線的通過方向不同的方向開放的支架前端 開口部。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的透射型電子顯微鏡用試樣支架，其特征在于， 支架前端開口部具有向與電子射線的通過方向垂直的方向開放的支架前端開口部。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的透射型電子顯微鏡用試樣支架，其特征在于， 在試樣放置臺上具有能夠改變試樣臺的高度的高度調(diào)整螺釘。
11. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的透射型電子顯微鏡用試樣支架，其特征在于， 具有多個能夠設(shè)置上述試樣臺的試樣放置臺，多個試樣放置臺之中至少一個試樣放置 臺能夠利用上述試樣驅(qū)動部進(jìn)行移動。
12. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的透射型電子顯微鏡用試樣支架，其特征在于， 具有多個能夠設(shè)置上述試樣臺的試樣放置臺，多個試樣放置臺之中至少一個試樣放置 臺能夠利用上述試樣驅(qū)動部進(jìn)行移動，固定在試樣臺上的試樣沿著與透射型電子顯微鏡所 附帶的電子分光器的能量分散軸正交的方向進(jìn)行配置。
13. -種試樣臺，用于設(shè)置透射型電子顯微鏡用的試樣，其特征在于， 具有用于固定上述試樣的試樣固定部位、以及用于使固定試樣臺的壓緊螺釘通過的壓 緊螺釘用開口部。
14. 一種試樣分析方法，其特征在于， 包括：對于固定在試樣支架上的試樣，從上述支架前端開口部照射離子束，向與上述離 子束的入射方向垂直的方向?qū)ι鲜鲈嚇舆M(jìn)行薄片化的步驟；以及在使上述試樣支撐在上述 試樣支撐部的狀態(tài)下獲得上述透射圖像和元素分布結(jié)果的步驟， 其中，上述試樣支架利用所述離子束對上述試樣進(jìn)行薄片化，并且具有上述支架前端 開口部，并且能夠設(shè)置多個試樣臺，上述支架前端開口部向相對于用于觀察上述薄片化的 試樣和進(jìn)行元素分析的電子射線的入射方向至少垂直的方向開放。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的帶電粒子線裝置用試樣支架，其特征在于， 上述帶電粒子線裝置用試樣支架能夠共用于透射電子顯微鏡及聚焦離子束裝置。
16. -種帶電粒子線裝置，其特征在于， 搭載有權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的帶電粒子線裝置用試樣支架。
【文檔編號】H01J37/20GK104067368SQ201280067960
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2012年12月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月25日
【發(fā)明者】寺田尚平, 谷口佳史, 長久?？灯? 申請人:株式會社日立高新技術(shù)