透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，屬于顯微鏡支持膜技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前市場(chǎng)上能購(gòu)買到的適用于透射電子顯微鏡分析微米、納米材料的支持膜，全部是單一型的，也就是支持膜是一種材料制成的。通常是在金屬如銅、金、鎳等或其它材質(zhì)的網(wǎng)格上沉積一層碳或金屬物如鎳薄膜。該薄膜分為致密無(wú)孔和帶孔的兩種類型。有些生產(chǎn)者還在支持膜和金屬網(wǎng)格之間或者金屬網(wǎng)格的背面鍍一層弗姆瓦薄膜?，F(xiàn)有支持膜的缺點(diǎn)是一旦材料中含有同支持膜相同的成分時(shí)，則無(wú)法檢測(cè)該材料中是否真正含有該種元素，更無(wú)法確定該元素的相對(duì)含量。
[0003]透射電鏡用的支持膜網(wǎng)格多呈直徑3毫米的薄片狀，常見(jiàn)的有200目、400目的孔。其上可沉積單一材質(zhì)的致密無(wú)孔或有孔的碳膜、鎳膜等。圖5是金屬網(wǎng)格及其上沉積的多孔碳支持膜正面示意圖；圖6為其實(shí)物立體示意圖。由于支持膜較脆弱，通常可再沉積一層弗姆瓦支撐膜。弗姆瓦支撐膜可在薄膜和金屬網(wǎng)格之間，亦可與支持膜分于金屬網(wǎng)格的兩面。圖7是金屬網(wǎng)格及其上沉積碳膜橫截面示意圖，圖8是金屬網(wǎng)格單面上按順序依次沉積弗姆瓦膜和碳膜的橫截面示意圖，圖9是金屬網(wǎng)格雙面分別沉積弗姆瓦膜和碳膜的橫截面示意圖。
[0004]所述弗姆瓦，英文為Formvar，指聚乙烯醇縮甲醛和氯醋聚乙烯醇三元共聚物的一系列廣品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明目的是為了解決現(xiàn)有透射電子顯微鏡支持膜采用一種材料制成，當(dāng)被檢測(cè)材料中含有同支持膜相同的成分時(shí)，則無(wú)法檢測(cè)該材料中是否真正含有該種元素，更無(wú)法確定該元素的相對(duì)含量的問(wèn)題，提供了一種透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜。
[0006]本發(fā)明所述透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，它包括待沉積網(wǎng)格，它還包括復(fù)合支持膜，該復(fù)合支持膜為致密無(wú)孔型和帶孔型，該復(fù)合支持膜由第一半段和第二半段拼接形成，或者由第一分段、第二分段和第三分段依次拼接組成;所述第一半段和第二半段的材質(zhì)不相同，第一分段、第二分段和第三分段的材質(zhì)各不相同；
[0007]所述復(fù)合支持膜沉積在待沉積網(wǎng)格的上表面上。
[0008]它還包括弗姆瓦膜，所述弗姆瓦膜處于復(fù)合支持膜與待沉積網(wǎng)格之間。
[0009]它還包括弗姆瓦膜，弗姆瓦膜沉積在待沉積網(wǎng)格的下表面上。
[0010]復(fù)合支持膜由第一半段和第二半段拼接形成，第一半段為碳膜，第二半段為鎳膜。[0011 ]所述待沉積網(wǎng)格為金屬網(wǎng)格。
[0012]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明在同一片網(wǎng)格上沉積上兩種、三種或多種不同材質(zhì)的復(fù)合支持膜，使得對(duì)不同待檢測(cè)分析的試樣材料均可進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)待檢測(cè)分析的試樣材料與復(fù)合支持膜中某一成分相同時(shí)，則可采用其它成分的拼接段位置進(jìn)行檢測(cè)，使用者不必事先購(gòu)置大量的不同材質(zhì)的單一支持膜，尤其是在不清楚待檢測(cè)材料的物質(zhì)成分的情況下，不必更換支持膜重新制備透射電鏡樣品。既方便了使用，提高研究效率，而且降低使用者的費(fèi)用。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明所述透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖中復(fù)合支持膜由兩種材質(zhì)的半圓膜復(fù)合而成；
[0014]圖2是待沉積網(wǎng)格與復(fù)合支持膜的截面示意圖；圖中復(fù)合支持膜的左半段和右半段分別由兩種不同的材質(zhì)制成；
[0015]圖3是待沉積網(wǎng)格、復(fù)合支持膜與弗姆瓦膜的截面示意圖，弗姆瓦膜與復(fù)合支持膜位于待沉積網(wǎng)格的同側(cè)表面;圖中復(fù)合支持膜的左半段和右半段分別由兩種不同的材質(zhì)制成；
[0016]圖4是是待沉積網(wǎng)格、復(fù)合支持膜與弗姆瓦膜的截面示意圖，弗姆瓦膜與復(fù)合支持膜位于待沉積網(wǎng)格的兩側(cè)表面；圖中復(fù)合支持膜的左半段和右半段分別由兩種不同的材質(zhì)制成；
[0017]圖5是金屬網(wǎng)格及其上沉積的多孔碳支持膜正面示意圖；
[0018]圖6是金屬網(wǎng)格及其上沉積的多孔碳支持膜實(shí)物立體圖；
[0019]圖7是金屬網(wǎng)格及其上沉積碳膜橫截面示意圖；
[0020]圖8是金屬網(wǎng)格單面上按順序依次沉積弗姆瓦膜和碳膜的橫截面示意圖；
[0021 ]圖9是金屬網(wǎng)格雙面分別沉積弗姆瓦膜和碳膜的橫截面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]【具體實(shí)施方式】一:下面結(jié)合圖1至圖2說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，它包括待沉積網(wǎng)格I，它還包括復(fù)合支持膜2，該復(fù)合支持膜2為致密無(wú)孔型和帶孔型，該復(fù)合支持膜2由第一半段和第二半段拼接形成，或者由第一分段、第二分段和第三分段依次拼接組成;所述第一半段和第二半段的材質(zhì)不相同，第一分段、第二分段和第三分段的材質(zhì)各不相同；
[0023]所述復(fù)合支持膜2沉積在待沉積網(wǎng)格I的上表面上。
[0024]上述各分段內(nèi)材質(zhì)是均一的;所述各分段可為面積上的等分，亦可非等分。
[0025]【具體實(shí)施方式】二:下面結(jié)合圖3說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式對(duì)實(shí)施方式一作進(jìn)一步說(shuō)明，它還包括弗姆瓦膜3，所述弗姆瓦膜3處于復(fù)合支持膜2與待沉積網(wǎng)格I之間。
[0026]【具體實(shí)施方式】三:下面結(jié)合圖4說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式對(duì)實(shí)施方式一作進(jìn)一步說(shuō)明，它還包括弗姆瓦膜3，弗姆瓦膜3沉積在待沉積網(wǎng)格I的下表面上。
[0027]【具體實(shí)施方式】四:本實(shí)施方式對(duì)實(shí)施方式一、二或三作進(jìn)一步說(shuō)明，復(fù)合支持膜2由第一半段和第二半段拼接形成，第一半段為碳膜，第二半段為鎳膜。
[0028]所述第一半段可選擇為碳膜或其它材質(zhì)膜，第二半段可選擇為鎳膜或其它材質(zhì)膜。
[0029]【具體實(shí)施方式】五:本實(shí)施方式對(duì)實(shí)施方式一、二、三或四作進(jìn)一步說(shuō)明，所述待沉積網(wǎng)格I為金屬網(wǎng)格。[0030 ]所述待沉積網(wǎng)格I可采用導(dǎo)電導(dǎo)熱材質(zhì)制成。
[0031]本發(fā)明在同一片金屬網(wǎng)格或者其它導(dǎo)電導(dǎo)熱材質(zhì)的網(wǎng)格上沉積上兩種或多種不同材質(zhì)的復(fù)合支持膜。支持膜材料為碳、鎳或其它材料;支持膜厚度和層數(shù)不限定;支持膜為有孔或者無(wú)孔的形式:孔的大小和形狀不限定。支持膜的支撐物多為弗姆瓦，可在薄膜和金屬網(wǎng)格之間，亦可與支持膜分列于金屬網(wǎng)格的兩面；網(wǎng)格采用金屬或其它導(dǎo)電導(dǎo)熱材質(zhì)，厚度不定;網(wǎng)格孔為100目、200目,400目或其它合適大小均可。
[0032]圖1中，復(fù)合支持膜的面積上碳和鎳各占一半；圖2中復(fù)合支持膜的面積上碳和鎳各占一半；圖3中金屬網(wǎng)格單面上按順序依次沉積弗姆瓦膜和各占一半面積的碳膜和鎳膜；圖4中金屬網(wǎng)格雙面分別沉積弗姆瓦膜和各占一半面積的碳膜和鎳膜。
[0033]本發(fā)明在制作時(shí)，可事先覆蓋住網(wǎng)格的一半，并在未覆蓋的一半上沉積第一種材質(zhì)的支持膜，如碳膜;然后將沉積有碳膜的那一半覆蓋住，露出未沉積的另外一半，并沉積第二種材質(zhì)的支持膜，如鎳膜。大批量生產(chǎn)時(shí)，可事先在一大塊平板上加工出直徑3.1毫米，厚0.5毫米圓坑，這些圓坑成規(guī)則的二維排列，便于規(guī)則地覆蓋保護(hù)和沉積工藝。其后，將外購(gòu)的或自制的外徑大約3毫米的網(wǎng)格單個(gè)填充在這些淺坑中，所述網(wǎng)格為金屬或其它導(dǎo)電導(dǎo)熱材料。設(shè)計(jì)特殊的蓋板，一次蓋住所有網(wǎng)格的一半，沉積第一種材質(zhì)的支持膜;然后移動(dòng)蓋板，保護(hù)好已沉積的部分，漏出新的部分網(wǎng)格，沉積第二種材質(zhì)的支持膜。
[0034]三種或多種材質(zhì)的支持膜的沉積工藝可參照上述方案制定。
[0035]本發(fā)明適用于顯微學(xué)，電子顯微學(xué)，尤其是透射電子顯微學(xué)及其周邊試樣制備技術(shù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，它包括待沉積網(wǎng)格(I)，其特征在于，它還包括復(fù)合支持膜(2)，該復(fù)合支持膜(2)為致密無(wú)孔型和帶孔型，該復(fù)合支持膜(2)由第一半段和第二半段拼接形成，或者由第一分段、第二分段和第三分段依次拼接組成;所述第一半段和第二半段的材質(zhì)不相同，第一分段、第二分段和第三分段的材質(zhì)各不相同； 所述復(fù)合支持膜(2)沉積在待沉積網(wǎng)格(I)的上表面上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，其特征在于，它還包括弗姆瓦膜(3)，所述弗姆瓦膜(3)處于復(fù)合支持膜(2)與待沉積網(wǎng)格(I)之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，其特征在于，它還包括弗姆瓦膜(3)，弗姆瓦膜(3)沉積在待沉積網(wǎng)格(I)的下表面上。4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，其特征在于，復(fù)合支持膜(2)由第一半段和第二半段拼接形成，第一半段為碳膜，第二半段為鎳膜。5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，其特征在于，所述待沉積網(wǎng)格(I)為金屬網(wǎng)格。
【專利摘要】透射電子顯微鏡用多功能復(fù)合支持膜，屬于顯微鏡支持膜技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有透射電子顯微鏡支持膜采用一種材料制成，當(dāng)被檢測(cè)材料中含有同支持膜相同的成分時(shí)，則無(wú)法檢測(cè)該材料中是否真正含有該種元素，更無(wú)法確定該元素的相對(duì)含量的問(wèn)題。它的復(fù)合支持膜為致密無(wú)孔型和帶孔型，該復(fù)合支持膜由第一半段和第二半段拼接形成，或者由第一分段、第二分段和第三分段依次拼接組成；所述第一半段和第二半段的材質(zhì)不相同，第一分段、第二分段和第三分段的材質(zhì)各不相同，所述復(fù)合支持膜沉積在待沉積網(wǎng)格的上表面上。本發(fā)明作為一種顯微鏡支持膜。
【IPC分類】G01Q30/20
【公開(kāi)號(hào)】CN105548616
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201511018326
【發(fā)明人】饒建存, 周玉
【申請(qǐng)人】哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【公開(kāi)日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年12月29日