專利名稱：一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
邊環(huán)是半導(dǎo)體薄膜制程設(shè)備的關(guān)鍵核心零件之一，其工作環(huán)境處于無塵高真空條件下，邊環(huán)上方放置晶圓片，主要功能為固定晶圓片于生產(chǎn)設(shè)備中的位置，防止晶圓片滑動(dòng)。如圖1所示，邊環(huán)1包括一圓環(huán)本體11，該圓環(huán)本體11的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有一臺(tái)階12， 圓環(huán)本體11的外側(cè)邊緣向上延伸形成突環(huán)13。邊環(huán)的工作環(huán)境是處在無塵真空條件下，特別之處在其工作環(huán)境屬于高溫環(huán)境， 平均溫度超過400°C ；在此工作環(huán)境下邊環(huán)會(huì)因多次的使用，逐漸產(chǎn)生微量的變形，當(dāng)變形量達(dá)到一個(gè)程度時(shí)，邊環(huán)對于晶圓片的固定效能會(huì)逐漸降低，晶圓片滑片、破片或鍍膜不均勻的機(jī)率，會(huì)隨變形量逐漸的增加。當(dāng)邊環(huán)的變形量達(dá)到一定程度，即宣告報(bào)廢，但是頻繁的報(bào)廢對于內(nèi)部成本控管是一個(gè)挑戰(zhàn)，因?yàn)檫叚h(huán)新品都必須要從國外進(jìn)口購買，采購時(shí)間冗長、價(jià)格相對高昂，且邊環(huán)的使用量也大，采購成本是一個(gè)可觀的數(shù)字。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷而提供一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，該工裝結(jié)構(gòu)操作簡單且成本低廉，可有效的恢復(fù)邊環(huán)的原有造型。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型的一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，所述邊環(huán)包括一圓環(huán)本體，該圓環(huán)本體的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有一臺(tái)階，且其外側(cè)邊緣向上延伸形成突環(huán)，所述整形工裝結(jié)構(gòu)包括按所述邊環(huán)形狀成對設(shè)置的上壓模和下壓模，所述邊環(huán)夾持在上壓模和下壓模之間。上述的一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，其中，所述上壓模為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且其內(nèi)壁向下延伸形成凸臺(tái)，所述凸臺(tái)嵌于所述邊環(huán)突環(huán)的內(nèi)側(cè)。上述的一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，其中，所述下壓模為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且其外壁向上延伸形成環(huán)形凸起，所述邊環(huán)的下部嵌于所述環(huán)形凸起的內(nèi)側(cè)。本實(shí)用新型整形工裝結(jié)構(gòu)投資設(shè)備成本低廉，保養(yǎng)維護(hù)容易且堅(jiān)固且耐用，保養(yǎng)僅需要定期清潔外觀，保持治具干凈即可；采用本實(shí)用新型對邊環(huán)整形操作十分便捷，是采用物理力冷壓的方式進(jìn)行整型，整形作業(yè)速度快且容易，質(zhì)量容易控制；可有效的恢復(fù)邊環(huán)原有造型，解決邊環(huán)長期使用所產(chǎn)生的變型問題，達(dá)到延長邊環(huán)使用壽命的目的，降低邊環(huán)報(bào)廢的頻率，對新品采購成本上的節(jié)約有著實(shí)質(zhì)的幫助。

圖1是邊環(huán)的剖視3[0013]圖2是本實(shí)用新型的剖視圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。請參閱圖1，圖中示出了邊環(huán)的剖視圖，邊環(huán)1包括一圓環(huán)本體11，該圓環(huán)本體11 的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有一臺(tái)階12，圓環(huán)本體11的外側(cè)邊緣向上延伸形成突環(huán)13。請參閱圖2，圖中示出了本實(shí)用新型用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)的剖視圖，該整形工裝結(jié)構(gòu)包括按邊環(huán)1形狀成對設(shè)置的上壓模2和下壓模3，邊環(huán)1夾持在上壓模2和下壓模 3之間。上壓模2為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且其內(nèi)壁向下延伸形成凸臺(tái)21，凸臺(tái)21嵌于邊環(huán)1突環(huán)13 的內(nèi)側(cè)；下壓模3為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且其外壁向上延伸形成環(huán)形凸起31，邊環(huán)1的下部嵌于環(huán)形凸起31的內(nèi)側(cè)。整形時(shí)，將邊環(huán)1放置于下壓模3的上方，且嵌設(shè)于下壓模3環(huán)形凸起31的內(nèi)側(cè)， 上壓模2再蓋在邊環(huán)1上，且上壓模2凸臺(tái)21嵌設(shè)于邊環(huán)1的突環(huán)13內(nèi)側(cè)，利用重壓或敲擊上、下壓膜2、3，直至上、下壓膜2、3吻合為止，對上壓模2施加向下的外力，上壓模2受到外力后進(jìn)而擠壓邊環(huán)1，使得邊環(huán)1吻合上、下壓膜2、3的造型，從而達(dá)到整形的目的。以上實(shí)施例僅供說明本實(shí)用新型之用，而非對本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于本實(shí)用新型的范疇，應(yīng)由各權(quán)利要求所限定。
權(quán)利要求1.一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，所述邊環(huán)包括一圓環(huán)本體，該圓環(huán)本體的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有一臺(tái)階，且其外側(cè)邊緣向上延伸形成突環(huán)，其特征在于，所述整形工裝結(jié)構(gòu)包括按所述邊環(huán)形狀成對設(shè)置的上壓模和下壓模，所述邊環(huán)夾持在上壓模和下壓模之間。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上壓模為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且其內(nèi)壁向下延伸形成凸臺(tái)，所述凸臺(tái)嵌于所述邊環(huán)突環(huán)的內(nèi)側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下壓模為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且其外壁向上延伸形成環(huán)形凸起，所述邊環(huán)的下部嵌于所述環(huán)形凸起的內(nèi)側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于邊環(huán)的整形工裝結(jié)構(gòu)，所述邊環(huán)包括一圓環(huán)本體，該圓環(huán)本體的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有一臺(tái)階，且其外側(cè)邊緣向上延伸形成突環(huán)，所述整形工裝結(jié)構(gòu)包括按所述邊環(huán)形狀成對設(shè)置的上壓模和下壓模，所述邊環(huán)夾持在上壓模和下壓模之間。本實(shí)用新型整形工裝結(jié)構(gòu)投資設(shè)備成本低廉，保養(yǎng)維護(hù)容易且堅(jiān)固且耐用，保養(yǎng)僅需要定期清潔外觀，保持治具干凈即可；采用本實(shí)用新型對邊環(huán)整形操作十分便捷，是采用物理力冷壓的方式進(jìn)行整型，整形作業(yè)速度快且容易，質(zhì)量容易控制；可有效的恢復(fù)邊環(huán)原有造型，解決邊環(huán)長期使用所產(chǎn)生的變型問題，達(dá)到延長邊環(huán)使用壽命的目的，降低邊環(huán)報(bào)廢的頻率，對新品采購成本上的節(jié)約有著實(shí)質(zhì)的幫助。
文檔編號B21D1/10GK202270861SQ20112042686
公開日2012年6月13日 申請日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月1日
發(fā)明者吳志君 申請人:上?？票娮涌萍加邢薰? 科治新技股份有限公司