專利名稱：激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明為采用激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置，是激光角度干涉儀的擴展應用，用于檢測數(shù)控機床數(shù)控轉(zhuǎn)臺的位置精度。

背景技術(shù)：
激光角度干涉儀測量原理如圖1，激光頭1發(fā)出的激光束在角度干涉模塊2中分為兩路，分別射向角度反射鏡3中的兩個角偶棱鏡，當角度反射鏡從原始位置E轉(zhuǎn)動到F位置時，對應轉(zhuǎn)角為α，兩個角偶棱鏡的激光束光程發(fā)生δ變化，角度反射鏡的旋轉(zhuǎn)角α可由下式求出 α＝arcsin(δ/A) 上式為激光角度干涉儀測量公式。A為角度反射鏡常數(shù)，是兩個角偶棱鏡錐尖的距離，激光角度干涉儀測得光程差δ，按照上式計算出角度值α。
用激光角度干涉儀不能測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺，原因如下 1、測量范圍小因為(1)在反正弦函數(shù)中，角度增大時曲率趨于平緩，測量的分辨率降低；(2)隨著測量角度增大激光束的偏離也加大，當測量角度增大到激光束脫離角度反射鏡時，激光角度干涉儀不能正常工作。一般激光角度干涉儀的量程小于±10°。
2、角度反射鏡常數(shù)A的誤差會引起較大測量誤差，如圖2所示，由于角度反射鏡常數(shù)A的誤差(對應圖2曲線1和2)，使相同的光程變化δ得到不同的角度測量結(jié)果α1和α2。
將上式微分得 設A＝30mm，可以計算在α＝10°時，如果角度反射鏡常數(shù)A的誤差為dA＝0.1mm，則造成測量誤差為dα＝120″。
角度反射鏡的加工和裝配精度、安裝和使用現(xiàn)場溫度等都會影響角度反射鏡常數(shù)A值的變化，因此在測量中此項誤差影響是不可忽視的。
用激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度需要解決兩個問題一是擴大量程，能夠完成多圈整周檢測；二是每次測量前校準角度反射鏡常數(shù)A以提高測量精度。
英國Renishaw公司采用多齒分度臺與激光角度干涉儀結(jié)合的方法開發(fā)了測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的附件，測量前運行專用程序校準角度反射鏡常數(shù)A，在測量過程中，采用角度反射鏡與上齒盤一起相對于被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺相反方向同速轉(zhuǎn)動的方法將量程無限擴大，但是由于多齒分度臺的上齒盤連同角度反射鏡需要上下移動，使得安裝對光困難，且結(jié)構(gòu)復雜，制造成本較高。
有關(guān)用激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的方法成都工具研究所已申報兩項專利 “帶有標準角度轉(zhuǎn)臺的激光角度干涉測量系統(tǒng)及其測量方法”，公開(公告)號CN101236076； “臺面不升降的多齒分度臺裝置”，公開(公告)號CN101561265。
前者提出用標準角度作為校正反射鏡常數(shù)A的方法，省去了多齒分度臺；后者提出了臺面不升降的多齒分度臺，解決了由于上齒盤上下移動造成的安裝對光困難。但兩個專利提出的方法均需在測量前對反射鏡常數(shù)A進行校正，費時費力。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出采用全圓誤差封閉原理，有效解決了角度反射鏡常數(shù)A的即時校準問題的激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置。
本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的 本發(fā)明激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置，主軸22與連接盤21固連，主軸22位于軸承座8的軸承30內(nèi)，主軸22與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10同心，軸承座8與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10固連，與吸合圓盤16連接，與盤齒輪18固連，電磁鐵6與連接盤21固連，與吸合圓盤16相對，步進電機座19與連接盤21固連，步進電機5的軸端與齒輪17固連，齒輪17與盤齒輪18嚙合，角度反射鏡3與連接盤21固連，連接盤21通過限位螺釘32與軸承座8連接，激光頭1和角度干涉模塊2位置固定，激光頭1發(fā)出的激光束經(jīng)角度干涉模塊2分成兩路分別射向角度反射鏡3，角度反射鏡3返回光束經(jīng)角度干涉模塊2射向激光頭1，其信號經(jīng)控制電箱11再送計算機12并轉(zhuǎn)換為角度值，激光光源7固定于軸承座8，接收器9安裝于固定位置并對準激光光源7，接收器9的輸出與計算機12連接，計算機12的輸出與控制電箱11連接，控制電箱11與步進電機5和電磁鐵6連接。
吸合圓盤16與薄圓片15固連，薄圓片15與軸承座8固連。
墊套13與軸承座8固連，對中盤29與墊套13連接，對中盤29的定位外圓位于被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10回轉(zhuǎn)中心的孔中，主軸22與該孔同心。
裝置測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度，其測量過程如下 根據(jù)數(shù)控機床的檢測標準GB-17421.2-2000規(guī)定，對數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度檢測需要按照一定的間隔在整周中順、逆時針方向測量數(shù)周。
設測量m周，檢測間隔Δ，則在每周中的檢測次數(shù)為n＝360/Δ，按順時針方向測量過程如下。
(1)將由角度反射鏡3、主軸系4、軸承座8、步進電機5、電磁鐵6、激光光源7等構(gòu)成的測量裝置固定于被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10上，使被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10與測量裝置的主軸同軸； (2)在固定位置安裝接受器9，使被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)時，激光光源7發(fā)出的光束能夠掃過接收器9； (3)安裝激光頭1、角度干涉模塊2，轉(zhuǎn)動主軸系4，使角度反射鏡3的表面與入射激光束垂直，計算機12清零； (4)測量開始，電磁鐵6松開主軸系4，步進電機5控制主軸系4逆時針旋轉(zhuǎn)Δ/2； (5)電磁鐵6再將主軸系4與軸承座8鎖死，計算機12記下角度讀數(shù)a(1，1)； (6)被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10順時針旋轉(zhuǎn)Δ，計算機12記下角度讀數(shù)b(1，1)； (7)電磁鐵6將主軸4與軸承座8松開，由步進電機5控制主軸4逆時針旋轉(zhuǎn)Δ； (8)重復(5)一(7)步驟n次，計算機12記下第1圈測量角度值a(1，n)和b(1，n)，完成第1圈測量； (9)在第1圈測量中，激光光源7發(fā)出的光束掃過接收器9時產(chǎn)生一個整圓周脈沖信號采樣相對于該檢測間隔起始點a(1，n0)的角度值c(1，1)。
(10)重復(5)-(9)步驟m次，計算機12記下三維數(shù)組a(m，n)、b(m，n)和c(m，s)；測量完畢。
(11)反時針方向測量按上述方法(4)-(10)進行，只是旋轉(zhuǎn)方向反向而已。
其中m＝1…m，n＝1…n，s＝1…m-1， n0為整圓周脈沖信號所在的檢測間隔位置。
在上述測量后，計算機12得到瞬時針、反時針兩組三維數(shù)組 a(m，n)在m周n間隔測量的起始點的角度值； b(m，n)在m周n間隔測量的終止點的角度值； c(m，s)在m周s間隔中，接收器9產(chǎn)生的整圓脈沖信號采樣相對于該檢測間隔起始點a(m，n0)的角度值。
(12)計算機進行數(shù)據(jù)處理，步驟如下 每個檢測間隔Δ的測量值y(m，n) y(m，n)＝b(m，n)-a(m，n)(1) 每兩個相鄰整圓周脈沖信號間的角度和zs 其中ns＝1…n0。
兩個相鄰整圓周脈沖信號間角度和的平均值zs 根據(jù)全圓誤差封閉原理，計算角度校正系數(shù)β β＝3600×360/zs(4) 每個檢測間隔Δ的誤差值e(m，n) e(m，n)＝y(tǒng)(m，n)×β-Δ (5) 整周測量中，各檢測間隔相對于測量起始點的誤差值δ(m，n) 計算機(12)按照數(shù)控機床的檢測標準GB-17421.2-2000的規(guī)定，算出被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)順時針、反時針每圈整周測量各檢測間隔相對于測量起始點的誤差值δ(m，n)后，再按標準規(guī)定求出數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)的定位精度和重復定位精度。
激光光源7可以安裝在被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)臺面的任意位置。
在測量過程中，初始測量位置為檢測間隔的一半，即測量始點為Δ/2，使測量距離相對于激光角度干涉儀測量公式的原點對稱。
本發(fā)明的優(yōu)點如下 本發(fā)明采用激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置，測量時反射鏡常數(shù)A即時校準，測量精度高，裝置結(jié)構(gòu)簡單，并且量程沒有限制。



圖1為激光角度干涉儀測量原理示意圖。
圖2為角度反射鏡常數(shù)A變化對測量的影響。
圖3為本發(fā)明的系統(tǒng)圖。
圖4為本明的主視圖。
圖5為圖4的右視圖。
具本實施方式 激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺的裝置如圖3所示。主軸系4和軸承座8間可以同軸相對旋轉(zhuǎn)，激光頭1和角度干涉模塊2位置固定，由激光頭1發(fā)出的激光束經(jīng)角度干涉模塊2分成兩路分別射向角度反射鏡3，角度反射鏡3返回光束經(jīng)角度干涉模塊2射向激光頭1，其信號經(jīng)控制電箱(11)再送計算機(12)并轉(zhuǎn)換為角度值。
角度反射鏡3安裝于主軸系4上，主軸系4可以由步進電機5控制相對軸承座8同軸旋轉(zhuǎn)，也可以由電磁鐵6將其與軸承座8鎖死，軸承座8與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10固定。
激光光源7固定于軸承座8，在測量時隨軸承座8和被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10一起旋轉(zhuǎn)； 接收器9安裝于固定位置，并對準激光光源7發(fā)出的光束，當激光光源7發(fā)出的光束掃過接收器9時，產(chǎn)生一個整圓脈沖信號； 控制電箱11接收計算機12的信號，并控制步進電機5和電磁鐵6； 計算機12接收激光頭1經(jīng)控制電箱11的信號和接收器9的整圓脈沖信號，運算并顯示測量結(jié)果。
圖4是本發(fā)明提出的采用激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的測量裝置主視圖，圖5是圖4的右剖視圖。由兩個軸承30、軸承蓋(一)14、軸承座8、主軸22、連接盤21、軸承蓋(二)24、套26、套27及緊固螺釘組成測量裝置的軸系。激光角度反射鏡3用螺釘與連接板23連接后，再用螺釘將連接板23與連接盤21連接；步進電機5用螺釘與電機座19連接后，再用螺釘將電機座19與連接盤21固連，步進電機5的軸端用螺釘與齒輪17固連，齒輪17與用螺釘固連于軸承座8上的盤齒輪18嚙合，步進電機5轉(zhuǎn)動時，齒輪17被盤齒輪18反推，使主軸22旋轉(zhuǎn)；磁鐵座25與連接盤21固連，磁鐵座25上用螺釘與電磁鐵6連接，吸合圓盤16用螺釘及墊圈與薄圓片15固連后再用螺釘與軸承座8固連，電磁鐵6與吸合圓盤16接觸，電磁鐵6通電時吸牢吸合圓盤16，使主軸22不能旋轉(zhuǎn)，即角度反射鏡3可與軸承座8同步旋轉(zhuǎn)；墊套13用螺釘與軸承座8固連，對中盤29與墊套13連接，對中盤29的定位外圓放入被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10回轉(zhuǎn)中心的孔中后，使測量裝置軸系主軸22的回轉(zhuǎn)中心與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10的回轉(zhuǎn)中心同軸，從而保證激光角度反射鏡3旋轉(zhuǎn)時必須與數(shù)控轉(zhuǎn)臺同軸的要求；激光光源7裝入激光光源座33并用螺釘固定后，再用螺釘將激光光源座33與軸承座8固連，測量時，激光光源7始終保持通電，光源發(fā)出的光束由安裝在固定處的光源接收器9接收，產(chǎn)生一個整圓周脈沖信號并送計算機12，從而精確確定被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10轉(zhuǎn)過的整周；軸承座8上用螺釘固連壓腳28，以便軸承座8與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10連接，使其同步旋轉(zhuǎn)；插頭座31用螺釘固牢在連接盤21上，控制步進電機5和電磁鐵6的信號由此引入；連接盤21中的限位螺釘32用于限制主軸22的轉(zhuǎn)動，測量前必須解除對主軸22旋轉(zhuǎn)的限制；外罩20用螺釘與連接盤21連接，以保護測量裝置。
激光光源7也可以安裝在被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)臺面的任意位置。
測量過程 設測量m周，檢測間隔Δ，則在每周中的檢測次數(shù)為n＝360/Δ，按順時針方向測量過程如下。
(1)將測量裝置(由角度反射鏡3、主軸系4、軸承座8、步進電機5、電磁鐵6、激光光源7等構(gòu)成)固定于被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10上，被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10與測量裝置的回轉(zhuǎn)軸同軸； (2)在固定位置安裝接受器9，使被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)時，激光光源7發(fā)出的光束能夠掃過接收器9； (3)安裝激光頭1、角度干涉模塊2，轉(zhuǎn)動主軸系4，使角度反射鏡3的表面與入射激光束垂直，計算機12清零， (4)測量開始，電磁鐵6松開主軸系4，步進電機5控制主軸系4逆時針旋轉(zhuǎn)Δ/2； (5)電磁鐵6再將主軸系4與軸承座8鎖死，計算機12記下角度讀數(shù)a(1，1)； (6)被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺10順時針旋轉(zhuǎn)Δ，計算機12記下角度讀數(shù)b(1，1)； (7)電磁鐵6將主軸系4與軸承座8松開，由步進電機5控制主軸系4逆時針旋轉(zhuǎn)Δ； (8)重復(5)-(7)步驟n次，計算機12記下第1圈測量角度值a(1，n)和b(1，n)，完成第1圈測量； (9)在第1圈測量中，激光光源7發(fā)出的光束掃過光源接收器9時產(chǎn)生一個整圓周脈沖信號采樣相對于該檢測間隔起始點a(1，n0)的角度值c(1，1)。
(10)重復(5)-(9)步驟m次，計算機12記下三維數(shù)組a(m，n)、b(m，n)和c(m，s)；測量完畢。
(11)反時針方向測量按上述方法(4)-(10)進行，只是旋轉(zhuǎn)方向反向而已。
其中m＝1…m，n＝1…n，s＝1…m-1， n0為整圓周脈沖信號所在的檢測間隔位置。
在上述測量后，計算機12得到瞬時針、反時針兩組三維數(shù)組 a(m，n)在m周n間隔測量的起始點的角度值； b(m，n)在m周n間隔測量的終止點的角度值； c(m，s)在m周s間隔中，接收器9產(chǎn)生的整圓脈沖信號采樣相對于該檢測間隔起始點a(m，n0)的角度值。
(12)計算機進行數(shù)據(jù)處理，計算公式 每個檢測間隔Δ的測量值y(m，n) y(m，n)＝b(m，n)-a(m，n)(1) 每兩個相鄰整圓周脈沖信號間的角度和zs 其中ns＝1…n0。
兩個相鄰整圓周脈沖信號間角度和的平均值zs 根據(jù)全圓誤差封閉原理，計算角度校正系數(shù)β β＝3600×360/zs(4) 每個檢測間隔Δ的誤差值e(m，n) e(m，n)＝y(tǒng)(m，n)×β-Δ (5) 整周測量中，各檢測間隔相對于測量起始點的誤差值δ(m，n) 計算機(12)按照數(shù)控機床的檢測標準GB-17421.2-2000的規(guī)定，算出被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)順時針、反時針每圈整周測量各檢測間隔相對于測量起始點的誤差值δ(m，n)后，再按標準規(guī)定求出數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)的定位精度和重復定位精度。
權(quán)利要求
1.激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置，其特征在于主軸(22)與連接盤(21)固連，主軸(22)位于軸承座(8)的軸承(30)內(nèi)，主軸(22)與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺同心，軸承座(8)與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺固連，與吸合圓盤(16)連接，與盤齒輪(18)固連，電磁鐵(6)與連接盤(21)固連，與吸合圓盤(16)相對，步進電機座(19)與連接盤(21)固連，步進電機(5)的軸端與齒輪(17)固連，齒輪(17)與盤齒輪(18)嚙合，角度反射鏡(3)與連接盤(21)固連，連接盤(21)通過限位螺釘(32)與軸承座(8)連接，激光頭(1)和角度干涉模塊(2)位置固定，激光頭(1)發(fā)出的激光束經(jīng)角度干涉模塊(2)分成兩路分別射向角度反射鏡(3)，角度反射鏡(3)返回光束經(jīng)角度干涉模塊(2)射向激光頭(1)，其信號經(jīng)控制電箱(11)再送計算機(12)并轉(zhuǎn)換為角度值，激光光源(7)固定于軸承座(8)，接收器(9)安裝于固定位置并對準激光光源(7)，接收器(9)與計算機(12)連接，計算機(12)與控制電箱(11)連接，控制電箱(11)與步進電機(5)和電磁鐵(6)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于墊套(13)與軸承座(8)固連，對中盤(29)與墊套(13)連接，對中盤(29)的定位外圓位于被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)回轉(zhuǎn)中心的孔中，主軸(22)與該孔同軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的方法，其測量過程如下
根據(jù)數(shù)控機床的檢測標準GB-17421.2-2000規(guī)定，對數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度檢測需要按照一定的間隔在整周中順、逆時針方向測量數(shù)周；
設測量m周，檢測間隔Δ，則在每周中的檢測次數(shù)為n＝360°/Δ，按順時針方向測量過程如下
(1)將由角度反射鏡(3)、主軸系(4)、軸承座(8)、步進電機(5)、電磁鐵(6)、激光光源(7)構(gòu)成的測量裝置固定于被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)上，使被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)與測量裝置的主軸同軸；
(2)在固定位置安裝接受器(9)，使被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)旋轉(zhuǎn)時，激光光源(7)發(fā)出的光束能夠掃過接收器(9)；
(3)安裝激光頭(1)、角度干涉模塊(2)，轉(zhuǎn)動主軸系(4)，使角度反射鏡(3)的表面與入射激光束垂直，計算機(12)清零；
(4)測量開始，電磁鐵(6)松開主軸系(4)，步進電機(5)控制主軸系(4)逆時針旋轉(zhuǎn)Δ/2；
(5)電磁鐵(6)再將主軸系(4)與軸承座(8)鎖死，計算機(12)記下角度讀數(shù)a(1，1)；
(6)被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)順時針旋轉(zhuǎn)Δ，計算機(12)記下角度讀數(shù)b(1，1)；
(7)電磁鐵(6)松開主軸系(4)，由步進電機(5)控制主軸系(4)逆時針旋轉(zhuǎn)Δ；
(8)重復步驟(5)-(7)n次，計算機12記下第1圈測量角度值a(1，n)和b(1，n)，完成第1圈測量；
(9)在第1圈測量中，激光光源(7)發(fā)出的光束掃過接收器(9)時產(chǎn)生一個整圓周脈沖信號采樣相對于該檢測間隔起始點a(1，n0)的角度值c(1，1)；
(10)重復步驟(5)-(9)m次，計算機12記下三維數(shù)組a(m，n)、b(m，n)和c(m，s)；順時針方向測量完畢；
(11)反時針方向測量按上述方法(4)-(10)進行，只是旋轉(zhuǎn)方向反向而已，
其中m＝1…m，n＝1…360°/Δ，s＝1…m-1；
n0為整圓周脈沖信號所在的檢測間隔位置，
在上述測量后，計算機(12)得到順時針、反時針兩組三維數(shù)組
a(m，n)在m周n檢測間隔測量起始點的角度值；
b(m，n)在m周n檢測間隔測量終止點的角度值；
c(m，s)在m周測量中，接收器(9)產(chǎn)生的整圓周脈沖信號采樣相對于該檢測間隔起始點a(m，n0)的角度值；
(12)計算機數(shù)據(jù)處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述方法，其計算機數(shù)據(jù)處理步驟如下
每個檢測間隔Δ的測量值y(m，n)
y(m，n)＝b(m，n)-a(m，n) (1)
兩個相鄰整圓周脈沖信號間的角度和zs
其中ns＝1…n0，
兩個相鄰整圓周脈沖信號間角度和的平均值zs
根據(jù)全圓誤差封閉原理，計算角度校正系數(shù)β
β＝3600×360/zs(4)
每個檢測間隔Δ的誤差值e(m，n)
e(m，n)＝y(tǒng)(m，n)×β-Δ(5)
整周測量中，各檢測間隔相對于測量起始點的誤差值δ(m，n)
計算機(12)按照數(shù)控機床的檢測標準GB-17421.2-2000的規(guī)定，算出被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)順時針、反時針每圈整周測量各檢測間隔相對于測量起始點的誤差值δ(m，n)后，再按標準規(guī)定求出數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)的定位精度和重復定位精度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于在測量過程中，初始測量位置為檢測間隔的一半，即測量始點為Δ/2，使測量距離相對于激光角度干涉儀測量公式的原點對稱。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于激光光源(7)可以安裝在被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺(10)旋轉(zhuǎn)臺面的任意位置。
全文摘要
本發(fā)明為激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置，解決已有裝置結(jié)構(gòu)復雜，對反射鏡常數(shù)校正費時、費力的問題。主軸(22)與連接盤(21)固連，軸承座(8)與被測數(shù)控轉(zhuǎn)臺固連，與吸合圓盤(16)連接，與盤齒輪(18)固連，電磁鐵(6)與連接盤(21)固連，與吸合圓盤(16)相對，步進電機座(19)與連接盤(21)固連，步進電機(5)的軸端與齒輪(17)固連，齒輪(17)與盤齒輪(18)嚙合，角度反射鏡(3)與連接盤(21)固連，激光頭(1)發(fā)出的激光束經(jīng)角度干涉模塊(2)分成兩路分別射向角度反射鏡(3)，角度反射鏡(3)返回的光束經(jīng)角度干涉模塊(2)射向激光頭(1)，其信號經(jīng)控制電箱(11)再送計算機(12)并轉(zhuǎn)換為角度值，接收器(9)與計算機(12)連接，計算機(12)與控制電箱(11)連接，控制電箱(11)與步進電機(5)和電磁鐵(6)連接。
文檔編號B23Q17/24GK101797702SQ20101002815
公開日2010年8月11日 申請日期2010年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月22日
發(fā)明者梁軍, 舒陽, 黃寧秋, 鄧上, 黃紹怡, 薛梅, 劉洋, 邱易, 李立群, 余翔, 羨一民, 徐之江, 樂海蓉 申請人:成都工具研究所