技術(shù)編號：3168612
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明為采用激光角度干涉儀測量數(shù)控轉(zhuǎn)臺位置精度的裝置，是激光角度干涉儀的擴展應(yīng)用，用于檢測數(shù)控機床數(shù)控轉(zhuǎn)臺的位置精度。 背景技術(shù) 激光角度干涉儀測量原理如圖1，激光頭1發(fā)出的激光束在角度干涉模塊2中分為兩路，分別射向角度反射鏡3中的兩個角偶棱鏡，當(dāng)角度反射鏡從原始位置E轉(zhuǎn)動到F位置時，對應(yīng)轉(zhuǎn)角為α，兩個角偶棱鏡的激光束光程發(fā)生δ變化，角度反射鏡的旋轉(zhuǎn)角α可由下式求出 α＝arcsin(δ/A) 上式為激光角度干涉儀測量公式。A為角度反射鏡常數(shù)...
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