四邊光路分布型干涉儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種呈四邊形光路分布的干涉儀，尤其涉及一種四邊光路分布型干涉儀，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]干涉現(xiàn)象是光的波動(dòng)性的最嚴(yán)格、最有效的證明，這個(gè)現(xiàn)象是由于兩束或多束光的重疊，使能量體密度在空間上規(guī)則分布的結(jié)果。光干涉測(cè)量方法作為檢測(cè)高精密光學(xué)元件和系統(tǒng)的最傳統(tǒng)、有效手段之一，已大量的應(yīng)用于科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)之中。在實(shí)際使用過(guò)程中，現(xiàn)階段干涉儀大多采用激光器作為照明光源，而激光器具有極強(qiáng)的時(shí)間和空間相干性，因此，在干涉檢測(cè)過(guò)程中，并不需要考慮干涉腔長(zhǎng)的限制，就可以使干涉條紋具有良好的對(duì)比度，并且隨著電子與計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)生的位相干涉檢測(cè)技術(shù)，使測(cè)量極限由傳統(tǒng)的λ/10提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)以上，且具有很高的重復(fù)性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它雖然降低了干涉儀的使用難度，但由于光學(xué)干涉的極端靈敏性，在光學(xué)元件加工過(guò)程中產(chǎn)生的微觀坑點(diǎn)等缺陷與元件表面污染所產(chǎn)生的散射光會(huì)發(fā)生相干疊加，在干涉圖中會(huì)出現(xiàn)許多牛眼環(huán)或靶心等相干噪聲，它們?cè)谝欢ǔ潭壬细淖兞烁缮鎴D的空間結(jié)構(gòu)，從而引起了被測(cè)面面型或波前形狀的測(cè)量誤差。傳統(tǒng)的Michelson干涉儀或Twyman干涉儀中的光束是來(lái)回兩次通過(guò)被測(cè)介質(zhì)，對(duì)于一些氣體密度迅速變化的狀態(tài)不能夠有效地測(cè)試。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場(chǎng)上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0004]本實(shí)用新型提供了一種四邊光路分布型干涉儀，由光源、第一透鏡、第一半反半透鏡、第一平面反射鏡、第二平面反射鏡、第二半反半透鏡和第二透鏡構(gòu)成，其中，依照光線方向依次設(shè)置光源、第一透鏡、第一半反半透鏡和第二平面反射鏡，所述第二平面反射鏡與第一半反半透鏡對(duì)應(yīng)設(shè)置，第二半反半透鏡與第二平面反射鏡對(duì)應(yīng)設(shè)置。
[0005]優(yōu)選的，上述光源位于第一透鏡的焦平面上。
[0006]優(yōu)選的，上述光源發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)第一透鏡準(zhǔn)直后在第一半反半透鏡上被分為兩束，被第一平面反射鏡和第二平面反射鏡反射后，又重新聚合在第二半反半透鏡分別透射和反射構(gòu)成重合的相干光束。
[0007]優(yōu)選的，上述第二透鏡設(shè)置在第二半反半透鏡后側(cè)。
[0008]優(yōu)選的，上述第一半反半透鏡和第二半反半透鏡上均貼設(shè)有半反半透膜。
[0009]本實(shí)用新型提供的四邊光路分布型干涉儀特點(diǎn)是兩光束分得很開(kāi)，光束只經(jīng)過(guò)被測(cè)介質(zhì)一次，特別適合用于研究氣體密度迅速變化的狀態(tài)，如檢測(cè)風(fēng)洞中試驗(yàn)飛機(jī)模型產(chǎn)生的空氣漩渦和氣體密度分布，是流場(chǎng)顯示和定量測(cè)量的優(yōu)良工具。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標(biāo)記:1_光源；2_第一透鏡；3_第一半反半透鏡；4_第一平面反射鏡；5-第二平面反射鏡；6_第二半反半透鏡；7_第二透鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0013]如圖1所示，本實(shí)用新型提供的四邊光路分布型干涉儀，由光源1、第一透鏡2、第一半反半透鏡3、第一平面反射鏡4、第二平面反射鏡5、第二半反半透鏡6和第二透鏡7構(gòu)成，其中，依照光線方向依次設(shè)置光源1、第一透鏡2、第一半反半透鏡3和第二平面反射鏡5，第二平面反射鏡5與第一半反半透鏡3對(duì)應(yīng)設(shè)置，第二半反半透鏡6與第二平面反射鏡5對(duì)應(yīng)設(shè)置。光源I位于第一透鏡2的焦平面上。光源I發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)第一透鏡2準(zhǔn)直后在第一半反半透鏡3上被分為兩束，被第一平面反射鏡4和第二平面反射鏡5反射后，又重新聚合在第二半反半透鏡6分別透射和反射構(gòu)成重合的相干光束。第二透鏡7設(shè)置在第二半反半透鏡6后側(cè)。第一半反半透鏡3和第二半反半透鏡6上均貼設(shè)有半反半透膜。
[0014]其工作原理是:本實(shí)用新型提供的四邊光路分布型干涉儀，設(shè)計(jì)了一種呈四邊形光路分布的干涉儀，如圖1所示。光源I位于第一透鏡2的焦平面上，經(jīng)第一透鏡2準(zhǔn)直的光束在第一半反半透鏡3上分成兩束，被第一平面反射鏡4和第二平面反射鏡5反射后，又重新聚合在第二半反半透鏡6分別透射和反射構(gòu)成重合的相干光束。光路A的平面波前與光路A在光路B中的虛平面波前形成等厚干涉，在第二透鏡后的交點(diǎn)P觀察到明暗相間的干涉條紋圖。
[0015]本實(shí)用新型提供的四邊光路分布型干涉儀，特點(diǎn)是兩光束分得很開(kāi)，光束只經(jīng)過(guò)被測(cè)介質(zhì)一次，而傳統(tǒng)干涉儀中的光束是來(lái)回兩次通過(guò)被測(cè)介質(zhì)，因此特別適合用于研究氣體密度迅速變化的狀態(tài)，如檢測(cè)風(fēng)洞中試驗(yàn)飛機(jī)模型產(chǎn)生的空氣漩渦和氣體密度分布，是流場(chǎng)顯示和定量測(cè)量的優(yōu)良工具。
[0016]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種四邊光路分布型干涉儀，其特征在于:所述干涉儀由光源(I)、第一透鏡(2)、第一半反半透鏡(3)、第一平面反射鏡(4)、第二平面反射鏡(5)、第二半反半透鏡(6)和第二透鏡(7)構(gòu)成，其中，依照光線方向依次設(shè)置光源(I)、第一透鏡(2)、第一半反半透鏡(3)和第二平面反射鏡(5)，所述第二平面反射鏡(5)與第一半反半透鏡(3)對(duì)應(yīng)設(shè)置，第二半反半透鏡(6)與第二平面反射鏡(5)對(duì)應(yīng)設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四邊光路分布型干涉儀，其特征在于:光源(I)位于第一透鏡⑵的焦平面上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的四邊光路分布型干涉儀，其特征在于:所述光源(I)發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)第一透鏡(2)準(zhǔn)直后在第一半反半透鏡(3)上被分為兩束，被第一平面反射鏡(4)和第二平面反射鏡(5)反射后，又重新聚合在第二半反半透鏡(6)分別透射和反射構(gòu)成重合的相干光束。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四邊光路分布型干涉儀，其特征在于:所述第二透鏡(7)設(shè)置在第二半反半透鏡(6)后側(cè)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四邊光路分布型干涉儀，其特征在于:所述第一半反半透鏡(3)和第二半反半透鏡(6)上均貼設(shè)有半反半透膜。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種四邊光路分布型干涉儀，由光源(1)、第一透鏡(2)、第一半反半透鏡(3)、第一平面反射鏡(4)、第二平面反射鏡(5)、第二半反半透鏡(6)和第二透鏡(7)構(gòu)成，其中，依照光線方向依次設(shè)置光源(1)、第一透鏡(2)、第一半反半透鏡(3)和第二平面反射鏡(5)，所述第二平面反射鏡(5)與第一半反半透鏡(3)對(duì)應(yīng)設(shè)置，第二半反半透鏡(6)與第二平面反射鏡(5)對(duì)應(yīng)設(shè)置。本實(shí)用新型提供的四邊光路分布型干涉儀特點(diǎn)是兩光束分得很開(kāi)，光束只經(jīng)過(guò)被測(cè)介質(zhì)一次，特別適合用于研究氣體密度迅速變化的狀態(tài)，如檢測(cè)風(fēng)洞中試驗(yàn)飛機(jī)模型產(chǎn)生的空氣漩渦和氣體密度分布，是流場(chǎng)顯示和定量測(cè)量的優(yōu)良工具。
【IPC分類】G02B17/08
【公開(kāi)號(hào)】CN204903853
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520276428
【發(fā)明人】林永東
【申請(qǐng)人】林永東
【公開(kāi)日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年4月28日