一種對比式抗干擾微動角反射鏡激光干涉儀的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種精密測試技術及儀器領域，特別涉及一種對比式抗干擾微動角反射鏡激光干涉儀。
【背景技術】
[0002]激光器的出現(xiàn)，使古老的干涉技術得到迅速發(fā)展，激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點，激光干涉測量技術已經(jīng)比較成熟。激光干涉測量系統(tǒng)應用非常廣泛:精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統(tǒng)如精密機械的控制、校正；大規(guī)模集成電路專用設備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng)；微小尺寸的測量等。目前，在大多數(shù)激光干涉測長系統(tǒng)中，都采用了邁克爾遜干涉儀或類似的光路結構，比如，目前常用的單頻激光干涉儀。
[0003]單頻激光干涉儀是從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接收器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)N，再由電子計算機按計算式L = NX λ/2，式中λ為激光波長，算出可動反射鏡的位移量L。
[0004]在實際使用中，本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，上述的測量結構和測量方法依然存在著不足:
[0005]目前的單頻激光干涉儀還存在受環(huán)境影響嚴重的問題，激光干涉儀可動反光鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接收器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，當為最強相長干涉時，信號超過計數(shù)器的觸發(fā)電平被記錄下來，如果環(huán)境發(fā)生變化，比如空氣湍流，空氣中雜質(zhì)增多，機床油霧，加工時的切削肩對激光束的影響，使得激光束的強度降低，此時，即使是出現(xiàn)最強相長干涉，也有可能強度低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而不被計數(shù)。
[0006]所以，基于上述不足，目前亟需一種即能夠抗環(huán)境干擾，又能夠提高測量精度的激光干涉儀。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實用新型的目的在于針對目前激光干涉儀抗環(huán)境干擾能力差的不足，提供一種能夠抗環(huán)境干擾的激光干涉儀。
[0008]為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型提供了以下技術方案:
[0009]—種對比式抗干擾微動角反射鏡激光干涉儀，包括有激光源、微動角反射鏡、干涉測量光電探測器、移動角反射鏡、分光鏡組和微動平臺，所述微動角反射鏡設置在所述微動平臺上，所述激光源射出的激光束經(jīng)所述分光鏡組后分為第一激光束和第二激光束，第一激光束射向所述微動角反射鏡，經(jīng)所述微動角反射鏡反射后再次射向所述分光鏡組，再經(jīng)分光鏡組后射向所述干涉測量光電探測器，第二激光束射向所述移動角反射鏡，經(jīng)所述移動角反射鏡反射后再次射向所述分光鏡組，經(jīng)分光鏡組后射向所述干涉測量光電探測器，第一激光束與第二激光束在射向所述干涉測量光電探測器時發(fā)生干涉，所述激光干涉儀還包括有反射測量光電探測器，所述第二激光束在由所述移動角反射鏡射向所述分光鏡組后還形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射測量光電探測器。
[0010]作為進一步的優(yōu)選方案，所述分光鏡組包括有第一分光鏡和第二分光鏡，所述激光源射出的激光束先射到第一分光鏡，經(jīng)第一分光鏡反射形成第一激光束，經(jīng)第一分光鏡透射形成第二激光束，第一激光束射向所述微動角反射鏡，經(jīng)反射后再次射向所述第一分光鏡，然后再透射過所述第一分光鏡，所述第二激光束射向所述移動角反射鏡，經(jīng)所述移動角反射鏡反射后射向所述第二分光鏡，經(jīng)所述第二分光鏡透射后射向所述第一分光鏡，并且與從所述第一分光鏡透射出的第一激光束發(fā)生干涉，形成干涉光束后射向所述干涉測量光電探測器，由所述移動角反射鏡射向所述第二分光鏡的所述第二激光束還被所述第二分光鏡反射形成所述反射激光束。
[0011]本申請的激光干涉儀，由于反射測量光電探測器可以測量移動角反射鏡反射激光束的強度，根據(jù)反射激光束的強度確定激光干涉光束的干涉狀態(tài)，如此實現(xiàn)抗環(huán)境干擾的目的。
[0012]作為進一步的優(yōu)選方案，在所述激光源、微動角反射鏡、干涉測量光電探測器、分光鏡組、反射測量光電探測器中任意兩個之間的激光束設置在封閉空間內(nèi)而不與外部環(huán)境空間接觸。在本申請中，激光源、微動角反射鏡、干涉測量光電探測器、分光鏡組和反射測量光電探測器這些部件任意兩個之間的激光束設置在封閉空間內(nèi)，使得在進行測量的過程中，上述這些部件之間的激光束并不會受到環(huán)境因素的影響，進而保證了本申請激光干涉儀的測量精度。
[0013]作為進一步的優(yōu)選方案，所述分光鏡組與所述移動角反射鏡之間的激光束暴露在環(huán)境空氣之中。在實際使用時，移動角反射鏡設置在被測物體上，隨被測物體運動，所以在本申請中，將分光鏡組與移動角反射鏡之間的激光束暴露在環(huán)境空氣之中，首先是使得本申請激光干涉儀結構簡單，同時還方便本申請激光干涉儀的布置。
[0014]本申請還公開了一種用于上述激光干涉儀結構的標定方法，
[0015]—種用于對比式抗干擾微動角反射鏡激光干涉儀的標定方法，包括下述步驟:
[0016]步驟一、位置調(diào)整:調(diào)整好激光源、微動角反射鏡、分光鏡組、干涉測量光電探測器、反射測量光電探測器、移動角反射鏡和微動平臺的位置；
[0017]步驟二、調(diào)整光路:啟動所述激光源，進一步精確調(diào)整微動角反射鏡、分光鏡組、干涉測量光電探測器、反射測量光電探測器、移動角反射鏡和微動平臺的位置，使激光干涉儀的光路達到設計要求；
[0018]步驟三、生成最強干涉數(shù)據(jù)庫:在空氣潔凈的環(huán)境下控制所述微動平臺移動，當射向所述干涉測量光電探測器的干涉光束為最強相長干涉時固定所述微動平臺，記錄此時反射測量光電探測器讀數(shù)和干涉測量光電探測器讀數(shù)，改變空氣環(huán)境使所述反射測量光電探測器讀數(shù)變化，同時記錄若干個反射測量光電探測器讀數(shù)以及對應的干涉測量光電探測器讀數(shù)，得到最強干涉數(shù)據(jù)庫。
[0019]本申請的激光干涉儀結構以及標定方法，在最強相長干涉時，改變測量環(huán)境，記錄反射測量光電探測器讀數(shù)和干涉測量光電探測器讀數(shù)形成最強干涉數(shù)據(jù)庫，在實際測量過程中，如果存在由于環(huán)境因素而導致干涉測量光電探測器不能夠正常檢測到最強相長干涉時，可以根據(jù)反射測量光電探測器讀數(shù)和干涉測量光電探測器讀數(shù)與最強干涉數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)進行比對，如果存在有匹配數(shù)據(jù)，則該位置為最強相長干涉，如此使得本申請的激光干涉儀實現(xiàn)抗環(huán)境干擾的能力。
[0020]作為進一步的優(yōu)選方案，本申請的標定方法還包括有步驟四、生成最弱干涉數(shù)據(jù)庫:在空氣潔凈的環(huán)境下控制所述微動平臺移動，當射向所述干涉測量光電探測器的干涉光束為最弱相消干涉時固定所述微動平臺，記錄此時反射測量光電探測器讀數(shù)和干涉測量光電探測器讀數(shù)，改變空氣環(huán)境使所述反射測量光電探測器讀數(shù)變化，同時記錄若干個反射測量光電探測器讀數(shù)以及對應的干涉測量光電探測器讀數(shù)，得到最弱干涉數(shù)據(jù)庫。
[0021]作為進一步的優(yōu)選方案，還包括有步驟五，生成l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫，η為大于或等2的正整數(shù):在空氣潔凈的環(huán)境下控制所述微動平臺移動，當射向所述干涉測量光電探測器的干涉光束為最強相長干涉時，再繼續(xù)移動1/2η波長的距離，記錄此時反射測量光電探測器讀數(shù)和干涉測量光電探測器讀數(shù)，然后改變空氣環(huán)境使所述反射測量光電探測器讀數(shù)變化，同時記錄若干個反射測量光電探測器讀數(shù)以及對應的干涉測量光電探測器讀數(shù)，得到l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫。
[0022]在兩束激光發(fā)生干涉時，相鄰的最強相長干涉與最弱相消干涉之間的光程差為半個波長，在本申請的標定方法中，對最強相長干涉、最弱相消干涉、l/η波長干涉都進行了標定，也就是說，在采用本申請的激光干涉儀進行實際測量時，可以根據(jù)反射測量光電探測器讀數(shù)和干涉測量光電探測器讀數(shù)與最強干涉數(shù)據(jù)庫、最弱干涉數(shù)據(jù)庫、l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)進行比對，根據(jù)數(shù)據(jù)的匹配情況確定該位置是最強相長干涉、最弱相消干涉還是l/η波長干涉。使得本申請的激光干涉儀不僅能夠抗環(huán)境干擾，而且還提高了測量精度。
[0023]本實用新型還公開了一種采用上述激光干涉儀以及標定方法的測量方法，
[0024]—種采用對比式抗干擾微動角反射鏡