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一種晶圓級測試裝置及方法與流程

文檔序號:12268811閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種晶圓級測試裝置,包括:測試蓋、測試座以及測試板,所述測試蓋用于將WLCSP測試芯片壓入所述測試座,與所述測試座內(nèi)部的測試探針接觸,所述測試座與所述測試板接觸,以通過所述測試探針傳輸所述測試板中輸出的信號到WLCSP測試芯片。

2.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓級測試裝置,其特征在于:所述測試座導(dǎo)向框、基座,所述導(dǎo)向框緊固于所述基座上,所述WLCSP測試芯片通過所述導(dǎo)向框放入所述基座,所述基座內(nèi)設(shè)置有所述測試探針,所述測試探針與所述WLCSP測試芯片接觸, 所述基座固定于所述測試板上。

3.如權(quán)利要求2所述的一種晶圓級測試裝置,其特征在于:所述測試座還包括底板,所述底板用于將所述測試探針安裝于所述基座后的固定。

4.如權(quán)利要求3所述的一種晶圓級測試裝置,其特征在于:所述導(dǎo)向框、基座以及底板均具有多個,以實現(xiàn)多個WLCSP測試芯片的測試。

5.如權(quán)利要求3所述的一種晶圓級測試裝置,其特征在于:所述測試蓋包含鎖扣裝置,所述鎖扣裝置用于將所述測試蓋鎖扣于所述導(dǎo)向框。

6.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓級測試裝置,其特征在于:所述測試探針與所述WLCSP測試芯片的芯片球接觸。

7.一種晶圓級測試方法,包括如下步驟:

步驟一,利用測試蓋將WLCSP測試芯片放入測試座內(nèi),并將測試蓋安裝于測試座上;

步驟二,將所述測試座安裝于連接于測試機的測試板上;

步驟三,根據(jù)芯片測試要求通過測試板、測試探針將信號傳輸?shù)絎LCSP測試芯片端。

8.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓級測試方法,其特征在于,步驟一進一步包括:

將所述WLCSP測試芯片放置于所述測試座的導(dǎo)向框上;

利用所述測試蓋的鎖扣裝置將所述測試蓋鎖扣于所述導(dǎo)向框;

于測試時,通過所述測試蓋的下壓將所述WLCSP測試芯片從所述導(dǎo)向框放入基座,與所述基座內(nèi)的測試探針接觸。

9.如權(quán)利要求8所述的一種晶圓級測試方法,其特征在于: 所述基座固定于所述測試板上。

10.如權(quán)利要求8所述的一種晶圓級測試方法,其特征在于:所述測試探針與所述WLCSP測試芯片的芯片球接觸。

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