專利名稱：交流等離子體顯示屏壁電荷測量方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種交流等離子體顯示屏(以下簡稱AC-PDP)領(lǐng)域，尤其涉及一種實(shí)時(shí)測量交流等離子體顯示屏的壁電荷的方法和裝置。
背景技術(shù)：
目前通用的等離子體顯示屏均采用交流型表面放電結(jié)構(gòu)。AC-PDP正常工作依賴于驅(qū)動(dòng)電壓波形產(chǎn)生合適的壁電荷并進(jìn)行維持。目前存在一些測量壁電荷的方法，采用的原理基本上都是把AC-PDP的放電單元等效為兩個(gè)介質(zhì)電容和一個(gè)氣體放電空間電容的串聯(lián)，在氣體被擊穿后，氣體電容等效為短路。在AC-PDP的某一個(gè)電極上串聯(lián)一個(gè)電容，測量串聯(lián)電容上的電壓并通過計(jì)算得到壁電荷的大小。L.F.Weber在“Measurement of Wall Charge and CapacitanceVariation for a Single Cell in AC Plasma Display Panel”(IEEE Trans.ElectronDevice Vol.ED 24，No.7，pp.864-869.)一文中提出了一種采用電容和電阻的組合來等效AC-PDP的放電單元，等效的放電單元和實(shí)際AC-PDP的放電單元進(jìn)行平衡，消除位移電流的影響，得到壁電荷的值，但AC-PDP放電單元等效電容和電阻在放電的過程中是變化的，所以動(dòng)態(tài)平衡很難實(shí)現(xiàn)。PCT專利WO01/99139公開了一種直接在AC-PDP的電極上串聯(lián)電容，把壁電荷的作用等效為一個(gè)電壓源，通過采樣串聯(lián)電容上的電壓波形計(jì)算顯示單元的等效參數(shù)，然后計(jì)算得出壁電荷。
根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)以上的特點(diǎn)，可知現(xiàn)有AC-PDP壁電荷測量方法和電路存在以下缺點(diǎn)1)現(xiàn)有的壁電荷測量方法是間接的，需要經(jīng)過一系列的測量后計(jì)算出來；2)現(xiàn)有的壁電荷測量方法測量是非實(shí)時(shí)性的；3)現(xiàn)有的壁電荷測量方法是靜態(tài)的，不能測量壁電荷的動(dòng)態(tài)演變過程。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種直接地、實(shí)時(shí)地測量壁電荷動(dòng)態(tài)演變過程的交流等離子體顯示屏壁電荷測量方法；本發(fā)明的另一目的是提出一種實(shí)現(xiàn)上述方法的裝置。
本發(fā)明提出的AC-PDP壁電荷測量方法是利用幾何結(jié)構(gòu)完全相同的兩組電極構(gòu)造兩個(gè)平衡的電路，消除位移電流的影響，得到壁電荷的波形。其測量的步驟如下首先，構(gòu)造兩個(gè)平衡電路，包括測量電路和參考電路，其中，測量電路的測量電極組的幾何結(jié)構(gòu)與參考電路的參考電極組的幾何結(jié)構(gòu)完全相同，但參考電極組所包含的交流等離子體顯示屏的放電單元著火電壓高于所測量的驅(qū)動(dòng)電壓最大值，同時(shí)在測量電極組和參考電極組分別串聯(lián)相同的電容構(gòu)成平衡電路，即構(gòu)成測量電路和參考電路；其次，在測量電路和參考電路上施加相同的驅(qū)動(dòng)波形，在測量電極組中產(chǎn)生位移電流和放電電流，參考電極組中只產(chǎn)生同測量電極組相同的位移電流，測量電極組串聯(lián)的電容同時(shí)對位移電流和放電電流進(jìn)行積分，而參考電極組串聯(lián)的電容只對位移電流積分，最后測量兩個(gè)電容上的電壓差，該電壓差反映了測量電極組中放電電流的積分值，該電壓差和串聯(lián)電容的容值的乘積即是壁電荷的大小。
所述的幾何結(jié)構(gòu)是指交流等離子體顯示屏中各個(gè)電極的形狀和排列方式，障壁的形狀和放電空間的大小，絕緣層的厚度，以及交流等離子體顯示屏前后基板的距離。
構(gòu)造的平衡電路是，參考電極組和測量電極組是設(shè)置在同一個(gè)交流等離子體顯示屏上或分別設(shè)置在兩個(gè)交流等離子體顯示屏上，不對參考電極組所在的部分或整個(gè)交流等離子體顯示屏的前基板的絕緣層面進(jìn)行MgO保護(hù)層的制作。
構(gòu)造的平衡電路是，所述的參考電極組和測量電極組分別設(shè)置在兩個(gè)交流等離子體顯示屏上，只對參考電極組所在的交流等離子體顯示屏充入不易放電的氣體。
測量電極組和參考電極組由兩組顯示電極構(gòu)成時(shí)，測量結(jié)果是與顯示電極對應(yīng)的壁電荷；測量電極組和參考電極組由兩組尋址電極構(gòu)成時(shí)，測量結(jié)果是與尋址電極對應(yīng)的壁電荷。
實(shí)現(xiàn)交流等離子體顯示屏壁電荷的測量方法的裝置，電路測量電路和參考電路、波形發(fā)生器及示波器組成，其改進(jìn)之處在于測量電路由測量電極組和電容C1串聯(lián)構(gòu)成，參考電路由參考電極組和電容C2串聯(lián)構(gòu)成，測量電路同參考電路并聯(lián)后分別連接到兩個(gè)波形發(fā)生器上，測量電路和參考電路的尋址電極連接到另一個(gè)波形發(fā)生器。
本發(fā)明提供了一種用于AC-PDP壁電荷測量的方法和實(shí)現(xiàn)該方法的裝置，利用幾何結(jié)構(gòu)完全相同的兩組電極構(gòu)造兩個(gè)平衡的電路的方法，消除了位移電流的影響，可以準(zhǔn)確地、實(shí)時(shí)地、動(dòng)態(tài)地、直接地測量出AC-PDP放電單元在各種驅(qū)動(dòng)波形下的壁電荷波形。實(shí)現(xiàn)該方法的裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低。


圖1(a)是典型的三電極表面放電型AC-PDP電極分布圖；圖1(b)是典型的三電極表面放電型AC-PDP放電單元結(jié)構(gòu)圖；圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3是采用同一個(gè)AC-PDP構(gòu)造參考電路對掃描電極進(jìn)行測量原理圖，為本發(fā)明專利實(shí)施例之一；圖4是采用同一個(gè)AC-PDP構(gòu)造參考電路對尋址電極進(jìn)行測量原理圖，為本發(fā)明專利實(shí)施例之二；圖5是本發(fā)明專利實(shí)施例之三，參考電路和測量電路分別設(shè)置在兩個(gè)AC-PDP上測量顯示電極壁電荷的結(jié)構(gòu)圖；
圖6是本發(fā)明專利實(shí)施例之四，參考電路和測量電路分別設(shè)置在兩個(gè)AC-PDP上測量尋址電極壁電荷的結(jié)構(gòu)圖；具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。但不限于這些實(shí)施例。
參照圖1(a)、(b)所示，最常見的三電極表面放電型AC-PDP的結(jié)構(gòu)圖，AC-PDP包含了兩個(gè)相對放置的玻璃基板01、06。一對平行的顯示電極，包含掃描電極組031和維持電極組032，位于AC-PDP前面板01上，顯示電極由較寬的透明電極030和較細(xì)的總線電極034構(gòu)成，然后上面覆蓋有一層透明的絕緣層02，絕緣層02上覆蓋有一層保護(hù)膜。尋址電極07垂直于顯示電極，位于后基板06上，尋址電極07上覆蓋有一層絕緣層010，絕緣層010上做有障壁05，在障壁05和絕緣層010構(gòu)成的空間中以一定的順序涂有三色熒光粉。
典型的AC-PDP前面板01使用玻璃基板，玻璃基板經(jīng)過清潔和高溫退火得到高應(yīng)變點(diǎn)的基板。制作透明電極典型030的方法是采用ITO或SnO2膜電極，以ITO為例，制作方法為濺射或離子鍍制作薄膜，然后使用光刻工藝制作成為相應(yīng)的圖案。典型的總線電極034采用銀(Ag)電極或鉻銅鉻(Cr/Cu/Cr)，銀電極典型的制作方法為印刷和光刻、鉻銅鉻典型的制作方法為濺射和光刻。電極上覆蓋有透明的絕緣層02，可采用絲網(wǎng)印刷等方法來制作。MgO是最常用的保護(hù)層材料，最常用的制作方法為電子束沉積的方法，最近發(fā)展的方法有離子電鍍、反應(yīng)濺射等方法。然后在顯示面積的周圍涂覆上玻璃封接層用于把前后面板燒結(jié)到一塊。AC-PDP后基板06常用的制作過程如下首先經(jīng)過清潔和高溫退火，然后制作尋址電極07，制作方法同上面提到的AC-PDP前基板01總線電極034的制作方法。電極上覆蓋有絕緣層010，其制作工藝同AC-PDP前基板01絕緣層02，但它是白色不透明的。障壁05的制作可采用絲網(wǎng)印刷、噴沙、光刻、填充等工藝方法。熒光粉常用的工藝有印刷、涂覆、光刻或電泳沉積的方法。最后把AC-PDP前后基板經(jīng)過對準(zhǔn)、燒結(jié)封裝到一起。然后排氣，采用真工泵抽取放電空間中的氣體，抽成真空后，充入一定配比的氣體。最后經(jīng)過老煉的過程得到最終的AC-PDP。
圖2是本發(fā)明的原理圖。測量電路1由測量電極組11和電容C1串聯(lián)構(gòu)成，參考電路2由參考電極組21和電容C2串聯(lián)構(gòu)成，測量電路1同參考電路2并聯(lián)后分別連接到波形發(fā)生器32和波形發(fā)生器33上，測量電路1同參考電路2的尋址電極連接到波形發(fā)生器31。測量電極組11包含需要測量壁電荷的一定數(shù)目的放電單元，在常規(guī)驅(qū)動(dòng)電壓下，這些放電單元可以正常放電，參考電極組21在幾何結(jié)構(gòu)上同測量電極組11完全相同，并包含同測量電極組11相同數(shù)目的放電單元，但這些放電單元在常規(guī)驅(qū)動(dòng)電壓下不能著火放電。在放電過程中，測量電路1中有位移電流和放電電流同時(shí)流過，串聯(lián)電容C1同時(shí)對測量電路的位移電流和放電電流進(jìn)行積分，而參考電路2中只有位移電流，串聯(lián)電容C2只對位移電流進(jìn)行積分，電容C1和電容C2上的電壓差采用示波器5測量，示波器5采用隔離變壓器浮地供電，探頭的地端接到測量電路1的測量電極組和串聯(lián)電容的連接點(diǎn)上，測量針連接到參考電路的測量電極組和串聯(lián)電容的連接點(diǎn)上。消除了位移電流的影響，可以實(shí)時(shí)反映與測量電極組11對應(yīng)的放電單元的壁電荷波形。
以下為
具體實(shí)施例方式圖3是采用同一個(gè)AC-PDP構(gòu)造參考電路來進(jìn)行掃描電極壁電荷的測量，是本發(fā)明的實(shí)施例之一。AC-PDP測量電極組11所在的部分按照常規(guī)制造工藝進(jìn)行制作，而AC-PDP參考電極組21所在的部分除了不進(jìn)行MgO層的涂覆外，其他工藝與測量電極組11所在的AC-PDP部分相同。AC-PDP參考電極組21所在的部分沒有MgO層，其著火電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于測量電極組11所在的AC-PDP部分。進(jìn)行測量時(shí)，波形發(fā)生器31、32、33產(chǎn)生各種驅(qū)動(dòng)波形。如果所加的驅(qū)動(dòng)波形不能在測量電極組11所包含的放電單元上產(chǎn)生放電，參考電極組21所包含的放電單元也不會(huì)產(chǎn)生放電。此時(shí)，串聯(lián)電容C1和C2上都只對位移電流進(jìn)行積分，流過測量電極組11和參考電極組21的位移電流是完全一致的，在兩個(gè)串聯(lián)電容C1、C2上積分的電壓也就完全一樣，這兩個(gè)串聯(lián)電容電壓差為零，此時(shí)測量電極組11上也沒有壁電荷的積累。如果所加的驅(qū)動(dòng)波形在測量電極組11所包含的放電單元產(chǎn)生放電，而在參考電極組21所包含的放電單元不產(chǎn)生放電，此時(shí)，串聯(lián)電容C1會(huì)同時(shí)積分測量電極組11上流過的位移電流和放電電流，串聯(lián)電容C2僅對流過參考電極組21的位移電流的積分，流過參考電極組21和測量電極組11的位移電流時(shí)完全一致。串聯(lián)電容C1和C2上的電壓差就不為零，此時(shí)測量電極組11就會(huì)產(chǎn)生壁電荷的積累。采用示波器5測量串聯(lián)電容C1和C2的電壓差就可以得到壁電荷的演變過程。
圖4是采用同一個(gè)AC-PDP構(gòu)造參考電路測量尋址電極壁電荷的原理圖，是本發(fā)明實(shí)施例之二。AC-PDP測量電極組11所在的部分按照常規(guī)的制造工藝進(jìn)行制作，AC-PDP參考電極組21所在的部分除了不進(jìn)行MgO層的涂覆外，其他工藝同AC-PDP測量電極組11所在部分的制作工藝完全相同。AC-PDP參考電極組21所在的部分包含的放電單元著火電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)驅(qū)動(dòng)電壓，在進(jìn)行測量時(shí)，參考電路2和測量電路1所加的電壓波形完全一致，產(chǎn)生的位移電流也就完全一致，如果AC-PDP測量電極組11所在的部分有放電并有壁電荷積累而參考電極組21所在的部分不放電，串聯(lián)電容C1上就會(huì)對位移電流和放電電流進(jìn)行積分，串聯(lián)電容C2僅對位移電流進(jìn)行積分，串聯(lián)電容C1和C2的電壓差不為零，測量這個(gè)電壓差就可以得到尋址電極上壁電荷的波形。
圖5是參考電路和測量電路分別設(shè)置在兩個(gè)AC-PDP上測量顯示電極壁電荷的結(jié)構(gòu)圖，是本發(fā)明的實(shí)施例之三。測量電極組11所在的AC-PDP按照常規(guī)的制造工藝進(jìn)行制作，參考電極組21所在的AC-PDP按照同測量電極組11所在的AC-PDP相同的制作工藝進(jìn)行制作，但充氣時(shí)充入不易放電的氣體，例如氮?dú)?、氦氣等。使得參考電極組21所在AC-PDP的著火電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)驅(qū)動(dòng)電壓，而測量電極組11所在的AC-PDP在常規(guī)驅(qū)動(dòng)電壓下可以正常放電。測量電極組11和參考電極組21分別串聯(lián)完全相同的兩個(gè)電容C1和C2構(gòu)成測量電路1和參考電路2，測量電路1和參考電路2并聯(lián)后連接到波形發(fā)生器32、33上。測量電路1和參考電路2所在的兩個(gè)顯示屏的尋址電極連接到同一個(gè)波形發(fā)生器31，維持電極連接到同一個(gè)波形發(fā)生器33。在進(jìn)行壁電荷的測量時(shí)，測量電路1和參考電路2所加的驅(qū)動(dòng)波形完全一樣，測量電路1和參考電路2的位移電流也就完全一樣。當(dāng)外加電壓波形使得測量電極組11所在的AC-PDP放電，而參考電極組21所在的AC-PDP不放電時(shí)，串聯(lián)電容C1對流過測量電極組11的位移電流和放電電流進(jìn)行積分，而串聯(lián)電容C2僅對流過參考電極組21的位移電流進(jìn)行積分，在任意時(shí)刻，流過測量電極組11和參考電極組21的位移電流都是一樣的，所以兩個(gè)串聯(lián)的電容C1和C2上的電壓差就是完全由流過測量電極組11上的放電電流決定，而這個(gè)放電電流同時(shí)也造成了測量電極組所在的AC-PDP放電單元壁電荷的積累。采用示波器5測量這個(gè)電壓差，就可以實(shí)時(shí)地測量測量電極組11所在的AC-PDP掃描電極壁電荷的變化。
圖6是參考電路和測量電路分別設(shè)置在兩個(gè)AC-PDP上測量尋址電極壁電荷的結(jié)構(gòu)圖。測量電極組11所在的AC-PDP按照常規(guī)的制造工藝進(jìn)行制作，參考電極組21所在的AC-PDP按照同測量電極組11所在的AC-PDP相的制造工藝制作，但充氣時(shí)充入不易放電的氣體，例如氮?dú)?、氦氣等。使得參考電極組21所在的AC-PDP的著火電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)驅(qū)動(dòng)電壓，而測量電極組11所在的AC-PDP在常規(guī)驅(qū)動(dòng)電壓下可以正常放電。測量電極組11和參考電極組21分別串聯(lián)完全相同的兩個(gè)電容C1和C2構(gòu)成測量電路1和參考電路2，測量電路1和參考電路2并聯(lián)后連接到波形發(fā)生器31。測量電路1和參考電路2所在的兩個(gè)AC-PDP的掃描電極連接到波形發(fā)生器32，維持電極連接到波形發(fā)生器33。在進(jìn)行壁電荷的測量時(shí)，參考電路2和測量電路1所加的驅(qū)動(dòng)電壓波形完全一樣，其位移電流也就完全一樣。當(dāng)外加電壓波形使得測量電極組11所在的AC-PDP放電，而參考電極組21所在的AC-PDP不放電時(shí)，串聯(lián)電容C1對流過測量電極組11的位移電流和放電電流進(jìn)行積分，而串聯(lián)電容C2只對流過參考電極組21的位移電流進(jìn)行積分，在任意時(shí)刻，流過測量電極組11和參考電極組21的位移電流都是一樣的，所以串聯(lián)電容C1和C2的電壓差完全由流過測量電極組11的放電電流決定，而這個(gè)放電電流同時(shí)也造成了測量電極組11所在的AC-PDP放電單元壁電荷的積累。采用示波器5測量這個(gè)電壓差，就可以實(shí)時(shí)地測量測量電極組11所在的AC-PDP的壁電荷的變化。
另外，圖中，12表示電容C1，22表示電容C2。
綜上所述，本發(fā)明具有下述優(yōu)點(diǎn)1)壁電荷的測量是直接的，在示波器上可以直接地觀察到等離子體顯示屏的壁電荷演變過程；2)壁電荷的測量是實(shí)時(shí)的；3)壁電荷的測量是動(dòng)態(tài)的，可以對準(zhǔn)備期、尋址期、維持期交流等離子體顯示屏放電單元的壁電荷演變過程進(jìn)行測量。
權(quán)利要求
1.一種交流等離子體顯示屏壁電荷的測量方法，其特征在于利用幾何結(jié)構(gòu)完全相同的兩組電極構(gòu)造兩個(gè)平衡的電路，得到壁電荷的波形，具體步驟如下首先，構(gòu)造兩個(gè)平衡電路，包括設(shè)置在交流等離子體顯示屏上的測量電路(1)和參考電路(2)，其中，測量電路(1)的測量電極組(11)的幾何結(jié)構(gòu)與參考電路(2)的參考電極組(21)的幾何結(jié)構(gòu)完全相同，但參考電極組(21)所包含的交流等離子體顯示屏的放電單元著火電壓高于所測量的驅(qū)動(dòng)電壓最大值，同時(shí)在測量電極組(11)和參考電極組(21)分別串聯(lián)相同的電容(12)、(22)構(gòu)成平衡電路；其次，在測量電路(1)和參考電路(2)上施加相同的驅(qū)動(dòng)波形，在測量電極組(11)中產(chǎn)生位移電流和放電電流，參考電極組(21)中只產(chǎn)生同測量電極組(11)相同的位移電流，測量電極組(11)串聯(lián)的電容(12)同時(shí)對位移電流和放電電流進(jìn)行積分，而參考電極組(21)串聯(lián)的電容(22)只對位移電流積分，測量兩個(gè)電容(12)、(22)上的電壓差，該電壓差和串聯(lián)電容(12)、(22)的容值的乘積，即是壁電荷的大小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的交流等離子體顯示屏壁電荷的測量方法，其特征在于所述的幾何結(jié)構(gòu)是指交流等離子體顯示屏中各個(gè)電極的形狀和排列方式，障壁的形狀和放電空間的大小，絕緣層的厚度，以及交流等離子體顯示屏前后基板的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的交流等離子體顯示屏壁電荷的測量方法，其特征在于構(gòu)造的平衡電路是，參考電極組(21)和測量電極組(11)是設(shè)置在同一個(gè)交流等離子體顯示屏上或分別設(shè)置在兩個(gè)交流等離子體顯示屏上，參考電極組(21)所在的部分或整個(gè)交流等離子體顯示屏的前基板的絕緣層面(02)取消MgO保護(hù)層的制作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的交流等離子體顯示屏壁電荷的測量方法，其特征在于構(gòu)造的平衡電路是，所說的參考電極組(21)和測量電極組(11)分別設(shè)置在兩個(gè)交流等離子體顯示屏上，只對參考電極組(21)所在的交流等離子體顯示屏充入不易放電的氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的交流等離子體顯示屏壁電荷的測量方法，其特征在于，測量電極組(11)和參考電極組(21)由兩組顯示電極構(gòu)成時(shí)，測量結(jié)果是與顯示電極對應(yīng)的壁電荷；測量電極組(11)和參考電極組(21)由兩組尋址電極構(gòu)成時(shí)，測量結(jié)果是與尋址電極對應(yīng)的壁電荷。
6.一種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述交流等離子體顯示屏壁電荷的測量方法的裝置，由電路測量電路(1)和參考電路(2)、波形發(fā)生器(31)、(32)、(33)及示波器(5)組成，其特征在于測量電路(1)由測量電極組(11)和電容C1(12)串聯(lián)構(gòu)成，參考電路(2)由參考電極組(21)和電容C2(22)串聯(lián)構(gòu)成，測量電路(1)同參考電路(2)并聯(lián)后分別連接到波形發(fā)生器(32)和波形發(fā)生器(33)上，測量電路(1)和參考電路(2)的尋址電極連接到波形發(fā)生器(31)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的實(shí)現(xiàn)交流等離子體顯示屏壁電荷測量方法的裝置，其特征在于所述串聯(lián)電容(12)、(22)采用相同的電容。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的實(shí)現(xiàn)交流等離子體顯示屏壁電荷測量方法的裝置，其特征在于電容C1和電容C2上的電壓差采用示波器(5)測量，示波器(5)采用隔離變壓器浮地供電，示波器(5)的探頭的地端接到測量電路(1)的測量電極組(11)和串聯(lián)電容C1的連接點(diǎn)上，示波器(5)的探頭的測量針連接到參考電路(2)的參考電極組(21)和串聯(lián)電容C2的連接點(diǎn)上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種交流等離子體顯示屏壁電荷測量方法和實(shí)現(xiàn)該方法的裝置，該方法采用等離子體顯示屏的兩組電極構(gòu)成幾何結(jié)構(gòu)完全相同的測量電極組和參考電極組，測量電極組和參考電極組分別串聯(lián)完全相同的電容器構(gòu)成平衡的測量電路和參考電路，給測量電路和參考電路同時(shí)施加相同的驅(qū)動(dòng)電壓波形，測量電極組所包含的放電單元正常放電而參考電極組所包含的放電單元不放電，測量所述兩個(gè)串聯(lián)電容器上的電壓差，得到與測量電極組對應(yīng)的放電單元中壁電荷波形。該方法消除了位移電流的影響，可實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確地測量交流等離子體顯示屏的壁電荷。實(shí)現(xiàn)該方法的裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低。
文檔編號H01J9/42GK1545119SQ20031010592
公開日2004年11月10日 申請日期2003年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月13日
發(fā)明者梁志虎, 劉祖軍, 劉純亮 申請人:西安交通大學(xué)