專利名稱：等離子體顯示屏的制造方法以及焙燒裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子體顯示屏(以下，記為PDP或者顯示屏)的制造方法以及焙燒裝置，等離子體顯示屏作為大畫面、既薄又輕的顯示裝置已為人們所熟知。
背景技術(shù)：
PDP通過氣體放電發(fā)生紫外線，用該紫外線激勵熒光體發(fā)光，進行彩色顯示，大致地講，在驅(qū)動方式中有AC型和DC型，在放電形式中有面放電型和相對放電型的兩種。從高精度、大畫面以及制造的簡便性出發(fā)，當(dāng)前等離子體顯示屏的主流是3電極構(gòu)造的面放電型。3電極面放電型PDP的構(gòu)造在一方的基板上具有平行鄰接的顯示電極對，在另一方的基板上具有沿著與顯示電極交差的方向排列的地址電極，隔墻以及熒光體層，能夠比較厚制作熒光體層，適合于由熒光體進行的彩色顯示。
PDP與液晶顯示屏相比較能夠進行高速顯示，視角寬，容易大型化，而且由于是自發(fā)光因此顯示品質(zhì)高。從而，最近在平面屏顯示器中特別引起人們的注意，作為大量人組聚集場所中的顯示裝置或者家庭中用于欣賞大畫面影像的顯示裝置，在各種用途中使用。
作為制造PDP的方法，例如通過反復(fù)進行印刷、干燥、焙燒各工序的厚膜工序，順序形成電極或者電介質(zhì)體層等顯示屏構(gòu)造物，做成正面基板和背面基板，然后，密封粘接正面基板與背面基板。
而且，干燥或者焙燒的各工序例如由具有沿著基板傳送方向并列配置了多個滾子的傳送裝置，用該傳送裝置傳送基板的同時進行干燥或者焙燒的所謂滾柱爐底式連續(xù)型焙燒裝置(以下，記為焙燒裝置)進行。這時的溫度圖形是把基板升溫到預(yù)定的干燥或者焙燒溫度，而且在該溫度下保持預(yù)定時間，進行干燥或者焙燒，然后進行降溫。
但是，在上述的制造方法中，特別是在對于基板的熱負(fù)荷大的焙燒時，有時基板變形或者斷裂。作為其原因認(rèn)為是當(dāng)基板傳送到焙燒裝置內(nèi)時，在基板上，在傳送方向的前部與后部產(chǎn)生溫差，如果在該狀態(tài)下加熱到焙燒溫度，則該溫差在焙燒時為最大，其結(jié)果在基板中產(chǎn)生熱應(yīng)力，以至于變形或者斷裂。
另外，即使在基板中沒有發(fā)生變形或者斷裂等問題的情況下，由于在基板中發(fā)生溫度分布，因此在形成于基板上的顯示屏構(gòu)造物的干燥或者焙燒時，在基板的前后產(chǎn)生熱經(jīng)歷的差異，發(fā)生對于顯示屏構(gòu)造物的品質(zhì)的惡劣影響。
上述的問題在為了與顯示屏的大畫面相對應(yīng)而加大基板的情況下或者以高生產(chǎn)率為目的提高傳送速度的情況下表現(xiàn)得更為明顯。
本發(fā)明是鑒于這樣的現(xiàn)狀而產(chǎn)生的，目的在于實現(xiàn)對于基板，在傳送方向的前部與后部不產(chǎn)生溫差，能夠良好地焙燒的PDP的制造方法以及在其制造中使用的焙燒裝置。
發(fā)明的公開本發(fā)明的PDP的制造方法在進行基板傳送的同時進行基板加熱，至少具有以第1溫度梯度加熱到第1溫度T1(℃)的升溫步驟；從第1溫度T1(℃)以比第1溫度梯度小的第2溫度梯度加熱的轉(zhuǎn)移步驟；以比第1溫度T1(℃)高的第2溫度T2(℃)保持預(yù)定時間的保溫步驟。
通過采用以這樣的溫度圖形進行基板加熱的PDP的制造方法，在焙燒時，在基板的前部與后部不成生很大的溫差。由此，在基板上也不發(fā)生很大的熱應(yīng)力，不至于產(chǎn)生基板的變形或者斷裂。
附圖的簡單說明圖1是示出用本發(fā)明實施形態(tài)的等離子體顯示屏的制造方法制造的等離子體顯示屏的結(jié)構(gòu)的剖面立體圖。
圖2是示出該顯示屏的制造方法的工序的工序流程圖。
圖3是示出該顯示屏的焙燒裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖4是圖3中的X-X剖面向視圖。
圖5示出本發(fā)明實施形態(tài)的等離子體顯示屏的制造方法以及制造裝置中的基板焙燒的溫度圖形的一個例子。
圖6示出該顯示屏的制造方法以及制造裝置中的基板焙燒的溫度圖形的又一個例子。
用于實施發(fā)明的最佳形態(tài)以下使用


本發(fā)明的一個實施形態(tài)。
圖1是示出用本發(fā)明實施形態(tài)的PDP制造方法制造的PDP的結(jié)構(gòu)的剖面立體圖。PDP由正面基板1和背面基板2構(gòu)成。正面基板1例如形成在由通過浮法制造的硼硅鈉系列玻璃等構(gòu)成的玻璃基板等透明而且絕緣性的基板3上，由使得掃描電極4與維持電極5成對的條紋形的顯示電極6，形成為覆蓋顯示電極組6的電介質(zhì)體層7，形成在電介質(zhì)體層7上的由MgO構(gòu)成的保護膜8構(gòu)成。另外，掃描電極4以及維持電極5由例如用ITO那樣透明而且導(dǎo)電性的材料形成的透明電極4a、5a，形成為電連接到該透明電極4a、5a上的例如由Ag構(gòu)成的總線電極4b、5b構(gòu)成。
另外，背面基板2在與基板3相對配置的基板9上，由與顯示電極6正交的方向形成的地址電極10，形成為覆蓋該地址電極10的電介質(zhì)體層11，在地址電極10之間的電介質(zhì)體層11上與地址電極10平行并且條紋形地形成的多個隔墻12和形成在該隔墻12之間的熒光體層13構(gòu)成。另外，為了進行彩色顯示，熒光體層13通常順序配置紅、綠、藍的3種顏色。
而且，PDP成為以上述的正面基板1和背面基板2把微小的放電空間夾在中間使得顯示電極6與地址電極10正交那樣相對配置的狀態(tài)下，通過密封部件(未圖示)把周圍密封的結(jié)構(gòu)，在放電空間中封入混合了氖以及氙等的放電氣體。
該PDP的放電空間由隔墻12劃分為多個小區(qū)，使得在該隔墻12之間形成作為單位發(fā)光區(qū)的多個放電裝置那樣設(shè)置顯示電極6，正交地配置顯示電極6與地址電極10。而且，通過加入在地址電極10以及顯示電極6上的周期性電壓發(fā)生放電，通過把由該放電產(chǎn)生的紫外線照射到熒光體層13上變換為可見光，進行圖像顯示。
其次，使用圖2說明上述結(jié)構(gòu)的PDP的制造方法。圖2示出本發(fā)明實施形態(tài)的PDP的制造方法的工序。
首先，敘述制造正面基板1的正面基板制造工序。正面基板制造工序具有在接受了基板3的基板接受工序(S11)以后，在基板3上形成顯示電極6的顯示電極形成工序(S12)。顯示電極形成工序(S12)具有形成透明電極4a以及5a的透明電極形成工序(S12-1)和隨后進行的形成總線電極4b以及5b的總線電極形成工序(S12-2)。進而，總線電極形成工序(S12-2)具有通過絲網(wǎng)印刷等涂敷例如Ag等導(dǎo)電性膠的導(dǎo)電性膠涂敷工序(S12-2-1)和隨后焙燒涂敷的導(dǎo)電性膠的導(dǎo)電性膠焙燒工序(S12-2-2)。
進而，正面基板制造工序具有形成電介質(zhì)體層7使得覆蓋在由顯示電極形成工序(S12)形成的顯示電極6上的電介質(zhì)體層形成工序(S13)。電介質(zhì)體層形成工序(S13)具有用絲網(wǎng)印刷法涂敷包含鉛系列的玻璃材料(其組成例如是氧化鉛[PbO]70重量％，氧化硼[B2O3]15重量％，氧化硅[SiO2]15重量％。)的膠的玻璃膠涂敷工序(S13-1)，以及隨后焙燒涂敷了的玻璃材料的玻璃膠焙燒工序(S13-2)。
進而，上述正面基板制造工序具有在電介質(zhì)體層7的表面用真空蒸鍍法等形成氧化鎂(MgO)等的保護膜8的保護膜形成工序(S14)。通過這些工序制造正面基板1。
其次，說明制造背面基板2的背面基板制造工序。背面基板制造工序具有在接受了基板9的基板接受工序(S21)以后在基板9上形成地址電極10的地址電極形成工序(S22)。另外，地址電極形成工序(S22)具有用絲網(wǎng)印刷法等涂敷例如Ag等導(dǎo)電性膠的導(dǎo)電性膠涂敷工序(S22-1)，以及隨后焙燒涂敷了的導(dǎo)電性膠的導(dǎo)電性膠焙燒工序(S22-2)。
進而，背面基板制造工序具有在地址電極10上形成電介質(zhì)體層11的電介質(zhì)體層形成工序(S23)。電介質(zhì)體層形成工序(S23)具有用絲網(wǎng)印刷等涂敷包括TiO2粒子和電介質(zhì)體玻璃珠的電介質(zhì)體用膠的電介質(zhì)體用膠涂敷工序(S23-1)，以及隨后焙燒涂敷了電介質(zhì)體用膠的電介質(zhì)體用膠焙燒工序(S23-2)。
進而，背面基板制造工序具有在電介質(zhì)體層11上的地址電極10之間形成隔墻12的隔墻形成工序(S24)。隔墻形成工序(S24)具有用印刷等涂敷包含玻璃珠的隔墻用膠的隔墻用膠涂敷工序(S24-1)，以及隨后焙燒涂敷了隔墻用膠的隔墻用膠焙燒工序(S24-2)。
進而，背面基板制造工序具有在隔墻12之間形成熒光體層13的熒光體層形成工序(S25)。熒光體層形成工序(S25)具有制作紅色、綠色、藍色的各顏色熒光體膠，把它們涂敷在隔墻之間的間隙中的熒光體膠涂敷工序(S25-1)，以及隨后焙燒涂敷了的熒光體膠的熒光體膠焙燒工序(S25-2)。通過這些工序制造背面基板2。
其次，說明以上那樣制造的正面基板1與背面基板2的密封和隨后的真空排氣以及放電氣體封入。首先，具有在正面基板1以及背面基板2的某一方或者兩方中形成由密封用玻璃料構(gòu)成的密封構(gòu)件的密封構(gòu)件形成工序(S31)。密封構(gòu)件形成工序(S31)具有涂敷密封用玻璃膠的工序(S31-1)，以及隨后為了去除涂敷了的玻璃膠內(nèi)的樹脂成分等進行暫時焙燒的玻璃膠暫時焙燒工序(S31-2)。
另外，具有用于使正面基板1的顯示電極6與背面基板2的地址電極10正交相對那樣疊合的疊合工序(S32)，具有隨后加熱疊合了兩個基板通過使密封構(gòu)件軟化進行密封的密封工序(S33)。進而，具有把由密封了的兩個基板形成的微小放電空間進行真空排氣的同時焙燒顯示屏的排氣·烘焙工序(S34)，然后，經(jīng)過以預(yù)定的壓力封入放電氣體的放電氣體封入工序(S35)完成顯示屏(S36)。
圖3是在本發(fā)明實施形態(tài)的PDP的制造中使用的焙燒裝置的概略結(jié)構(gòu)的剖面圖，圖4是圖3中的X-X剖面向視圖。使用圖3、圖4敘述本發(fā)明的PDP的焙燒裝置。如圖2所示，在PDP的制造工序中，在作為顯示屏構(gòu)造物15的總線電極4b、5b，電介質(zhì)體層7，地址電極10，電介質(zhì)體層11，隔墻12，熒光體層13以及密封構(gòu)件(未圖示)等的形成工序中大多使用焙燒工序。
焙燒裝置14具備傳送形成了上述顯示屏構(gòu)造物15的基板16的傳送裝置18和焙燒設(shè)置了顯示屏構(gòu)造物15的基板16的焙燒裝置19?；?6是PDP的正面基板1的基板3或者背面基板2的基板9。
傳送裝置18由對于傳送方向排列的多個滾子20構(gòu)成。在傳送設(shè)置了顯示屏構(gòu)造物15的基板16時，從使得基板16不被滾子20劃傷等的觀點出發(fā)，實施在裝定器17上裝載形成了顯示屏構(gòu)造物15的基板16(以下，記為被焙燒物21)傳送的方法。
焙燒裝置19是在焙燒裝置14的內(nèi)部設(shè)置的例如多個加熱器22。而且，焙燒裝置14的內(nèi)部沿著被焙燒物21的傳送方向分割為若干個區(qū)域114a～114h。而且，能夠在各個區(qū)域獨立地控制加熱器22的溫度條件，通過與由滾子20進行的傳送相配合，能夠以任意的溫度圖形焙燒被焙燒物21。
其次，示出該焙燒裝置中的溫度圖形的一個例子。圖5示出在本發(fā)明實施形態(tài)的PDP的制造方法中的焙燒工序中的溫度圖形的一個例子。橫軸的區(qū)域14a～14h與圖3所示的焙燒裝置14的區(qū)域114a～114h相對應(yīng)。圖5中，區(qū)域14a～14c是基于升溫步驟的升溫區(qū)，區(qū)域14d是基于轉(zhuǎn)移步驟的轉(zhuǎn)移區(qū)，區(qū)域14e是基于保溫步驟的保溫區(qū)，區(qū)域14f～14h是基于降溫步驟的降溫區(qū)。
被焙燒物21在升溫區(qū)14a～14c中，被加熱到低于預(yù)定焙燒溫度T2(℃)的溫度T1(℃)，進而在轉(zhuǎn)移區(qū)中，從低于焙燒溫度T2(℃)的溫度T1(℃)開始，用比在升溫步驟中的第1溫度梯度小的第2溫度梯度進行加熱。
通過存在該轉(zhuǎn)移區(qū)，在升溫區(qū)14a～14c中，即使在基板16的傳送方向的前部和后部產(chǎn)生溫差的情況下，由于轉(zhuǎn)移區(qū)中的溫度梯度小，因此在緩和該溫差的同時升溫到預(yù)定的焙燒溫度T2(℃)。其結(jié)果，在開始保溫區(qū)中的保溫步驟之前，減小被焙燒物21在基板16的傳送方向中的前部與后部的溫差。從而，不發(fā)生在焙燒時助長基板16前部與后部的溫差使基板16變形或者斷裂等問題，以及對于形成在基板16上的顯示屏構(gòu)造物15的焙燒的熱經(jīng)歷差別很大，對焙燒后的品質(zhì)帶來惡劣影響的問題等。
另外，由于存在著緩和在升溫區(qū)中發(fā)生的基板16的傳送方向的前部與后部的溫差的轉(zhuǎn)移區(qū)，因此在升溫區(qū)中的升溫步驟中，不需要考慮在開始保溫區(qū)中的保溫步驟之前發(fā)生基板16前部與后部的溫差，從而能夠較大地設(shè)定升溫區(qū)中的溫度梯度，其結(jié)果能夠提高焙燒工序的成品率。
這里，作為第1溫度T1(℃)和第2溫度T2(℃)，如果具有0.9×T2≤T1＜T2的關(guān)系，則對于緩和轉(zhuǎn)移區(qū)中的基板16前部與后部的溫差很有利，因而非常理想。
進而，從緩和轉(zhuǎn)移區(qū)中的基板16前部與后部的溫差這樣的觀點出發(fā)，在轉(zhuǎn)移區(qū)中的轉(zhuǎn)移步驟中，基板傳送最好是間歇傳送。即，分別使?jié)L子20的傳送速度可變，特別是在轉(zhuǎn)移區(qū)中，在預(yù)定溫度的環(huán)境中保持預(yù)定時間，然后，通過傳送到保溫區(qū)，能夠減小基板16前部與后部的溫差。
另外，圖6中示出溫度圖形的其它例子。這是使得轉(zhuǎn)移區(qū)14d中的溫度梯度為0那樣，即成為恒定溫度那樣控制轉(zhuǎn)移區(qū)中的加熱狀態(tài)的例子。根據(jù)該例子，能夠進一步提高緩和基板16前部與后部的溫差的效果。另外，這時發(fā)生作為從轉(zhuǎn)移區(qū)14d向保溫區(qū)14e的溫度急劇上升部分的A部分，但是如果第1溫度T1(℃)與第2溫度T2(℃)的關(guān)系是0.9×T2≤T1＜T2，則能夠排除對于基板16的影響。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性如果依據(jù)本發(fā)明的等離子體顯示屏的制造方法以及焙燒裝置，則由于設(shè)置在達到焙燒顯示屏構(gòu)造物的溫度區(qū)之前，緩和發(fā)生基板前部與后部的溫差的轉(zhuǎn)移區(qū)，因此對于基板，能夠?qū)崿F(xiàn)在傳送方向的前部與后部不發(fā)生溫差，能夠良好地焙燒的PDP的制造方法以及在PDP的制造中使用的焙燒裝置。
權(quán)利要求
1.一種等離子體顯示屏的制造方法，該等離子體顯示屏的制造方法在傳送基板的同時進行基板加熱，具有用第1溫度梯度至少加熱到第1溫度T1(℃)的升溫步驟；從上述第1溫度T1(℃)開始，用小于上述第1溫度梯度的第2溫度梯度進行加熱的轉(zhuǎn)移步驟；用高于上述第1溫度T1(℃)的第2溫度T2(℃)保持預(yù)定時間的保溫步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示屏的制造方法，其中，上述第1溫度T1(℃)與上述第2溫度T2(℃)為0.9×T2≤T1＜T2。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示屏的制造方法，其中，轉(zhuǎn)移步驟中的第2溫度梯度為零。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3的任一項所述的等離子體顯示屏的制造方法，其中，轉(zhuǎn)移步驟中的基板傳送是間歇傳送。
5.一種等離子體顯示屏的焙燒裝置，該等離子體顯示屏的焙燒裝置具有進行基板傳送的傳送裝置和進行由該傳送裝置傳送來的基板的焙燒的焙燒裝置，上述基板焙燒時的溫度圖形具有用第1溫度梯度至少加熱到第1溫度T1(℃)的升溫區(qū)；從上述第1溫度T1(℃)開始，用小于上述第1溫度梯度的第2溫度梯度進行加熱的轉(zhuǎn)移區(qū)；用高于上述第1溫度T1(℃)的第2溫度T2(℃)保持預(yù)定時間的保溫區(qū)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子體顯示屏的焙燒裝置，其中，上述第1溫度T1(℃)與上述第2溫度T2(℃)為0.9×T2≤T1＜T2。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子體顯示屏的焙燒裝置，其中，轉(zhuǎn)移區(qū)中的第2溫度梯度為零。
8.根據(jù)權(quán)利要求5～7的任一項所述的等離子體顯示屏的焙燒裝置，其中，轉(zhuǎn)移區(qū)中的基板傳送是間歇傳送。
全文摘要
本發(fā)明設(shè)置在達到焙燒等離子體顯示屏構(gòu)造物的溫度區(qū)之前，緩和發(fā)生基板前部與后部的溫差的轉(zhuǎn)移區(qū)，因此對于基板，能夠?qū)崿F(xiàn)在傳送方向的前部與后部不發(fā)生溫差，能夠良好地焙燒的等離子體顯示屏的制造方法以及在等離子體顯示屏的制造中使用的焙燒裝置。
文檔編號H01J11/22GK1545714SQ0380083
公開日2004年11月10日 申請日期2003年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月3日
發(fā)明者
弘恭, 辻弘恭, 森田真登, 登, 教, 鈴木雅教 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社