一隨動導桿驅動器9滑動設置在框架1上，第二隨動導桿驅動器10滑動設置在框架1上；第一直線導桿7的一端垂直安裝在第一隨動導桿驅動器9上，第二直線導桿8的一端垂直安裝在第二隨動導桿驅動器10上；第一直線導桿7的另一端滑動鑲嵌在第一直線滑動軸承5內(nèi)，第二直線導桿8的另一端滑動鑲嵌在第二直線滑動軸承6內(nèi)，當公轉電機2在逆時針旋轉180度后再順時針旋轉180度的循環(huán)過程中時，第一直線導桿7能在第一直線滑動軸承5內(nèi)做直線滑動，能限制第一工作臺總成3的第一上平臺3-1的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器9能跟隨第一直線導桿7的往復直線滑動動作在框架1上做往復直線滑動；第二直線導桿8能在第二直線滑動軸承6內(nèi)做直線滑動，能限制第二工作臺總成4的第二上平臺4-1的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器10能跟隨第二直線導桿8的往復直線滑動動作在框架1上做往復直線滑動；所述第一直線滑動軸承5和第二直線滑動軸承6可用氣浮式直線滑動軸承替換，而能將摩擦阻力減到最?。坏谝浑S動導桿驅動器9和第二隨動導桿驅動器10器由直線電機、氣足裝置搭建組成。
[0014]上述一種雙工件臺換臺自轉裝置的使用方法如下:工作時，公轉電機2的第一抓卡機構2-1抓卡在第一工作臺總成3的第一環(huán)形座3-2上，公轉電機2的第二抓卡機構2-2抓卡在第二工作臺總成4的第二環(huán)形座4-2上；當公轉電機2逆時針旋轉180度時，第一直線導桿7能在第一直線滑動軸承5內(nèi)做直線滑動，能限制第一工作臺總成3的第一上平臺3-1的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器9能在其直線電機的驅動下跟隨第一直線導桿7的直線滑動動作在框架1上做直線滑動；第二直線導桿8能在第二直線滑動軸承6內(nèi)做直線滑動，能限制第二工作臺總成4的第二上平臺4-1的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器10能在其直線電機的驅動下跟隨第二直線導桿8的直線滑動動作在框架1上做直線滑動；當公轉電機2再順時針旋轉180度時，第一直線導桿7能在第一直線滑動軸承5內(nèi)做直線滑動，能限制第一工作臺總成3的第一上平臺3-1的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器9能在其直線電機的驅動下跟隨第一直線導桿7的直線滑動動作在框架1上做直線滑動；第二直線導桿8能在第二直線滑動軸承6內(nèi)做直線滑動，能限制第二工作臺總成4的第二上平臺4-1的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器10能在其直線電機的驅動下跟隨第二直線導桿8的直線滑動動作在框架1上做直線滑動。完成一個工作周期。
【主權項】
1.一種雙工件臺換臺自轉裝置，其特征在于它包括框架(1)、公轉電機(2)、第一工作臺總成(3)、第二工作臺總成(4)、第一直線滑動軸承(5)、第二直線滑動軸承(6)、第一直線導桿(7)、第二直線導桿(8)、第一隨動導桿驅動器(9)、第二隨動導桿驅動器(10);第一工作臺總成(3)由第一上平臺(3-1)和第一環(huán)形座(3-2)組成；第一環(huán)形座(3-2)通過氣浮軸承轉動套接在第一上平臺(3-1)的下端轉軸上；第二工作臺總成(4)由第二上平臺(4-1)和第二環(huán)形座(4-2)組成；第二環(huán)形座(4-2)通過氣浮軸承轉動套接在第二上平臺(4-1)的下端轉軸上；公轉電機(2)設置在框架(1)的中心位置上，公轉電機(2)的第一抓卡機構(2-1)抓卡在第一工作臺總成(3)的第一環(huán)形座(3-2)上，公轉電機(2)的第二抓卡機構(2-2)抓卡在第二工作臺總成(4)的第二環(huán)形座(4-2)上，第一直線滑動軸承(5)安裝在第一上平臺(3-1)下端面上，第二直線滑動軸承(6)安裝在第二上平臺(4-1)下端面上，第一隨動導桿驅動器(9)滑動設置在框架(1)上，第二隨動導桿驅動器(10)滑動設置在框架(1)上；第一直線導桿(7)的一端垂直安裝在第一隨動導桿驅動器(9)上，第二直線導桿(8)的一端垂直安裝在第二隨動導桿驅動器(10)上；第一直線導桿(7)的另一端滑動鑲嵌在第一直線滑動軸承(5)內(nèi)，第二直線導桿(8)的另一端滑動鑲嵌在第二直線滑動軸承(6)內(nèi)，當公轉電機(2)在逆時針旋轉180度后再順時針旋轉180度的循環(huán)過程中時，第一直線導桿(7)能在第一直線滑動軸承(5)內(nèi)做直線滑動，能限制第一工作臺總成(3)的第一上平臺(3-1)的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器(9)能跟隨第一直線導桿(7)的往復直線滑動動作在框架(1)上做往復直線滑動；第二直線導桿(8)能在第二直線滑動軸承(6)內(nèi)做直線滑動，能限制第二工作臺總成(4)的第二上平臺(4-1)的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器(10)能跟隨第二直線導桿(8)的往復直線滑動動作在框架(1)上做往復直線滑動；所述第一直線滑動軸承(5)和第二直線滑動軸承(6)可用氣浮式直線滑動軸承替換，而能將摩擦阻力減到最??；第一隨動導桿驅動器(9)和第二隨動導桿驅動器(10)器由直線電機、氣足裝置搭建組成。2.根據(jù)權利要求1所述的一種雙工件臺換臺自轉裝置的使用方法，其特征在于:工作時，公轉電機(2)的第一抓卡機構(2-1)抓卡在第一工作臺總成(3)的第一環(huán)形座(3-2)上，公轉電機(2)的第二抓卡機構(2-2)抓卡在第二工作臺總成(4)的第二環(huán)形座(4-2)上；當公轉電機(2)逆時針旋轉180度時，第一直線導桿(7)能在第一直線滑動軸承(5)內(nèi)做直線滑動，能限制第一工作臺總成(3)的第一上平臺(3-1)的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器(9)能在其直線電機的驅動下跟隨第一直線導桿(7)的直線滑動動作在框架(1)上做直線滑動；第二直線導桿(8)能在第二直線滑動軸承(6)內(nèi)做直線滑動，能限制第二工作臺總成(4)的第二上平臺(4-1)的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器(10)能在其直線電機的驅動下跟隨第二直線導桿(8)的直線滑動動作在框架(1)上做直線滑動；當公轉電機(2)再順時針旋轉180度時，第一直線導桿(7)能在第一直線滑動軸承(5)內(nèi)做直線滑動，能限制第一工作臺總成(3)的第一上平臺(3-1)的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器(9)能在其直線電機的驅動下跟隨第一直線導桿(7)的直線滑動動作在框架(1)上做直線滑動；第二直線導桿(8)能在第二直線滑動軸承(6)內(nèi)做直線滑動，能限制第二工作臺總成(4)的第二上平臺(4-1)的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器(10)能在其直線電機的驅動下跟隨第二直線導桿(8)的直線滑動動作在框架(1)上做直線滑動，完成一個工作周期。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種雙工件臺換臺自轉裝置，包括框架、公轉電機、第一工作臺總成、第二工作臺總成、第一直線滑動軸承、第二直線滑動軸承、第一直線導桿、第二直線導桿、第一隨動導桿驅動器、第二隨動導桿驅動器。本發(fā)明具有以下優(yōu)點：1、解決了以往旋轉換臺方案硅片臺相位反轉與光學系統(tǒng)配套難的問題。2、將工件臺自轉的旋轉運動轉化為撥桿驅動器的直線運動，可以減小控制系統(tǒng)的設計難度。3、使隨動導桿驅動器與其他直線電機共用Y向導軌上的測量裝置，避免了旋轉驅動實現(xiàn)自轉的測量機構的使用，降低了成本。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN105319868
【申請?zhí)枴緾N201510478240
【發(fā)明人】楊海林
【申請人】楊海林
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2015年8月6日