傳感器561之間的間隔物562，所述間隔物562用于提供懸式透鏡系統(tǒng)550與影像傳感器561之間的所要隔距。間隔物562可具有不同于圖5中所說明的形狀的形狀而不背離關(guān)于此的范疇。在圖5中未說明的另一實(shí)施例中，基板541以及影像傳感器561中的一個(gè)或兩者包含提供懸式透鏡550與影像傳感器561之間的所要隔距以使得可省略間隔物562的特征。
[0063]雖然圖5中未說明，但懸式透鏡系統(tǒng)550、成像系統(tǒng)560以及成像系統(tǒng)570可組態(tài)有具有相反定向的懸式透鏡系統(tǒng)540，以使得間隔物552接觸基板541且間隔物562接觸透鏡511而不背離關(guān)于此的范疇。
[0064]圖6是用于制造包含兩個(gè)懸式透鏡的懸式透鏡系統(tǒng)的一種例示性晶圓級方法600的流程圖。圖7以橫截面?zhèn)纫晥D示意性地說明一個(gè)例示性雙層懸式透鏡晶圓710、一個(gè)例示性雙層懸式透鏡系統(tǒng)720、一個(gè)例示性雙層懸式透鏡系統(tǒng)730 (包含雙層懸式透鏡系統(tǒng)720以及波長濾波器)、一個(gè)例示性成像系統(tǒng)740 (包含雙層懸式透鏡系統(tǒng)720以及影像傳感器)以及一個(gè)例示性成像系統(tǒng)750 (包含雙層懸式透鏡系統(tǒng)740以及波長濾波器)。圖7未按比例繪制。最好一同觀察圖6以及圖7。晶圓級方法600可用于例如制造雙層懸式透鏡系統(tǒng)720、雙層懸式透鏡系統(tǒng)730、成像系統(tǒng)740、成像系統(tǒng)750、圖1的相機(jī)100或圖3的成像系統(tǒng)300。雙層懸式透鏡系統(tǒng)720以及730是成像物鏡110 (圖1)以及成像系統(tǒng)300 (圖3)的成像物鏡的實(shí)施例，所述成像系統(tǒng)300由懸式透鏡310 (圖3)以及302 (圖3)與基板315 (圖3)形成。成像系統(tǒng)740以及750是相機(jī)100 (圖1)以及成像系統(tǒng)300 (圖3)的實(shí)施例。
[0065]在步驟610中，方法600執(zhí)行方法400 (圖4)的步驟410以形成圖5的透鏡陣列510。在步驟620中，形成懸式透鏡晶圓530 (圖5)，如關(guān)于圖4以及圖5所論述。使用透鏡陣列510 (圖5)以及基板520 (圖5)的第一側(cè)藉由執(zhí)行方法400 (圖4)的步驟420來形成懸式透鏡晶圓530 (圖5)。在步驟630中，方法600執(zhí)行方法400 (圖4)的步驟410以形成透鏡陣列711。透鏡陣列711是圖5的透鏡陣列510的實(shí)施例。透鏡陣列711包含具有凹表面713以及對置的光學(xué)表面714的至少一個(gè)懸式透鏡712。透鏡712是單件透鏡。透鏡712是懸式透鏡112的實(shí)施例，且凹表面713以及光學(xué)表面714分別是凹表面512 (圖5)以及光學(xué)表面513(圖5)的實(shí)施例。光學(xué)表面714可為凹面、凸面、平面或其組合。在步驟640中，方法600執(zhí)行方法400 (圖4)的步驟420以形成雙層懸式透鏡晶圓710。透鏡陣列711可包含多于或少于圖7中所說明的透鏡712的透鏡712而不背離關(guān)于此的范疇。出于說明的清晰性，圖7中并未標(biāo)記所有透鏡712、凹表面713以及光學(xué)表面714。透鏡陣列711被結(jié)合至基板520的第二側(cè)(其與步驟620中所使用的基板520的第一側(cè)相反)以使得凹表面713面向基板520。在一實(shí)施例中，基板520實(shí)質(zhì)上為平面基板且僅接觸透鏡陣列510以及711的實(shí)質(zhì)上平面部分。雖然圖6將步驟630說明為是在步驟620之后且在步驟640之前執(zhí)行的，但可在步驟640之前的任何時(shí)間點(diǎn)執(zhí)行步驟630而不背離關(guān)于此的范疇。
[0066]在任選步驟650中，切割雙層懸式透鏡晶圓710以形成一或多個(gè)個(gè)別雙層懸式透鏡系統(tǒng)720。雙層懸式透鏡系統(tǒng)720包含基板541、懸式透鏡511、懸式透鏡712以及視情況擋止孔隙522。凹表面512以及713面向基板541。
[0067]在一實(shí)施例中，方法600包含步驟660，其中方法600執(zhí)行方法400 (圖4)的步驟440以將波長濾波器551安置于個(gè)別雙層懸式透鏡系統(tǒng)720中的至少一些上。在一實(shí)施例中，方法600在步驟660之后執(zhí)行步驟650以形成一或多個(gè)個(gè)別雙層懸式透鏡系統(tǒng)730以及視情況雙層懸式透鏡系統(tǒng)720中的一或多者。雙層懸式透鏡系統(tǒng)730包含安置于懸式透鏡系統(tǒng)720上的波長濾波器551。在對應(yīng)于根據(jù)包含步驟445的步驟440的實(shí)施例而執(zhí)行的步驟660的一個(gè)實(shí)施例中，雙層懸式透鏡系統(tǒng)730包含設(shè)置于懸式透鏡系統(tǒng)720與波長濾波器551之間的間隔物762，所述間隔物762用于提供雙層懸式透鏡系統(tǒng)720與波長濾波器551之間的所要隔距。間隔物762可具有不同于圖7中所說明的形狀的形狀而不背離關(guān)于此的范疇。在圖7中未說明的另一實(shí)施例中，透鏡511以及波長濾波器551中的一個(gè)或兩者包含提供雙層懸式透鏡系統(tǒng)720與波長濾波器551之間的所要隔距以使得可省略間隔物762的特征。
[0068]在另一實(shí)施例中，方法600包含步驟670，其中方法600執(zhí)行方法400 (圖4)的步驟450以將影像傳感器731安置于個(gè)別雙層懸式透鏡系統(tǒng)720及/或雙層懸式透鏡系統(tǒng)730中的至少一些上以分別形成一或多個(gè)成像系統(tǒng)740及/或一或多個(gè)成像系統(tǒng)750。視情況，根據(jù)步驟450 (圖4)的實(shí)施例來執(zhí)行步驟670，所述步驟670包含將間隔物732安置于個(gè)別雙層懸式透鏡系統(tǒng)720及/或雙層懸式透鏡系統(tǒng)730與影像傳感器731之間的步驟455 (圖4)。在一實(shí)施例中，透鏡陣列711包含具有規(guī)定厚度以促進(jìn)自透鏡陣列711至影像傳感器731的所要距離的實(shí)質(zhì)上平面部分。成像系統(tǒng)740包含懸式透鏡系統(tǒng)720以及影像傳感器731。在對應(yīng)于包含步驟455 (圖4)的步驟670的實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例中，成像系統(tǒng)740包含設(shè)置于懸式透鏡系統(tǒng)720與影像傳感器731之間的間隔物732，所述間隔物732用于提供懸式透鏡系統(tǒng)720與影像傳感器731之間的所要隔距。間隔物732可具有不同于圖7中所說明的形狀的形狀而不背離關(guān)于此的范疇。在圖7中未說明的另一實(shí)施例中，懸式透鏡712以及影像傳感器731中的一個(gè)或兩者包含提供雙層懸式透鏡系統(tǒng)720與影像傳感器731之間的所要隔距以使得可省略間隔物732的特征。成像系統(tǒng)750包含雙層懸式透鏡系統(tǒng)730以及影像傳感器731。在對應(yīng)于包含步驟455的步驟670的實(shí)施例的一個(gè)實(shí)施例中，成像系統(tǒng)750包含設(shè)置于雙層懸式透鏡系統(tǒng)730與影像傳感器731之間的間隔物732，所述間隔物732用于提供雙層懸式透鏡系統(tǒng)730與影像傳感器731之間的所要隔距。間隔物732可具有不同于圖7中所說明的形狀的形狀而不背離關(guān)于此的范疇。在圖7中未說明的另一實(shí)施例中，懸式透鏡712以及影像傳感器731中的一個(gè)或兩者包含提供雙層懸式透鏡系統(tǒng)730與影像傳感器731之間的所要隔距以使得可省略間隔物732的特征。
[0069]圖8說明用于執(zhí)行方法400 (圖4)的步驟410的一種例示性方法800。方法800在單一模制步驟中形成透鏡陣列。圖9提供方法800的步驟的一個(gè)例示性說明。最好一同觀察圖8以及圖9。在說明于圖9的圖式901中的步驟810中，將聚合物樹脂930安置于頂部模制工具910與底部模制工具920之間。聚合物樹脂930是例如UV可固化聚合物樹脂。頂部模制工具910包含用于使諸如凹透鏡表面512 (圖5)的凹透鏡表面成形的特征911。底部模制工具920包含用于使與凹透鏡表面對置的光學(xué)表面成形的特征921，其中此光學(xué)表面是光學(xué)表面114(圖1)的實(shí)施例。底部模制工具920進(jìn)一步包含用于容納過多量的聚合物樹脂930的凹區(qū)922。出于說明的清晰性，圖9中并未標(biāo)記所有特征911、特征921以及凹區(qū)922。特征911以及921是有關(guān)于藉由方法800形成的透鏡陣列的透鏡的焦距調(diào)節(jié)性質(zhì)。雖然圖9中未說明，但頂部模制工具910可具有用于容納過多量的聚合物樹脂930的凹區(qū)而不背離關(guān)于此的范疇。頂部模制工具910的此等凹區(qū)可代替底部模制工具920的凹區(qū)922的至少一部分或與底部模制工具920的凹區(qū)922共存。另外，頂部模制工具910以及底部模制工具920中的每一個(gè)均可包含多于或少于圖9中所說明的特征911、特征912及/或凹區(qū)922的特征911、特征912及/或凹區(qū)922而不背離關(guān)于此的范疇。類似地，可以不同于圖9中所說明的方式來使特征911、特征912及/或凹區(qū)922成形而不背離關(guān)于此的范疇。
[0070]在亦由圖9的圖式901說明的步驟820中，將間隔物940安置于頂部模制工具910與底部模制工具920之間。間隔物940包含孔隙942以及分離孔隙942的材料部分941。出于說明的清晰性，圖9中并未標(biāo)記所有孔隙942以及材料部分941。在步驟830中，使頂部模制工具910、底部模制工具920以及間隔物940相對于彼此對準(zhǔn)，以使得個(gè)別特征911相對于對應(yīng)孔隙942以及對應(yīng)特征921而對準(zhǔn)。頂部模制工具910以及底部模制工具920中的一個(gè)或兩者可為不透明材料，其提供穿過頂部模制工具910以及底部模制工具920中的至少一個(gè)的視軸或光軸以用于對準(zhǔn)頂部模制工具910、底部模制工具920以及間隔物940。在某些實(shí)施例中，特征911、特征921以及孔隙942定中心于實(shí)質(zhì)上正交于間隔物940的共同軸上。在一實(shí)施例中，步驟830包含步驟832，其中使頂部模制工具910的特征911與底部模制工具920的對應(yīng)特征921對準(zhǔn)。在一實(shí)施例中，步驟830包含步驟834以及836中的一個(gè)或兩者。在步驟834中，使間隔物940的孔隙942與對應(yīng)特征911及/或特征921對準(zhǔn)。在步驟836中，使間隔物940的材料部分941與底部模制工具920的凹區(qū)922對準(zhǔn)，以使得當(dāng)集合間隔物940以及底部模具920時(shí)凹區(qū)922僅面向間隔物940的材料部分941。在包含凹區(qū)(圖9中未說明)的頂部模制工具910的實(shí)施例中，步驟836包含使此等凹區(qū)與材料部分941對準(zhǔn)，如上文針對凹區(qū)922所論述。
[0071]在步驟840中，使頂部模制工具910以及底部模制工具920接觸間隔物940。在一個(gè)實(shí)施例中，使頂部模制工具910以及底部模制工具920同時(shí)接觸間隔物940。在對應(yīng)于不具有凹區(qū)的頂部模制工具910的實(shí)施例的另一實(shí)施例中，使間隔物940首先接觸頂部模制工具910且接下來接觸底部模制工具920。
[0072]在由圖9的圖式902說明的步驟850中，使聚合物樹脂930固化。在一個(gè)實(shí)施例中，聚合物樹脂930是藉由加熱聚合物930而被固化的熱塑性聚合物樹脂。在另一實(shí)施例中，聚合物樹脂930是UV可固化聚合物樹脂，頂部模制工具910以及底部模制工具920中的至少一個(gè)能夠透射UV光，且步驟850包含用于藉由用UV使聚合物樹脂930的至少一部分固化來固化聚合物樹脂930