技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種清潔治具，用于清潔制作CF基板時在高溫烘烤設備中形成的光阻凝結物；該清潔治具包括依次相連的供電部、清洗液存放部以及清洗液霧化部，清洗液霧化部的遠離清洗液存放部的端部設置有清潔部件；供電部和清洗液存放部上設置有手柄，手柄可相對于供電部及清洗液存放部按照遠離或靠近清洗液霧化部的方向滑動，以使該清潔治具有可伸縮性；在供電部的作用下，清洗液存放部中存放的清洗液流至清洗液霧化部并形成清洗液噴霧，該清洗液噴霧噴至清潔部件上以濕潤清潔部件。相比現(xiàn)有技術中的清潔方法，基于本發(fā)明的清潔治具不僅可以免去人工攀高作業(yè)，降低工作人員作業(yè)危險，而且還簡化了清潔工藝，提高了清潔效率。

技術研發(fā)人員：魏德萌;王浩
受保護的技術使用者：武漢華星光電技術有限公司
技術研發(fā)日：2017.07.27
技術公布日：2017.09.22