技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種方法，尤其是一種能有效減少大理石橫梁長(zhǎng)度的方法，屬于直寫(xiě)式光刻膠的技術(shù)領(lǐng)域。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述能有效減少大理石橫梁長(zhǎng)度的方法，包括大理石橫梁以及安裝于所述大理石橫梁上的光路軸，在大理石橫梁的下方設(shè)有左臺(tái)面以及右臺(tái)面，所述左臺(tái)面、右臺(tái)面在大理石橫梁下方呈并置式放置；在進(jìn)行曝光時(shí)，放置于左臺(tái)面上的左臺(tái)面板體與放置于右臺(tái)面上的右臺(tái)面板體呈對(duì)稱(chēng)式放置。本發(fā)明有效減少大理石橫梁的長(zhǎng)度，減少占用面積，降低光刻機(jī)的重量，提高光刻機(jī)安裝環(huán)境的適應(yīng)能力，減小光路軸的行程，降低光光刻機(jī)的成本。

技術(shù)研發(fā)人員：袁征;王艷升
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
文檔號(hào)碼：201710131733
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.07
技術(shù)公布日：2017.06.30