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能有效減少大理石橫梁長(zhǎng)度的方法與流程

文檔序號(hào):12785542閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種能有效減少大理石橫梁長(zhǎng)度的方法,包括大理石橫梁(2)以及安裝于所述大理石橫梁(2)上的光路軸(1),在大理石橫梁(2)的下方設(shè)有左臺(tái)面(3)以及右臺(tái)面(4),所述左臺(tái)面(3)、右臺(tái)面(4)在大理石橫梁(2)下方呈并置式放置;其特征是:在進(jìn)行曝光時(shí),放置于左臺(tái)面(3)上的左臺(tái)面板體與放置于右臺(tái)面(4)上的右臺(tái)面板體呈對(duì)稱式放置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能有效減少大理石橫梁長(zhǎng)度的方法,其特征是:所述左臺(tái)面板體、右臺(tái)面板體為PCB板或晶圓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能有效減少大理石橫梁長(zhǎng)度的方法,其特征是:所述大理石橫梁(2)通過(guò)橫梁支撐立柱(6)安裝于平臺(tái)底座(7)上,在所述平臺(tái)底座(7)上還設(shè)有與左臺(tái)面(3)、右臺(tái)面(4)配合的臺(tái)面導(dǎo)軌(8)。

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