本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物領(lǐng)域，特別是涉及一種用于形成半導體集成電路的絕緣平整化膜的感光性樹脂組合物及其應(yīng)用。
背景技術(shù)：
：在生產(chǎn)半導體集成電路廣泛的應(yīng)用中，光刻技術(shù)一直被用來形成微型元件或者進行精細加工，隨著對集成電路速度及集成密度的增加，對集成電路的設(shè)計要求越來越高，近年來用于光刻技術(shù)中的層間絕緣膜的形成技術(shù)作為新的應(yīng)用正在引起人們的關(guān)注，尤其在FPD顯示面板的高精度和微細技術(shù)的市場需求非常強烈，因為為了實現(xiàn)這樣的高精度和微細技術(shù)，高度透明的絕緣膜是必要的材料，這樣的透明絕緣層已經(jīng)是FPD集成電路設(shè)計圖案中必不可少的結(jié)構(gòu)，很多專利對這項技術(shù)進行研究，層間絕緣膜的應(yīng)用廣義的講包括層間絕緣膜、介電膜、平面化膜、隔離膜和保護膜等，功能雖有些不同，但是都具有共同的特點，經(jīng)常能夠通用，共同特點包括都是絕緣透明的，在集成電路制造過程中作為永久性膜不被剝離除去，作為器件的一部分，行使其保護、絕緣、平面化和隔離等功能。隨著絕緣平整化膜技術(shù)的發(fā)展，有機堿溶性感光型層間絕緣膜成為主流，由堿溶樹脂和感光體系組成，如在CN100535747中發(fā)明的光敏樹脂組合物包含一種堿溶樹脂，醌二疊氮基光敏劑以及固化劑，堿溶樹脂是丙烯酸樹脂，固化劑是有環(huán)氧基團的物質(zhì)，同時包含羧酸化合物；在CN100547485中發(fā)明的一種感光組合物，含有堿溶樹脂，一種醌二疊氮部分的感光劑，環(huán)氧固化劑，堿溶樹脂為丙烯酸樹脂；在CN1828416中發(fā)明提供感光性樹脂組合物，其不僅靈敏度、絕緣性、耐化學性等性能出色，還能夠顯著提高透過性和儲存穩(wěn)定性，適宜形成LCD制造工序中的層間絕緣膜，組成含有a)丙烯酸共聚物b)疊氮萘醌化合物c)溶劑，其中丙烯酸共聚物是1)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或他們的混合物，2)含有環(huán)氧基團的不飽和化合物3)烯類不飽和化合物共聚后除去未反應(yīng)單體而得到；在CN1811597中發(fā)明提供感光性樹脂組合物，其不僅靈敏度、絕緣性、平滑性、耐化學性等性能出色，還能夠顯著提高耐熱性，使得在層間絕緣膜產(chǎn)生的滲氣最小化，因而可確保后工序的可靠性，適宜形成LCD制造工序中的層間絕緣膜，組成含有a)丙烯酸共聚物b)疊氮萘醌化合物c)溶劑，其中丙烯酸共聚物是1)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或他們的混合物，2)含有環(huán)氧基團的不飽和化合物3)苯基馬來酰亞胺類化合物；以上堿顯影感光型層間絕緣膜技術(shù)堿溶樹脂采用丙烯酸樹脂，感光體系采用PAC和環(huán)氧樹脂及固化劑的體系，其熱穩(wěn)定性、靈敏度和分辨力等性能有待進一步提高。技術(shù)實現(xiàn)要素：為了解決現(xiàn)有集成電路絕緣平整化膜的感光體系熱穩(wěn)定性、靈敏度和分辨力等性能不佳等問題，我們提出了一種感光性樹脂組合物，其靈敏度、分辨力、平整度、粘結(jié)性和熱穩(wěn)定性優(yōu)良，適宜形成半導體集成電路的絕緣平整化膜。本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其組成為：a)堿溶性樹脂是含有碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂；b)乙烯基不飽和單體；c)光引發(fā)劑；d)溶劑。聚乙烯醇縮醛樹脂具有良好的柔軟性，可以作為聚合物增塑劑使用，提升柔韌性和可加工性，同時其具有良好的粘附性、耐熱性和成膜性，聚乙烯醇經(jīng)過和不同的醛縮合得到不同的聚乙烯醇縮醛樹脂。本發(fā)明的縮醛樹脂含有以下結(jié)構(gòu)單元IA)、IB)、IC)、ID)和IE)。IA)結(jié)構(gòu)單元：其中R1是氫、烷基、取代烷基、芳香基和取代芳香基。IA)重復單元縮醛化的醛類具體實例包括甲醛、乙醛、正丁醛、苯甲醛等。a的mol％為10-50％。IB)結(jié)構(gòu)單元：其中R2為氫、烷基、取代烷基、羥基、芳香基和取代芳香基。b的mol％為10-30％。IB)重復單元縮醛化的醛類實例包括2-羧基苯甲醛、3-羧基苯甲醛、4-羧基苯甲醛和3-羧基-4-羥基苯甲醛等。IC)重復單元:c的mol％為20-40％。同時由于位阻的影響有部分羥基不會發(fā)生縮醛化反應(yīng)，因此分子中含有IC)結(jié)構(gòu)單元。ID)結(jié)構(gòu)單元：d的mol％為1-3％。在商品化的聚乙烯醇產(chǎn)品中有2％左右的醋酸乙烯酯的殘留，因此分子中含有2％左右的ID)結(jié)構(gòu)單元。IE)結(jié)構(gòu)單元：其中R是H或甲基；R3是氫、羥基、烷基、取代烷基、芳香基和取代芳香基；A是含羥基烷基；e的mol％為10-40％。IA)重復單元通過聚乙烯醇的羥基和醛進行縮醛化反應(yīng)制得，催化劑采用強酸，如甲基磺酸、對甲苯磺酸、硫酸等在二甲基亞砜溶劑中反應(yīng)，聚乙烯醇縮醛化以后從水溶性變成水不溶性，反應(yīng)結(jié)束后在水中沉淀，便可得到固體的聚乙烯醇縮醛聚合物。IB)重復單元按照IA)相同的方法得到，采用聚乙烯醇和含羧基的苯甲醛進行縮醛化反應(yīng)。IE)重復單元的得到采用IB)結(jié)構(gòu)單元中的部分含羧基的聚乙烯醇縮醛聚合物，和含環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯的環(huán)氧基發(fā)生如下反應(yīng)得到含碳碳雙鍵的的聚乙烯醇縮醛聚合物。含有環(huán)氧基的的丙烯酸酯的實例如下：R是H或甲基。含碳碳雙鍵的聚乙烯縮醛樹脂的加入量為所有固體含量的20-80％。乙烯基不飽和單體：作為單官能單體可舉出(甲基)丙烯酰胺、羥甲基(甲基)丙烯酰胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丙烯酸異冰片酯、N-苯基馬來酰亞胺、馬來酰亞胺、苯乙烯、N-羥甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羥基甲基丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸、富馬酸、馬來酸、馬來酸酐、衣康酸、衣康酸酐、巴豆酸、2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸、叔丁基丙烯酰胺磺酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丁酯、(甲基)-2-苯氧基-2羥基丙酯、鄰苯二甲酸酐、2-(甲基)丙烯酰氧基-2-羥基丙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸222-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2，2，3，3-四氟丙酯、鄰苯二甲酸酐衍生物的(甲基)丙烯酸半酯等，這些單官能單體可單獨使用或組合2種以上使用。作為多官能單體可舉出乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、2,2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙酯、乙二醇二縮水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸二縮水甘油基酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油多縮水甘油基醚多(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、三甲基1,6-己二異氰酸酯與1,6己二異氰酸脂與(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯的反應(yīng)物、亞甲基雙(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酰胺亞甲基醚、多元醇與N-羥甲基(甲基)丙烯酰胺的縮合物等，這些多官能單體可以單獨使用或組合2種以上使用。光引發(fā)劑的具體例子包括苯乙酮類化合物、噻噸酮類化合物、咪唑類化合物、苯偶姻化合物和三嗪類化合物等，如1-羥基環(huán)己基苯酮、2-羥基-2甲基1-苯基丙烷-1-酮、1-(4-(2-羥基乙氧基)苯基)2-甲基丙烷-1酮、1-(4異丙基苯基)-2羥基2-甲基丙烷-1酮、1-(4-十二烷基苯基)-2羥基-2甲基丙烷-1酮、2，2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1酮、雙(4-二甲氨基苯基)酮、2-甲基1-(4-(甲硫基)苯基)2-嗎啉基丙烷-1酮、2-芐基-2二甲基氨基-1(4-(甲硫基)苯基)丁烷-1酮、1-(4(苯硫基)苯基)1,2辛烷二酮-2(O-苯甲酰肟)、O-乙?；?1-(6-(2-甲基苯甲酰基)9乙基9H咔唑3-基)乙醛肟、2,4,6三甲基苯甲?；交趸ⅰ?-苯甲?；?4’甲基二甲基硫醚、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯；4-二甲基氨基苯甲酸乙酯；4-二甲基氨基苯甲酸丁酯；4-二甲氨基-2乙基己酯苯甲酸、4-二甲氨基-2異戊基苯甲酸、苯偶酰-β甲氧基乙基縮醛、苯偶酰二甲基縮酮、1-苯基1,2丙烷二酮-2(乙氧基羰基肟)、鄰苯甲?；郊姿峒柞?、2,4二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2,4-二甲基噻噸酮、1-氯4-丙氧基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2苯并蒽醌、2,3二苯基蒽醌、偶氮二異丁氰、過氧化異丙苯、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并唑、2-巰基苯并噻唑、2-(鄰氯苯基)4,5二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氯苯基)4,5二苯基唑二聚體、2-(鄰氯苯基)4,5二甲氧基苯基咪唑二聚體、2-(鄰氟苯基)4,5二甲氧基苯基咪唑二聚體；2-(鄰(對)甲氧基苯基)4,5二甲氧基苯基咪唑二聚體、2-(對甲氧基苯基)4,5二甲氧基苯基咪唑二聚體、2,4,5三芳基咪唑二聚體、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4,4’雙(二乙基氨基)二苯甲酮，4,4’二氯二苯甲酮、3,3二甲基4-甲氧基二苯甲酮、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚、苯偶姻正丁基醚、2,2-二乙氧基苯乙酮、對二甲基苯乙酮、對二甲氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、對叔丁基苯乙酮、對叔丁基三氯苯乙酮、對叔丁基二氯苯乙酮、9-苯基吖啶、1,7雙(9-吖啶基)庚烷、對甲氧基三嗪、2,4，6三(三氯甲基)均三嗪、2-甲基-4,6-雙(三氯甲基)均三嗪、2-(2(呋喃—2基)乙烯基)4,6-雙(三氯甲基)均三嗪、2-(4-二乙胺基-2甲基苯基)乙烯基)4,6-雙(三氯甲基)均三嗪、2-(3，4-二甲基苯基)乙烯基4,6-雙(三氯甲基)均三嗪等。溶劑為烷醇類、乙二醇烷基醚乙酸酯類、乙二醇烷基醚丙酸酯類、乙二醇單烷基醚類、二乙二醇烷基醚類、丙二醇烷基醚類乙酸酯類、丙二醇烷基醚丙酸酯類、丙二醇單烷基醚類、二丙二醇烷基醚類、丁二醇單烷基醚類、二丁二醇烷基醚類等。上述組分中還可以加入環(huán)氧樹脂、環(huán)氧樹脂固化劑、光產(chǎn)酸劑、抗氧劑、表面活性劑、硅烷偶聯(lián)劑和酸類化合物等。本發(fā)明同時提供一種半導體集成電路的絕緣平整化膜，其含有上述的感光樹脂組合物的固化物。本發(fā)明同時提供一種半導體集成電路的絕緣平整化膜的圖案形成方法，其利用了上述的感光樹脂組合物。使用上述作為形成絕緣平整化膜的感光樹脂組合物形成絕緣平整化膜在基材表面形成膜層的方法無特別限定，可以在膜形成用組合物為固體或高粘度凝膠的情況下，利用將規(guī)定量的膜形成組合物供給到基材上后對膜形成用組合物邊加熱邊壓制的方法成膜，在膜形成用組合物為液體的情況下可以利用涂布的方法如采用滾涂機、逆涂機、棒涂機、狹縫涂布機、旋轉(zhuǎn)涂布機、簾幕式淋涂機等及其噴涂、浸涂涂布等方法形成膜層。曝光的射線包括g線、h線、i線、遠紫外及電子束等。顯影方法包括抗蝕劑常用的方法，如浸漬顯影和噴淋顯影等方法，顯影液包括無機堿水溶液如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉和氨水等；有機胺水溶液如乙胺、丙胺、二乙胺、三乙胺、四甲基氫氧化銨等。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于：1、靈敏度、分辨力、平整度、粘結(jié)性和熱穩(wěn)定性優(yōu)良，適宜形成半導體集成電路的絕緣平整化膜。具體實施方式下面結(jié)合實施例，更具體地說明本發(fā)明的內(nèi)容。應(yīng)當理解，本發(fā)明的實施并不局限于下面的實施例，對本發(fā)明所做的任何形式上的變通或改變都落入本發(fā)明保護范圍；且下述實施例中的方法，如無特別說明，均為本領(lǐng)域的常規(guī)方法。實施例1：稱取PVA-103(日本可樂麗)7.5g加入到250ml三口燒瓶中，攪拌下加入二甲基亞砜100g，升溫至80℃溶解，降溫至60℃，加入1g對甲苯磺酸，正丁醛1.23g，對羧基苯甲醛7.03g，70℃下反應(yīng)5小時，加入20gDMSO稀釋，分散在2升水中，得白色粉末，過濾水洗后，在60℃下熱風干燥，得到P1聚乙烯縮醛樹脂14.25g，將上述P1聚乙烯醇縮醛樹脂、乙二醇單甲醚100g加入到250ml三口燒瓶中溶解，加入0.15g四丁基氯化銨，0.07g對苯二酚，式A環(huán)氧丙烯酸酯(R為甲基)3.63g，110℃下反應(yīng)4小時，然后冷卻至40℃，分散在2升水中，得到含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂PCB1重量17.8g，酸值62mgKOH/g。配方：實施例2：稱取PVA-103(日本可樂麗)7.5g加入到250ml三口燒瓶中，攪拌下加入二甲基亞砜100g，升溫至80℃溶解，降溫至60℃，加入1g對甲苯磺酸，正丁醛1.84g，對羧基苯甲醛5.75g，70℃下反應(yīng)5小時，加入20gDMSO稀釋，分散在2升水中，得白色粉末，過濾水洗后，在60℃下熱風干燥，得到P2聚乙烯縮醛樹脂14.7g，將上述P2聚乙烯醇縮醛樹脂、乙二醇單甲醚100g加入到250ml三口燒瓶中溶解，加入0.15g四丁基氯化銨，0.07g對苯二酚，式A環(huán)氧丙烯酸酯(R為甲基)2.42g，110℃下反應(yīng)4小時，然后冷卻至40℃，分散在2升水中，得到含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂PCB2重量17.1g，酸值60mgKOH/g。配方：除了含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛PCB2替代PCB1，其余和實施例1相同。實施例3：稱取PVA-103(日本可樂麗)7.5g加入到250ml三口燒瓶中，攪拌下加入二甲基亞砜100g，升溫至80℃溶解，降溫至60℃，加入1g對甲苯磺酸，37％甲醛溶液2.07g，對羧基苯甲醛5.75g，70℃下反應(yīng)5小時，加入20gDMSO稀釋，分散在2升水中，得白色粉末，過濾水洗后，在60℃下熱風干燥，得到P3聚乙烯縮醛樹脂13.2g，將上述P3聚乙烯醇縮醛樹脂、乙二醇單甲醚100g加入到250ml三口燒瓶中溶解，加入0.15g四丁基氯化銨，0.07g對苯二酚，式A環(huán)氧丙烯酸酯(R為甲基)2.42g，110℃下反應(yīng)4小時，然后冷卻至40℃，分散在2升水中，得到含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂PCB3重量15.6g，酸值62mgKOH/g。配方：除了含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛PCB3替代PCB1，其余和實施例1相同。實施例4：稱取PVA-103(日本可樂麗)7.5g加入到250ml三口燒瓶中，攪拌下加入二甲基亞砜100g，升溫至80℃溶解，降溫至60℃，加入1g對甲苯磺酸，正丁醛1.23g，對羧基苯甲醛7.03g，70℃下反應(yīng)5小時，加入20gDMSO稀釋，分散在2升水中，得白色粉末，過濾水洗后，在60℃下熱風干燥，得到P4聚乙烯縮醛樹脂15.2g，將上述P4聚乙烯醇縮醛樹脂、乙二醇單甲醚100g加入到250ml三口燒瓶中溶解，加入0.15g四丁基氯化銨，0.07g對苯二酚，式B環(huán)氧丙烯酸酯(R為甲基)5.78g，110℃下反應(yīng)4小時，然后冷卻至40℃，分散在2升水中，得到含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂PCB4重量20.1g，酸值60mgKOH/g。配方：除了含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛PCB4替代PCB1，其余和實施例1相同。實施例5：稱取PVA-103(日本可樂麗)7.5g加入到250ml三口燒瓶中，攪拌下加入二甲基亞砜100g，升溫至80℃溶解，降溫至60℃，加入1g對甲苯磺酸，正丁醛1.53g，對羧基苯甲醛6.39g，70℃下反應(yīng)5小時，加入20gDMSO稀釋，分散在2升水中，得白色粉末，過濾水洗后，在60℃下熱風干燥，得到P5聚乙烯縮醛樹脂15.3g，將上述P5聚乙烯醇縮醛樹脂、乙二醇單甲醚100g加入到250ml三口燒瓶中溶解，加入0.15g四丁基氯化銨，0.07g對苯二酚，式B環(huán)氧丙烯酸酯(R為甲基)4.82g，110℃下反應(yīng)4小時，然后冷卻至40℃，分散在2升水中，得到含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂PCB5重量20.6g，酸值56mgKOH/g。配方：除了含環(huán)氧基的聚乙烯醇縮醛PCB5替代PCB1，其余和實施例1相同。實施例6：稱取PVA-103(日本可樂麗)7.5g加入到250ml三口燒瓶中，攪拌下加入二甲基亞砜100g，升溫至80℃溶解，降溫至60℃，加入1g對甲苯磺酸，正丁醛1.23g，對羧基苯甲醛7.03g，70℃下反應(yīng)5小時，加入20gDMSO稀釋，分散在2升水中，得白色粉末，過濾水洗后，在60℃下熱風干燥，得到P6聚乙烯縮醛樹脂15.2g，將上述P6聚乙烯醇縮醛樹脂、乙二醇單甲醚100g加入到250ml三口燒瓶中溶解，加入0.15g四丁基氯化銨，0.07g對苯二酚，式C環(huán)氧丙烯酸酯(R為甲基)6.09g，110℃下反應(yīng)4小時，然后冷卻至40℃，分散在2升水中，得到含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂PCB6重量21.1g，酸值63mgKOH/g。配方：除了含環(huán)氧基的聚乙烯醇縮醛PCB6替代PCB1，其余和實施例1相同。實施例7：稱取PVA-103(日本可樂麗)7.5g加入到250ml三口燒瓶中，攪拌下加入二甲基亞砜100g，升溫至80℃溶解，降溫至60℃，加入1g對甲苯磺酸，正丁醛1.84g，臨羧基苯甲醛7.03g，70℃下反應(yīng)5小時，加入20gDMSO稀釋，分散在2升水中，得白色粉末，過濾水洗后，在60℃下熱風干燥，得到P7聚乙烯縮醛樹脂15.2g，將上述P7聚乙烯醇縮醛樹脂、乙二醇單甲醚100g加入到250ml三口燒瓶中溶解，加入0.15g四丁基氯化銨，0.07g對苯二酚，式A環(huán)氧丙烯酸酯(R為甲基)3.63g，110℃下反應(yīng)4小時，然后冷卻至40℃，分散在2升水中，得到含碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂PCB7重量18.6g，酸值54mgKOH/g。配方：除了含環(huán)氧基的聚乙烯醇縮醛PCB7替代PCB1，其余和實施例1相同。對比例1：采用丙烯酸樹脂Rd替代PCB1，其余和實施例1相同。對比例2：堿溶樹脂P7替代PCB1，其余和實施例1相同。性能檢測方法：將上述實施例1-7和比較例1-2感光性樹脂組合物溶解后，用0.2微米的Millipore過濾器過濾，然后采用旋涂法將感光樹脂組合物樣品涂覆到玻璃基板上，接著于100℃在加熱板上烘焙90S，獲得一個具有3μm厚的抗蝕膜。通過ABM公司生產(chǎn)的正面對準光刻機，用全光線最佳曝光量透過一個測試掩膜圖案曝光，并在23℃采用0.4％的氫氧化四甲基銨水溶液進行顯影，持續(xù)60S，用純水清洗1分鐘，以形成具有掩膜圖案的膜。(1)靈敏度以上的最佳曝光量確定為靈敏度。(2)分辨率采用掃描電子顯微鏡(SEM)對上述所述圖案進行觀察，在5μm線條和間隔寬度的最佳曝光量處形成的最小線條和間隔圖案寬度，用來作為分辨率。(3)耐熱性評價測定形成的掩膜圖案的上下和左右的寬度，此時將烘焙前為基準，然后在烘箱中230℃烘烤60分鐘，考察面積變化率為1-20％時設(shè)為○，面積變化率為20-40％時設(shè)為△，面積變化率為大于40％時設(shè)為×。(4)顯影后平整度使用橢圓計來測定通過以上方法形成的膜在顯影后的平整度，此時基于整個基板平整度大于95％時以○表示，平整度為90-95％以△表示，平整度小于90％以×表示。(5)粘結(jié)性將上述實施例1-7和比較例1-2感光性組分溶解后，接著用0.2微米的Millipore過濾器過濾，然后采用旋涂法將感光樹脂組合物樣品涂覆到玻璃基板上，接著于100℃在加熱板上烘焙90S，獲得一個具有3μm厚的膜。通過ABM公司生產(chǎn)的正面對準光刻機，用全光線用最佳曝光量全面曝光，并在23℃采用0.4％的氫氧化四甲基銨水溶液進行顯影，持續(xù)60S，用純水清洗1分鐘，以形成全膜，采用GB/T9286-1998《色漆和清漆漆膜的劃格試驗》用劃格測試膜層的粘結(jié)性。靈敏度mJ/cm2平整度分辨率μm耐熱性粘結(jié)性實施例1285○3○0-1級實施例2280○3○0-1級實施例3275○3○0-1級實施例4280○3○0-1級實施例5285○3○0-1級實施例6280○3○0-1級實施例7280○3○0-1級比較例1300△4△0-1級比較例2320○4○0-1級從以上結(jié)果看出，本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的膜的靈敏度、分辨力、平整性、耐熱性和粘結(jié)性良好，驗證了本發(fā)明。當前第1頁1 2 3