技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實(shí)施例提供一種掩膜板，包括：遮光區(qū)和透光區(qū)，所述掩膜板還包括：衍射區(qū)，所述衍射區(qū)設(shè)置在所述透光區(qū)中，用于使透射光衍射。本發(fā)明實(shí)施例的掩膜板，通過在透光區(qū)中設(shè)置衍射區(qū)，使透射光發(fā)生衍射，從而增強(qiáng)過孔處的曝光強(qiáng)度，消除過孔處光刻膠的殘留，提高過孔的解析度，改善產(chǎn)品良品率。

技術(shù)研發(fā)人員：張鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司
文檔號(hào)碼：201710090975
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.20
技術(shù)公布日：2017.05.31