1.一種掩膜板，包括：遮光區(qū)和透光區(qū)，其特征在于，所述掩膜板還包括：衍射區(qū)，所述衍射區(qū)設(shè)置在所述透光區(qū)中，用于使透射光衍射。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述衍射區(qū)包括：至少一個遮光部和至少一個透光部，其中，所述透光部的相對的兩側(cè)之間的距離為0.2～0.5μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于：所述遮光部的寬度為0.2～0.5μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于：當所述遮光部的數(shù)量為一個，所述遮光部為環(huán)形時，所述透光部為所述環(huán)形的遮光部圍成的區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板，其特征在于：所述透光部的中心與所述透光區(qū)的中心重合。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于：當所述遮光部的數(shù)量為兩個以上，所述遮光部為環(huán)形時，兩個以上的所述環(huán)形的遮光部依次套設(shè)，所述透光部包括位于最內(nèi)圈的所述環(huán)形的遮光部圍成的區(qū)域以及相鄰套設(shè)的兩個所述環(huán)形的遮光部之間的區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜板，其特征在于：位于最內(nèi)圈的所述環(huán)形的遮光部圍成的所述透光部的中心與所述透光區(qū)的中心重合。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜板，其特征在于：兩個以上的所述環(huán)形的遮光部同心設(shè)置。
9.根據(jù)權(quán)利要求6～8任一項所述的掩膜板，其特征在于：所述環(huán)形為圓環(huán)、正方形環(huán)或者長方形環(huán)。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于：當所述遮光部的數(shù)量為兩個以上，所述遮光部為條形時，兩個以上的所述遮光部相互平行設(shè)置，所述透光部為相鄰的兩個所述遮光部之間的區(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的掩膜板，其特征在于：所述遮光部的數(shù)量為雙數(shù)，所述透光部的數(shù)量為單數(shù)時，位于最中間的所述透光部的中心與所述透光區(qū)的中心重合。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于：所述透光區(qū)的邊緣與相鄰的所述遮光部之間的距離為1～2μm。