本實用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置。
背景技術(shù)：
產(chǎn)生特定空間分布光束的方法主要有兩種:使用空間光調(diào)制器以及通過相干光合成，這兩種方法均有各自的優(yōu)劣：采用空間光調(diào)制器可對每個像素點的光獨立調(diào)制，能產(chǎn)生各種復(fù)雜空間分布的光束，但光束結(jié)構(gòu)最小尺寸受像素點尺寸限制；通過相干光合成的方法成本較低，可產(chǎn)生的光束空間最小周期與光波波長同一量級，但產(chǎn)生光束分布種類有限，現(xiàn)有技術(shù)沒有同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，且光周期易調(diào)的應(yīng)用。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，且結(jié)構(gòu)光周期易調(diào)節(jié)。
本申請實施例提供一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，包括:光源，所述光源用于發(fā)出檢測光；分束器，所述分束器接收所述檢測光，將所述檢測光進行分束，形成兩路光束；第一反射鏡，所述第一反射鏡接收所述兩路光束，并將所述兩路光束以對稱方式傳輸，使所述兩路光束從不同方向斜入射至待測晶圓上，形成光斑；其中，所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角相同，所述兩路光束在所述待測晶圓上形成的所述光斑完全重疊；所述兩路光束從所述分束器至所述待測晶圓上經(jīng)過的光程相同。
優(yōu)選的，所述光源為連續(xù)輸出的激光光源或者準(zhǔn)連續(xù)輸出的激光光源。
優(yōu)選的，所述光路還可以包括功率偏振調(diào)節(jié)模塊，所述功率偏振調(diào)節(jié)模塊排布在所述光源后，所述功率偏振調(diào)節(jié)模塊用于將所述光源調(diào)節(jié)為功率穩(wěn)定的p偏振光。
優(yōu)選的，所述光路還可以包括排布在所述光源和所述分束器之間的第二反射鏡，所述第二反射鏡接收所述檢測光，并改變所述檢測光的傳輸方向。
優(yōu)選的，所述光路還可以包括擴束準(zhǔn)直鏡，所述擴束準(zhǔn)直鏡排布在所述分束器前，所述擴束準(zhǔn)直鏡接收所述檢測光后將所述檢測光放大或/和準(zhǔn)直。
優(yōu)選的，所述擴束準(zhǔn)直鏡可以由兩個高透過率球面鏡組成。
優(yōu)選的，所述擴束準(zhǔn)直鏡的擴大倍數(shù)為五倍。
優(yōu)選的，所述光路還可以包括會聚透鏡，所述會聚透鏡排布在所述分束器后，所述會聚透鏡接收所述檢測光，并調(diào)整所述檢測光的光斑尺寸。
優(yōu)選的，所述會聚透鏡為球面鏡。
優(yōu)選的，所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角為75°。
本申請實施例中提供的一個或多個技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點：
在本申請實施例中，利用相干光束合成的方法構(gòu)造結(jié)構(gòu)光，同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，無需其他光束處理過程，具有簡單易實現(xiàn)、穩(wěn)定性好、周期易調(diào)節(jié)的優(yōu)點。
進一步的，在本申請實施例中，通過功率偏振調(diào)節(jié)模塊將光源調(diào)節(jié)為功率穩(wěn)定的p偏振光，滿足穩(wěn)定性、偏振性的高要求。
進一步的，在本申請實施例中，通過添加光學(xué)組件，滿足光路易調(diào)節(jié)的高要求。
進一步的，在本申請實施例中，兩路相干光束與待測晶圓垂直法線之間的夾角為75°，有利于散射光收集。
附圖說明
為了更清楚地說明本實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一個實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本實用新型實施例提供的一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，1-光源、2-分束器、3-第一反射鏡、4-功率偏振調(diào)節(jié)模塊、5-第二反射鏡、6-擴束準(zhǔn)直鏡、7-會聚透鏡。
具體實施方式
本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，且結(jié)構(gòu)光周期易調(diào)節(jié)。
本申請實施例的技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，總體思路如下：
一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，包括:光源，所述光源用于發(fā)出檢測光；分束器，所述分束器接收所述檢測光，將所述檢測光進行分束，形成兩路光束；第一反射鏡，所述第一反射鏡接收所述兩路光束，并將所述兩路光束以對稱方式傳輸，使所述兩路光束從不同方向斜入射至待測晶圓上，形成光斑；其中，所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角相同，所述兩路光束在所述待測晶圓上形成的所述光斑完全重疊；所述兩路光束從所述分束器至所述待測晶圓上經(jīng)過的光程相同。
為了更好的理解上述技術(shù)方案，下面將結(jié)合說明書附圖以及具體的實施方式對上述技術(shù)方案進行詳細(xì)的說明。
實施例1：
一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，包括:光源1、分束器2、第一反射鏡3。
所述光源1發(fā)出檢測光；所述檢測光經(jīng)過所述分束器2，形成兩路光束；所述兩路光束經(jīng)過所述第一反射鏡3以對稱方式傳輸，從不同方向斜入射至待測晶圓上，形成光斑；所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角相同，所述光斑完全重疊；所述兩路光束從所述分束器2至所述待測晶圓上經(jīng)過的光程相同。
相重疊的光斑位置處發(fā)生干涉現(xiàn)象，形成干涉條紋。所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角可以調(diào)節(jié)干涉條紋的周期。
干涉條紋的周期L為：
L＝λ/(2sinθ)
其中，λ為光源的波長，θ為光束與待測晶圓垂直法線之間的夾角。
本實施例利用相干光束合成的方法構(gòu)造結(jié)構(gòu)光，同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，無需其他光束處理過程，具有簡單易實現(xiàn)、穩(wěn)定性好、周期易調(diào)節(jié)的優(yōu)點。
實施例2：
一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，如圖1所示，包括:光源1、分束器2、第一反射鏡3、功率偏振調(diào)節(jié)模塊4、第二反射鏡5、擴束準(zhǔn)直鏡6、會聚透鏡7。
所述光源1為連續(xù)輸出的激光光源或者準(zhǔn)連續(xù)輸出的激光光源，所述光源1發(fā)出檢測光。
所述檢測光經(jīng)過所述功率偏振調(diào)節(jié)模塊4，所述功率偏振調(diào)節(jié)模塊4將所述光源1調(diào)節(jié)為功率穩(wěn)定的p偏振光。
所述第二反射鏡5均安裝在高精度高穩(wěn)定性低漂移二維調(diào)節(jié)鏡架上，所述第二反射鏡5改變所述功率穩(wěn)定的p偏振光的傳輸方向，使所述功率穩(wěn)定的p偏振光傳輸至所述擴束準(zhǔn)直鏡6。
所述擴束準(zhǔn)直鏡6由兩個高透過率球面鏡組成；所述擴束準(zhǔn)直鏡6的擴大倍數(shù)為五倍。所述擴束準(zhǔn)直鏡6將所述功率穩(wěn)定的p偏振光進行放大和準(zhǔn)直。
放大準(zhǔn)直后的光束經(jīng)所述第二反射鏡5反射至所述分束器2，所述分束器2將光束分為兩路。
所述兩路光束經(jīng)過所述會聚透鏡7，所述會聚透鏡7調(diào)節(jié)光斑尺寸，保證待測晶圓上未拉伸方向兩個光斑半高全寬均為50微米；所述會聚透鏡7為球面鏡。
會聚后的所述兩路光束經(jīng)過所述第一反射鏡3以對稱方式傳輸，從不同方向斜入射至待測晶圓上，形成光斑。
所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角相同，均為75°。
所述光斑完全重疊；所述兩路光束從所述分束器2至所述待測晶圓上經(jīng)過的光程相同。
相重疊的光斑位置處發(fā)生干涉現(xiàn)象，形成干涉條紋。所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角可以調(diào)節(jié)干涉條紋的周期。
干涉條紋的周期L為：
L＝λ/(2sinθ)
其中，λ為光源的波長，θ為光束與待測晶圓垂直法線之間的夾角。
本實施例利用相干光束合成的方法構(gòu)造結(jié)構(gòu)光，同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，無需其他光束處理過程，具有簡單易實現(xiàn)、穩(wěn)定性好、周期易調(diào)節(jié)的優(yōu)點。此外，通過功率偏振調(diào)節(jié)模塊將光源調(diào)節(jié)為功率穩(wěn)定的p偏振光，滿足穩(wěn)定性、偏振性的高要求。通過添加光學(xué)組件，滿足光路易調(diào)節(jié)的高要求。兩路相干光束與待測晶圓垂直法線之間的夾角為75°，有利于散射光收集。
本實用新型實施例提供的一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置至少包括如下技術(shù)效果：
1、在本申請實施例中，利用相干光束合成的方法構(gòu)造結(jié)構(gòu)光，同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，無需其他光束處理過程，具有簡單易實現(xiàn)、穩(wěn)定性好、周期易調(diào)節(jié)的優(yōu)點。
2、在本申請實施例中，通過功率偏振調(diào)節(jié)模塊將光源調(diào)節(jié)為功率穩(wěn)定的p偏振光，滿足穩(wěn)定性、偏振性的高要求。
3、在本申請實施例中，通過添加光學(xué)組件，滿足光路易調(diào)節(jié)的高要求。
4、在本申請實施例中，兩路相干光束與待測晶圓垂直法線之間的夾角為75°，有利于散射光收集。
最后所應(yīng)說明的是，以上具體實施方式僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管參照實例對本實用新型進行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對本實用新型的技術(shù)方案進行修改或者等同替換，而不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。