1.一種校準并定向嵌段共聚物的方法，該方法包括：
a)提供含A嵌段和B嵌段的重復單元的嵌段共聚物，基材，和形成層的材料；
b)在或者優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的A嵌段或者為中性且沒有優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的任一嵌段的所述基材上形成第一層，所述第一層包括反應(yīng)性試劑載體；
c)在所述第一層的上面和相鄰處形成嵌段共聚物層；
d)在步驟c)之前或之后，在圖案內(nèi)選擇性輻照所述第一層中的所述反應(yīng)性試劑載體，于是輻照過的反應(yīng)性試劑載體在第一層的所選區(qū)域內(nèi)提供反應(yīng)性試劑，以便改性所選區(qū)域的優(yōu)先潤濕；
e)在嵌段共聚物層的上面施加頂涂層，以便生成組裝件；和
f)處理所述組裝件，以便定向并校準該嵌段共聚物。
2.權(quán)利要求1的方法，其中所述頂涂層沒有優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的任一嵌段。
3.權(quán)利要求1的方法，其中步驟f)的所述處理包括熱退火。
4.權(quán)利要求1的方法，進一步包括處理所述第一層，使得反應(yīng)性試劑擴散，進而擴大第一層中所選擇區(qū)域的尺寸并減少第一層其他區(qū)域的尺寸。
5.權(quán)利要求1的方法，其中它在步驟b)中形成之后，將所述反應(yīng)性試劑載體引入到所述第一層內(nèi)。
6.權(quán)利要求1的方法，其中反應(yīng)性試劑載體是光酸產(chǎn)生劑。
7.權(quán)利要求6的方法，其中所述反應(yīng)性試劑是酸。
8.權(quán)利要求1的方法，其中所述反應(yīng)性試劑是堿。
9.一種校準并定向嵌段共聚物的方法，該方法包括：
a)提供含A嵌段和B嵌段的重復單元的嵌段共聚物，基材，和形成層的材料；
b)在沒有優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的任一嵌段的所述基材上形成第一層；
c)在所述第一層的上面和相鄰處形成嵌段共聚物層；
d)在或者優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的A嵌段或者為中性且沒有優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的任一嵌段的所述嵌段共聚物層的上面形成頂涂層，以便生成組裝件，所述頂涂層包括反應(yīng)性試劑載體；
e)在圖案中選擇性輻照所述頂涂層中的所述反應(yīng)性試劑載體，于是輻照過的反應(yīng)性試劑載體在第一層的所選區(qū)域內(nèi)提供反應(yīng)性試劑，以便改性所選區(qū)域的優(yōu)先潤濕性；和
f)處理所述組裝件，以便定向并校準嵌段共聚物。
10.權(quán)利要求9的方法，其中步驟f)的所述處理包括熱退火。
11.權(quán)利要求9的方法，其中它在步驟d)中形成之后，將所述反應(yīng)性試劑載體引入到所述頂涂層內(nèi)。
12.權(quán)利要求9的方法，其中反應(yīng)性試劑載體是光酸產(chǎn)生劑。
13.權(quán)利要求12的方法，其中所述反應(yīng)性試劑是酸。
14.權(quán)利要求9的方法，其中所述反應(yīng)性試劑是堿。
15.權(quán)利要求9的方法，進一步包括在步驟f)之前，處理所述頂涂層，使得反應(yīng)性試劑被擴散，進而擴大第一層中所選區(qū)域的尺寸并減少第一層中其他區(qū)域的尺寸。
16.一種校準并定向嵌段共聚物的方法，該方法包括：
a)提供A嵌段和B嵌段的重復單元的嵌段共聚物，基材，和形成層的材料；
b)在或者優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的A嵌段或者為中性且沒有優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的任一嵌段的所述基材上形成第一層，所述第一層包括反應(yīng)性試劑載體；
c)在所述第一層的上面和相鄰處形成嵌段共聚物層；
d)在或者優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的嵌段A或者為中性且沒有優(yōu)先潤濕所述嵌段共聚物的任一嵌段的所述嵌段共聚物層的上面形成頂涂層，以便生成組裝件，所述頂涂層包括反應(yīng)性試劑載體；
e)在圖案中選擇性輻照所述第一和頂涂層中的所述反應(yīng)性試劑載體，于是輻照過的反應(yīng)性試劑載體在第一層和頂涂層的所選區(qū)域內(nèi)提供反應(yīng)性試劑，以便改性所選區(qū)域的優(yōu)先潤濕；和
f)處理所述組裝件，以便定向并校準該嵌段共聚物。
17.權(quán)利要求16的方法，其中步驟f)的所述處理包括熱退火。
18.權(quán)利要求16的方法，其中反應(yīng)性試劑載體是光酸產(chǎn)生劑。
19.權(quán)利要求18的方法，其中所述反應(yīng)性試劑是酸。
20.權(quán)利要求16的方法，其中所述反應(yīng)性試劑是堿。
21.權(quán)利要求16的方法，其中它在步驟d)中形成之后，將所述反應(yīng)性試劑載體引入到所述頂涂層內(nèi)。
22.權(quán)利要求16的方法，其中它在步驟b)中形成之后，將所述反應(yīng)性試劑載體引入到所述第一層內(nèi)。