本發(fā)明概言之是關(guān)于光學(xué)系統(tǒng)，且具體而言是關(guān)于用于校正以多條光束輻照一工件的系統(tǒng)的方法及裝置。
背景技術(shù)：
：：在直接成像(DirectImaging；DI)系統(tǒng)中，使用一掃描光束將一影像一次一或多個畫素地直接寫入至一曝光表面(諸如一光阻劑)上。在此項技術(shù)中已知的系統(tǒng)中，該影像通常藉由基于所儲存影像資料對一掃描光束進行調(diào)變而形成。隨著曝光表面(或掃描光束)沿一掃描方向前進，該經(jīng)調(diào)變光束以一光柵圖案進行掃描。某些直接成像系統(tǒng)使用多條平行光束來提高寫入速度。舉例而言，美國專利7,046,266闡述一種用于在一表面上寫入一圖案的掃描方法，該方法包含提供一包括復(fù)數(shù)條可獨立定址子光束(independentlyaddressablesub-beam)的掃描光束，該等子光束沿交叉掃描方向(cross-scandirection)并排地對該表面進行掃描。每一子光束皆被調(diào)變成反映欲寫入的資訊，且該等光束在連續(xù)掃描中沿交叉掃描方向重疊，俾使該表面的所有所寫入?yún)^(qū)域在至少二次掃描期間被寫入。技術(shù)實現(xiàn)要素：下文所述的本發(fā)明實施例提供用于校正一光學(xué)輻照系統(tǒng)的裝置及方法。因此，根據(jù)本發(fā)明的一實施例，提供一種光學(xué)裝置，該光學(xué)裝置包含一用以固持一工件的架座(mount)。一由復(fù)數(shù)個光學(xué)頭(opticalhead)形成的陣列用以將各自輻射圖案投射至該工件上。一校正總成(calibrationassembly)用以擷取該等各自圖案的影像。一上面安裝有該校正總成的運動總成(motionassembly)用以在該等光學(xué)頭的該陣列與該架座間的復(fù)數(shù)個不同位置之間輸送該校正總成，以在各該不同位置處對一由該等光學(xué)頭其中的一不同者投射的各自圖案進行攔截及成像。一處理器用以處理由該校正總成在該等不同位置處擷取的該等影像，以監(jiān)視該裝置的運作。在一所揭示實施例中，該運動總成用以在一校正程序期間在該等不同位置之間輸送該校正總成，并在該校正程序之后將該校正總成輸送至一靜止位置(restlocation)，在該靜止位置中，該校正總成不攔截由該等光學(xué)頭其中的任一者投射的該等圖案。該等光學(xué)頭可被排列成多個平行列，而該運動總成用以使該校正總成沿與該等列平行及垂直的二個方向移位。在某些實施例中，該等光學(xué)頭沿著各自光學(xué)軸線朝該工件投射該等各自圖案，且該校正總成包含：一校正照相機(calibrationcamera)，具有一與該等光學(xué)頭的該等光學(xué)軸線不平行的照相機光學(xué)軸線；以及一反射器，用以攔截該等光學(xué)頭的該等光學(xué)軸線并使該等所投射圖案朝該照相機偏轉(zhuǎn)。通常，該等光學(xué)頭在該工件處具有一焦平面(focalplane)，且該校正照相機包含一影像感測器，且該反射器及該校正照相機被定位成使得該影像感測器位于該等光學(xué)頭的該焦平面中。在一實施例中，該裝置包含：一對齊目標(biāo)(registrationtarget)，在該等光學(xué)頭的該焦平面中固定至該架座、且用以對由該等光學(xué)頭投射的該輻射作出回應(yīng)；以及一對齊照相機(registrationcamera)，被定位成擷取該對齊目標(biāo)的一對齊影像，且該處理器用以處理該對齊影像，以校正該等光學(xué)頭的各自位置。在一所揭示實施例中，該校正照相機具有一與該影像感測器的一平面垂直的照相機軸線，且該反射器用以使該等所投射圖案沿著一偏轉(zhuǎn)軸線(deflectedaxis)偏轉(zhuǎn)，以照射至該影像感測器上，該偏轉(zhuǎn)軸線是相對于該照相機軸線傾斜的。該運動總成可用以使該校正照相機沿一橫切于該偏轉(zhuǎn)軸線的方向移位，俾使該校正照相機在多個橫向位置處自每一光學(xué)頭擷取該所投射圖案的該等影像，其中該處理器用以處理在該多個橫向位置處擷取的該等影像，以評定該所投射圖案的一聚焦性質(zhì)(focalproperty)。通常，該等各自圖案是由一圖案畫素尺寸來表征，且該校正總成包含一校正照相機，該校正照相機可用以形成該等圖案的具有一影像畫素尺寸的影像，該影像畫素尺寸不大于該圖案畫素尺寸。另外或作為另一選擇，該校正總成更包含一功率計(powermeter)，該功率計用以量測該所投射輻射的一強度。根據(jù)本發(fā)明的一實施例，亦提供一種光學(xué)裝置，該光學(xué)裝置包含一用以固持一工件的架座。一由復(fù)數(shù)個光學(xué)頭形成的陣列用以將各自輻射圖案投射至該工件上。一包含一可擦除光致變色元件(erasablephotochromicelement)的對齊目標(biāo)位于該架座上且用以對由該等光學(xué)頭投射的該輻射作出回應(yīng)。一對齊照相機被定位成擷取該對齊目標(biāo)的一影像。一處理器用以處理該影像，以相對于該工件校正由該等光學(xué)頭投射的該等圖案的各自位置。根據(jù)本發(fā)明的一實施例，另外提供一種用于校正光學(xué)裝置的方法，該光學(xué)裝置包含：一用于固持一工件的架座以及一由復(fù)數(shù)個光學(xué)頭形成的陣列，該等光學(xué)頭用于將各自輻射圖案投射至該工件上。該方法包含：使用一校正總成來擷取由該等光學(xué)頭投射的該等各自圖案的影像。在該等光學(xué)頭的該陣列與該架座間的復(fù)數(shù)個不同位置之間輸送該校正總成，俾使該校正總成在各該不同位置處對一由該等光學(xué)頭其中的一不同者投射的各自圖案進行攔截及成像。處理由該校正總成在該等不同位置處擷取的該等影像，以監(jiān)視該裝置的運作。根據(jù)本發(fā)明的一實施例，更提供一種用于校正光學(xué)裝置的方法，該光學(xué)裝置包含：一用于固持一工件的架座以及一由復(fù)數(shù)個光學(xué)頭形成的陣列，該等光學(xué)頭用于將各自輻射圖案投射至該工件上。該方法包含：在該架座上放置一包含一可擦除光致變色元件的對齊目標(biāo)，該對齊目標(biāo)用以對由該等光學(xué)頭投射的該輻射作出回應(yīng)。擷取并處理該對齊目標(biāo)的一影像，以相對于該工件校正由該等光學(xué)頭投射的該等圖案的各自位置。該方法可包含：在擷取該影像之后，擦除及重新使用該光致變色元件。附圖說明結(jié)合圖式閱讀下文對本發(fā)明實施例的詳細(xì)說明，將會更全面地理解本發(fā)明，在圖式中：圖1是為根據(jù)本發(fā)明一實施例，一種具有一校正總成的多頭直接成像(DI)機器的一示意性插圖；圖2是為根據(jù)本發(fā)明一實施例，一多頭直接成像機器中一光學(xué)橋形件(opticalbridge)的一示意性插圖；圖3及圖4分別是為圖2所示光學(xué)橋形件的示意性俯視圖及側(cè)視圖；圖5是為根據(jù)本發(fā)明一實施例，一光學(xué)頭及校正總成的一示意性插圖；圖6是為圖5所示校正總成的一示意性俯視圖；以及圖7是為一示意性地例示根據(jù)本發(fā)明一實施例，一種用于校正一多頭直接成像機器的方法的流程圖。具體實施方式為增加生產(chǎn)應(yīng)用中的生產(chǎn)量，直接成像系統(tǒng)可同時以多條光束來進行寫入。此等光束可由單一光學(xué)頭產(chǎn)生，或者為達成甚至更大寫入速度，可由多個各自具有其自身的輻射源的光學(xué)頭來產(chǎn)生。多頭直接成像機器是對故障敏感的，具體而言，乃因甚至單一頭中的一故障亦可意味著整個機器在被修理以前是無法使用的。因此，需要使此等機器包含板上診斷功能(on-boarddiagnostics)，以對故障進行偵測及分類并促進在需要時對零件進行維修及更換。下文所述的本發(fā)明實施例為一直接成像機器提供一種滿足以上需要的板上校正總成。該校正總成監(jiān)視多個光學(xué)頭的效能，且亦達成對光學(xué)頭的機器上對準(zhǔn)及調(diào)整(on-machinealignmentandadjustment)(以達成恰當(dāng)影像尺寸、位置、聚焦、及照射性質(zhì))。該校正總成既可在機器整合期間使用，又可在進行現(xiàn)場維修時使用。其支持對光學(xué)頭中微小故障(諸如影像位置移位及能力劣化)的自動化修正，以在僅最低程度地或根本不影響正常機器運作的同時維持機器效能。本發(fā)明的某些實施例提供一種光學(xué)裝置(諸如一多頭直接成像機器)，其中一架座固持一工件，且一由復(fù)數(shù)個光學(xué)頭形成的陣列將各自輻射圖案投射至該工件上。一用以擷取該等各自圖案的影像的校正總成安裝于一運動總成上，該運動總成在該等光學(xué)頭的該陣列與該架座間的不同位置之間輸送該校正總成。在每一位置處，該校正總成對由一不同光學(xué)頭投射的該各自圖案進行攔截及成像。一處理器處理此等影像，以監(jiān)視該裝置的運作。通常，在校正程序之后，該運動總成將該校正總成輸送至一靜止位置，在該靜止位置中，該校正總成不攔截由該等光學(xué)頭其中的任一者投射的圖案。該校正總成在該等光學(xué)頭將其影像投射至該工件上時保持處于此靜止位置，且因此不會影響該裝置的正常運作。然后，當(dāng)需要時，在對各工件的處理之間啟用該校正總成及運動總成-由該裝置的一操作者啟用或者由該處理器自動地啟用-以檢查該等光學(xué)頭的校正及運作。在某些實施例中，該校正總成包含一校正照相機，該校正照相機具有一與該等光學(xué)頭的光學(xué)軸線不平行(舉例而言，垂直)的光學(xué)軸線。一反射器攔截該等光學(xué)頭的光學(xué)軸線并使所投射圖案朝該照相機偏轉(zhuǎn)。通常，該校正照相機包含一影像感測器，且該反射器及該校正照相機被定位成使得該影像感測器位于該等光學(xué)頭的焦平面中，即，位于距該等光學(xué)頭與工件本身相同的光學(xué)距離處。該反射器可被定向成使所投射圖案偏轉(zhuǎn)，俾使其沿著一偏轉(zhuǎn)軸線照射至該影像感測器上，該偏轉(zhuǎn)軸線是相對于照相機軸線傾斜的。然后，該運動總成使該照相機移位，俾使該照相機在多個相對于該偏轉(zhuǎn)軸線橫向分布的位置處自每一光學(xué)頭擷取所投射圖案的影像。此種配置使處理器能夠評定所投射圖案的聚焦性質(zhì)。換言之，藉由該照相機相對于該軸線的橫向運動，處理器能夠在三個維度上測繪所投射圖案，即，能夠評估圖案在焦平面中的橫向分布以及沿著與此平面垂直的聚焦軸線的側(cè)向變化二者。在某些實施例中，一對齊目標(biāo)在該等光學(xué)頭的焦平面中固定至該架座。該對齊目標(biāo)對由該等光學(xué)頭投射的輻射作出回應(yīng)，例如藉由在被來自一光學(xué)頭的光束輻照時以光致變色方式變黑。(光致變色材料對于此種目的而言是為有利的，乃因為重新使用，可藉由簡單地加熱而將其擦除；但作為另一選擇，可使用其他輻射回應(yīng)性(radiation-responsive)目標(biāo)。)一相對于該等光學(xué)頭定位于一已知位置中的對齊照相機擷取該對齊目標(biāo)的影像。該處理器處理此等影像，以校正由該等光學(xué)頭投射的圖案的各自位置，且因此修正頭位置及定向的偏差。該對齊目標(biāo)及照相機可獨立地使用或可結(jié)合上述校正總成使用。在后一種情形中，校正照相機及對齊照相機二者皆在光學(xué)頭的焦平面處擷取影像，其中實際上該校正照相機的影像感測器處于該焦平面中，而該對齊照相機對一位于該焦平面中的物件-對齊目標(biāo)-進行成像。因此，該校正總成與該對齊總成(目標(biāo)及照相機)協(xié)同運作，以給出該等光學(xué)頭的對準(zhǔn)及效能的一完整準(zhǔn)確圖片且達成對任何偏差的快速診斷及修正。雖然本文所述實施例具體參照一種具有某一類型及構(gòu)型的直接成像機器，但基于此等實施例的原理的校正總成及對齊總成亦可類似地用于藉由將經(jīng)圖案化輻射投射至一表面上而運作的其他種類光學(xué)裝置中。圖1是為根據(jù)本發(fā)明一實施例，一種具有一校正總成32的多頭直接成像(DI)機器20的一示意性插圖。機器20在一安裝于一可移動臺架(table)24上的面板22上寫入圖案，如該圖中所標(biāo)記，可移動臺架24沿著Y方向輸送面板22。(在正常運作中，面板22及臺架24是由閉合的門覆蓋，但為顯示該面板及臺架起見已自此圖中省略了此等門。)舉例而言，面板22可包含一上覆有一層光阻劑的介電基板，該層光阻劑是藉由機器20來進行曝光。在此實例中，換言之，面板22是為工件，而臺架24充當(dāng)一架座。為在面板22上進行寫入，機器20包含多個光學(xué)頭26，光學(xué)頭26是在臺架24上方安裝于一固定橋形件28上。光學(xué)頭26可被排列成多個平行列。舉例而言，在機器20中，十二個頭被配置成二個各自包含六個頭的交錯列，但此實施例的原理亦同等地適用于其他呈任何適合幾何配置形式的具有更大或更小數(shù)目個頭的光學(xué)頭陣列。每一光學(xué)頭皆產(chǎn)生一經(jīng)圖案化影像并將其投射至面板22上。出于此種目的，舉例而言，該等頭可包含高強度發(fā)光二極體(light-emittingdiode；LED)來作為照射源，該等照射源具有用于形成圖案的可定址數(shù)位微鏡器件(digitalmicromirrordevice；DMD)、及適合的投射光學(xué)器件(projectionoptics)。作為另一選擇，頭26可包含其他種類的光源，諸如雷射二極體(laserdiode)或紫外線燈(ultravioletlamp)。然而，光學(xué)頭的設(shè)計及詳細(xì)功能超出本發(fā)明的范圍。此外，在作出必要更改的情形下，本發(fā)明的原理亦類似地適用于其他種類的光源及成像矩陣、以及其中光學(xué)頭藉由使一寫入光束在影像區(qū)域上方掃描而投射其各自圖案的機器。在臺架24將面板22輸送至橋形件28下方時，由光學(xué)頭26投射的圖案不斷地發(fā)生改變以在該面板上形成所需的整體曝光。在此實施例中十二個光學(xué)頭覆蓋整個面板寬度，通常在鄰近頭之間具有一小重疊，俾使整個面板可在一遍中被曝光。在面板22上方，一對齊總成30包含一或多個對齊照相機(圖2至圖4中所示)，該一或多個對齊照相機用于對已在該面板上形成的圖案進行成像，俾使由頭26投射的圖案可與該面板上的現(xiàn)有圖案對準(zhǔn)。如參照以下各圖所進一步闡述，對齊總成30亦可用于對臺架24上的對準(zhǔn)目標(biāo)進行成像，以校正頭26的對準(zhǔn)。一處理器34控制機器20的運作，包含本文所述校正程序的執(zhí)行。通常，處理器34包含一具有適合介面的微處理器，該微處理器被以軟件形式程序化以實施此等功能。作為另一選擇，此等控制及校正功能可由一單獨板外計算與控制單元(off-boardcomputingandcontrolunit)(未顯示)來執(zhí)行。一電源供應(yīng)器36向光學(xué)頭26、及機器20的其他元件提供電力。現(xiàn)在參見圖2至圖4，其示意性地顯示根據(jù)本發(fā)明一實施例直接成像機器20的光學(xué)橋形件28及其他元件的細(xì)節(jié)。圖2是為一插圖，而圖3及圖4分別是為示意性俯視圖及側(cè)視圖。具體而言，此等圖例示對齊總成30及校正總成32的位置及運作，對齊總成30與校正總成32共同構(gòu)成機器20中的校正系統(tǒng)。此校正系統(tǒng)監(jiān)視光學(xué)頭26的效能，包含諸如照射強度及均勻性、圖案產(chǎn)生、聚焦、及其他光學(xué)量度等態(tài)樣。該校正系統(tǒng)亦監(jiān)視所有光學(xué)頭的打印區(qū)域的絕對位置及相對位置。處理器34應(yīng)用此等效能及位置監(jiān)視功能的結(jié)果來控制頭26于在面板22上寫入的過程期間的運作。此等相同結(jié)果亦達成對光學(xué)頭26的機器上對準(zhǔn)(包含對影像尺寸、位置、聚焦、及照射性質(zhì)的調(diào)整)，以便于對模組進行維修且在必要時進行更換。該等監(jiān)視結(jié)果亦可用于降低機器20的制造期間對準(zhǔn)程序的復(fù)雜度，由此達成更短且更自動化的機器對準(zhǔn)過程。該校正系統(tǒng)亦可用于監(jiān)視光學(xué)頭隨時間的功率衰減，以預(yù)測何時將需要對光學(xué)頭進行更換或維護。校正總成32通常包含一或多個照相機及一或多個功率計。(圖5中顯示此種類的一典型構(gòu)型。)作為另一選擇，總成32可包含一整合式照相機與功率計(舉例而言，由新澤西州紐頓市(Newton,NewJersey)的Thorlabs公司所生產(chǎn)的BC106照相機光束分析儀(beamprofiler))。在任一種情形中，照相機皆對由各該光學(xué)頭26投射的圖案或該圖案的至少一部分進行成像。為覆蓋由光學(xué)頭陣列投射的圖案的在臺架24的全寬度上延伸的整個區(qū)域，一通常包含一機動驅(qū)動裝置(motorizeddrive)的運動總成44沿著一軌道46輸送校正總成32，軌道46沿X方向(與頭26的列平行且與臺架移動方向垂直)跨橋形件28伸展。如在機器20中所示，當(dāng)光學(xué)頭26被配置成多個列時，運動總成44亦可用以使校正總成32沿Y方向移位，以擷取由所有列中的光學(xué)頭投射的圖案。作為另一選擇，該校正總成可包含二(或更多)個沿Y方向間隔開的照相機。當(dāng)校正總成32未在使用中時，運動總成將其移動至一處于橋形件28的側(cè)其中之一且位于光學(xué)頭的光束區(qū)域以外的「停駐」位置。對齊總成30包含一或多個照相機40，照相機40被對準(zhǔn)及聚焦成對臺架24上的面板22進行成像且因此可用于識別面板在處理之前及期間的精確位置。此實例中的照相機40是安裝于一軌道42上，從而使該等照相機能夠沿X方向運動。為使處理器34能夠偵測因光學(xué)頭26的機械容差及不對準(zhǔn)所致的圖案位置不準(zhǔn)確性，將專用目標(biāo)48在已知位置處固定至臺架24。目標(biāo)48包含一藉由光活化的光致變色材料，即，該等目標(biāo)在被光學(xué)頭26輻照之處變黑。在圖3所示的實例中，五個目標(biāo)48跨臺架24而排列，目標(biāo)48被配置為形成一約為25″長乘1.5″寬且在整個面板寬度上延伸的條帶。目標(biāo)48可包含一玻璃或陶瓷基板，該基板具有一光致變色聚合物層(及一覆蓋該聚合物層的保護性塑料層)。為重新使用，可藉由加熱該等目標(biāo)(通常加熱至約60℃)而將其擦除。作為另一選擇，如熟習(xí)此項技術(shù)者將明了，其他類型、形狀、尺寸、及配置的目標(biāo)亦可用于此等目的。照相機40偵測目標(biāo)48對由光學(xué)頭26發(fā)射的光束的回應(yīng)，且處理器34使用此等偵測結(jié)果來準(zhǔn)確地量測鄰近光學(xué)頭的相對位置。由于臺架24的高運動準(zhǔn)確度，在對齊目標(biāo)位置處所進行的量測即足以在臺架的整個移動范圍內(nèi)對機器20進行校正及控制?，F(xiàn)在參見圖5及圖6，其示意性地顯示根據(jù)本發(fā)明一實施例校正總成32的細(xì)節(jié)。圖5是為亦顯示光學(xué)頭26的特征的一示意性插圖，而圖6是為校正總成的一示意性俯視圖。此實例中的光學(xué)頭26包含一輻射源50，諸如一發(fā)光二極體或發(fā)光二極體陣列，輻射源50輸出一自一圖案化元件51(諸如一數(shù)位微鏡器件)反射的輻射光束，以形成一圖案。然后，此圖案由投射光學(xué)器件52沿著一光學(xué)軸線53朝面板22的表面處的一焦平面聚焦。然而，在圖5所示的構(gòu)型中，運動總成44已使校正總成32移位，俾使該校正總成中的一反射器54對來自光學(xué)頭26的經(jīng)圖案化光束進行攔截及偏轉(zhuǎn)。反射器54使該光束沿著一偏轉(zhuǎn)軸線68朝一照相機56偏轉(zhuǎn)，照相機56擷取所投射圖案的一影像。反射器54由一可調(diào)整架座60固持，架座60通常被調(diào)整成使得偏轉(zhuǎn)軸線68與頭26的光學(xué)軸線53垂直，但作為另一選擇，可針對不同偏轉(zhuǎn)角度來加以設(shè)定。校正總成32亦包含一用于量測入射輻射的強度的光學(xué)功率計58。照相機56及功率計58安裝于一底座62上，底座62可由運動總成44進行定位及調(diào)整，俾使來自光學(xué)頭26的光束視需要而入射于該照相機或該功率計上。舉例而言，照相機56可包含一由TeledyneDALSA公司(安大略省滑鐵盧市(Waterloo,Ontario))所生產(chǎn)的GenieTS-M3500區(qū)域照相機(areacamera)，而功率計58包含一由OphirOptronicSolutions有限公司(以色列耶路撒冷市(Jerusalem,Israel))所生產(chǎn)的PD300功率感測器。照相機56包含一影像感測器66且通常被定位成使得該影像感測器位于由光學(xué)頭26投射的圖案的焦平面中。作為另一選擇，照相機56可包含物鏡光學(xué)器件，以將該焦平面成像至該影像感測器上。照相機56的一照相機軸線64(被定義為與影像感測器66的平面垂直的軸線)是相對于反射器54偏斜定向，俾使照相機軸線64相對于所投射圖案的偏轉(zhuǎn)軸線68傾斜。通常，軸線64與68間的傾斜角是為幾度(舉例而言，2°至3°)。因此，由于運動總成44使底座62沿橫切于偏轉(zhuǎn)軸線68的X方向移位且照相機56因此相對于軸線68在多個橫向(X)位置處擷取所投射圖案的影像，故在每一位置處，該圖案的一不同部分將對焦于影像感測器66上。具體而言，一沿著該影像感測器在Z方向上伸展的垂直條帶將對焦，而該條帶任一側(cè)上的區(qū)域?qū)㈦x焦。出于如下若干原因，以此種方式使用一傾斜感測器是有利的：藉由處理在不同橫向位置處擷取的影像，處理器34不僅能夠評定所投射圖案的橫向(X方向及Y方向)品質(zhì)，而且能夠評定側(cè)向(Z方向)聚焦性質(zhì)。換言之，該處理器能夠驗證整個圖案被恰當(dāng)聚焦且能夠偵測聚焦缺陷(若存在)，但不必為了此等目的而使照相機56沿著光束軸線移位。此種傾斜構(gòu)型亦放寬須相對于光學(xué)頭26對照相機56進行精細(xì)對準(zhǔn)的要求，乃因傾斜及橫向移動固有地對任何小的不對準(zhǔn)進行補償。圖案化元件51以某一圖案畫素尺寸形成一圖案，且校正總成32的一個目標(biāo)可是為找出有缺陷的照射畫素。出于此種目的，照相機56中的影像感測器66的影像畫素尺寸應(yīng)不大于圖案畫素尺寸{亦稱作光點尺寸}。舉例而言，若圖案化元件51包含一在目標(biāo)處的一圖案畫素尺寸為20μm的數(shù)位微鏡器件，則只要影像感測器66的影像畫素尺寸小于20μm，照相機56即能夠找出該數(shù)位微鏡器件中每一有缺陷的畫素。作為另一選擇，若不需要對光學(xué)頭26進行逐畫素診斷，則該照相機可具有更大畫素。如早期所述，照相機56可包含物鏡光學(xué)器件，該等物鏡光學(xué)器件可是為可調(diào)整的，以使所投射圖案在影像感測器上的放大率發(fā)生變化且因此有效地改變影像畫素尺寸。圖7是為一示意性地例示根據(jù)本發(fā)明一實施例，一種用于校正機器20的方法的流程圖。此方法僅是作為可如何使用校正總成32的一實例而提供，但其他運作模式亦被視為處于本發(fā)明的范圍內(nèi)。具體而言，下文所述的方法是關(guān)于測試光學(xué)頭26中發(fā)光二極體輻射源及基于數(shù)位微鏡器件的圖案產(chǎn)生器的運作，但可以一簡單方式將該方法調(diào)適成校正其他類型的多頭圖案投射機器。視需要，可在處理器34或另一系統(tǒng)控制器的控制下自動地執(zhí)行該方法。在一位置初始化步驟70處，處理器34藉由指示運動總成44將校正總成32移動至其開始位置來起始該方法。如上文所解釋，對于每一光學(xué)頭26而言，校正總成32中的照相機56相對于軸線68沿著X方向在不同位置處擷取多個影像。(視情況，在校正期間亦可使照相機56沿X方向及/或Z方向移位。)在步驟70處，將照相機56移動至第一光學(xué)頭的投射場內(nèi)的第一此種位置。在一照相機啟用步驟72處，處理器34開啟照相機，以開始擷取影像。在每一照相機位置處，處理器34通常指示受測試光學(xué)頭產(chǎn)生若干不同測試影像，使得可檢查所投射影像的所有畫素。在每一測試影像中，不同的一組數(shù)位微鏡器件鏡將切換至「開啟」位置，而其余鏡則被「關(guān)閉」。在一影像起始步驟74處，處理器34設(shè)定第一數(shù)位微鏡器件影像并開啟發(fā)光二極體輻射源。在影像分析步驟76處，照相機56擷取所投射影像的一影像，且處理器34分析該影像。通常，在此步驟處，處理器驗證：該影像中的圖案與數(shù)位微鏡器件曾被指示呈現(xiàn)的圖案正確地對應(yīng)，且影像聚焦品質(zhì)及其他性質(zhì)皆處于所規(guī)定極限以內(nèi)。于在步驟76處接收并處理影像之后，在一最后一個影像檢查步驟78處，處理器34檢查在當(dāng)前照相機位置中是否有任何其他數(shù)位微鏡器件測試影像仍待評估。若是，則在一影像前進步驟80處，處理器繼續(xù)指示受測試光學(xué)頭設(shè)定并投射下一測試影像。然后，重復(fù)步驟76及步驟78，直至已在當(dāng)前位置中擷取并評估所有測試影像為止。于在一給定照相機位置中處理最后一個影像之后，在一輻射切斷步驟81處，處理器34關(guān)斷發(fā)光二極體輻射源。在一最后一個位置檢查步驟82處，處理器亦檢查是否已在所有為評估當(dāng)前光學(xué)頭而必需的照相機位置中擷取影像。若否，則在一照相機移動步驟84處，該處理器指示運動總成44將校正總成32移位至下一位置。在此步驟中，舉例而言，運動總成可使校正總成沿著Y軸線移動某一預(yù)定義增量。然后，在此新位置中重復(fù)步驟74至步驟81。在針對一給定光學(xué)頭26于最后一個照相機位置中擷取所有所需影像之后，在一最后一個頭檢查步驟88處，處理器34檢查剛剛所測試的光學(xué)頭是否是為機器20中最后一個需要評估的光學(xué)頭。若否，則在一頭前進步驟90處，處理器34指示運動總成46將校正總成32移動至開始位置以評估下一光學(xué)頭。然后，該處理器驅(qū)動此頭以及校正總成及運動總成通過步驟74至步驟88，以在校正總成的所有不同適用位置處檢查所有測試影像。最終，于在步驟88處判斷已評估最后一個光學(xué)頭26之后，在一資料分析步驟92處，處理器34關(guān)斷照相機56并分析在前述步驟中所收集的所有資料。通常，在一比較步驟94處，處理器34將測試結(jié)果與一組基準(zhǔn)(benchmark)相比較，以判斷機器20的測試效能是否處于所規(guī)定極限以內(nèi)。若是，則在一完成步驟96處，處理器記錄機器20的「工作狀況(health)」，從而表明測試已成功完成。必要時，處理器可更新系統(tǒng)參數(shù)，諸如改變其在調(diào)整由不同光學(xué)頭投射的影像時所使用的校正參數(shù)，以對微小不對準(zhǔn)或所投射強度變化進行補償。另一方面，若比較步驟94表明機器20的效能量度其中的任一者處于所規(guī)定極限以外，則在一錯誤報告步驟98處，處理器34發(fā)布一錯誤訊息。通常，該訊息被引導(dǎo)至機器20的一操作者，該操作者然后可中斷機器的運作并作出任何所需的調(diào)整或修理。將了解，上述實施例僅是以實例方式引用，且本發(fā)明并不限于上文已具體顯示及闡述的內(nèi)容。而是，本發(fā)明的范圍包含上文所述各種特征的組合及子組合二者、以及該等特征的變化及潤飾，該等變化及潤飾是熟習(xí)此項技術(shù)者在閱讀前述說明后即會聯(lián)想到的且并未在先前技術(shù)中揭示。當(dāng)前第1頁1 2 3 當(dāng)前第1頁1 2 3