技術(shù)總結(jié)
一種光學(xué)裝置包含一固持一工件的架座。一由復(fù)數(shù)個光學(xué)頭形成的陣列將各自輻射圖案投射至該工件上。一校正總成擷取該等各自圖案的影像。一上面安裝有該校正總成的運動總成在該等光學(xué)頭的該陣列與該架座間的復(fù)數(shù)個不同位置之間輸送該校正總成，以在各該不同位置處對一由該等光學(xué)頭其中的一不同者投射的各自圖案進行攔截及成像。一處理器處理由該校正總成在該等不同位置處擷取的該等影像，以監(jiān)視該裝置的運作。

技術(shù)研發(fā)人員：烏里·戈爾德;拉姆·奧龍
受保護的技術(shù)使用者：以色列商奧寶科技股份有限公司
文檔號碼：201580012027
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.04
技術(shù)公布日：2017.02.22