技術總結
本發(fā)明公開了一種硅片邊緣保護裝置，包括：水平運動機構；垂直運動機構；調速裝置，用于調節(jié)所述垂直運動機構的運行速度；柔性防撞機構，用于連接所述水平運動機構和所述垂直運動機構；控制裝置，所述控制裝置與所述調速裝置信號連接，發(fā)出控制信號至調速裝置，控制所述垂直運動機構的運動。本發(fā)明提供的硅片邊緣保護裝置可以避免瞬間強烈沖擊工件臺，避免壓碎硅片；當發(fā)生碰撞時，可以保護工作臺和硅片；并且提高了生產效率。

技術研發(fā)人員：周旭;崔海倉;倪費;葛黎黎
受保護的技術使用者：上海微電子裝備有限公司
文檔號碼：201410857409
技術研發(fā)日：2014.12.30
技術公布日：2017.08.25